电子特气系统工程输送的气体多为剧毒、腐蚀性气体,泄漏会造成严重后果,氦检漏是保障其安全性的 关键一环。检测时,管道抽真空至≤1Pa,充入氦气(压力 0.5MPa),用氦质谱检漏仪扫描,泄漏率需≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s。电子特气管道的阀门、接头是泄漏高发区 —— 例如隔膜阀的隔膜老化会导致泄漏,焊接接头的热影响区可能存在微缝。某半导体厂曾因三氟化氮管道泄漏,导致车间人员中毒,停产 3 天,损失超百万元。因此,电子特气系统工程的氦检漏需 100% 覆盖所有管道部件,检测合格后方可投入使用,且每年需复检一次,确保长期安全。实验室气路系统的 0.1 微米颗粒度检测,每立方米≤5000 个,防止颗粒污染实验样品。阳江电子特气系统工程气体管道五项检测氧含量(ppb级)

大宗供气系统的管道泄漏会吸入空气中的颗粒污染物,因此氦检漏与颗粒度检测需联动。例如某汽车厂的压缩空气管道,因焊接泄漏吸入粉尘,导致颗粒度超标(0.1μm 及以上颗粒 100000 个 /m³),影响喷涂质量。检测时,氦检漏合格(泄漏率≤1×10⁻⁷Pa・m³/s)后,测颗粒度;若氦检漏发现泄漏,颗粒度必超标。这种关联检测能快速判断颗粒污染来源 —— 若颗粒度超标且氦检漏合格,可能是过滤器失效;若两者均不合格,必为管道泄漏。对于大宗供气系统而言,这种方法能提高问题排查效率,降低生产成本。阳江电子特气系统工程气体管道五项检测氧含量(ppb级)实验室气路系统的氦检漏,需在仪器连接端重点检测,防止微量泄漏影响实验。

尾气处理系统的管道若存在泄漏,会导致未处理的尾气直接排放,污染环境,保压测试是防止这类问题的关键。测试时,向管道内充入压缩空气至 0.2MPa,关闭阀门后监测 8 小时,压力降需≤2% 初始压力。尾气处理系统的管道多为耐腐蚀材质(如 PVC、PP),但接头处若粘结不牢,或法兰密封垫老化,会导致泄漏 —— 例如在电镀厂的含铬尾气处理中,泄漏会导致六价铬超标,危害周边环境。保压测试能发现这些泄漏点,尤其是风机前后的管道(压力波动大,易泄漏),确保尾气 100% 进入处理装置,符合环保排放标准,这也是第三方检测机构对尾气处理系统的重要要求。
尾气处理系统负责处理工业生产中排放的有毒有害气体,其管道的密封性直接关系到环保与安全。保压测试时,需将尾气管道与处理设备连接成闭环,充入压缩空气至 0.3MPa,关闭进出口阀门后监测 12 小时。根据环保标准,压力降需≤1% 初始压力,否则可能存在泄漏,导致未处理的尾气直接排入大气。尾气处理系统的管道多接触腐蚀性气体(如含氯尾气),长期使用后可能出现焊缝腐蚀、法兰密封失效等问题,保压测试能及时发现这些隐患。例如在化工企业的氯化反应尾气处理中,若管道泄漏,氯气会扩散至车间,危害人员健康,而严格的保压测试可提前规避这类风险,确保尾气 100% 进入处理装置。电子特气系统工程的 0.1 微米颗粒度检测,聚焦阀门和接头,防止颗粒污染物积聚。

电子特气系统工程中,氧气和水分常共同存在,对特气质量产生协同影响,因此需关联检测。例如氧气会加速水分对管道的腐蚀,生成更多颗粒污染物;水分会促进氧气与特气的反应(如磷化氢与氧、水反应生成磷酸)。检测时,先测氧含量(≤10ppb),合格后测水分(≤10ppb),两者均需达标。电子特气系统需采用 “脱氧 + 脱水” 双级净化,且管道需经钝化处理(如用高纯氮气吹扫 + 加热),减少氧和水的吸附。这种关联检测能多方面保障特气化学稳定性,避免因氧和水的协同作用导致的生产事故,这是电子特气系统工程的重要质量要求。尾气处理系统保压测试前需置换空气,防止可燃尾气与空气混合引发危险。河源高纯气体系统工程气体管道五项检测氦捡漏
工业集中供气系统的 0.1 微米颗粒度检测,需在过滤器后采样,验证过滤效果。阳江电子特气系统工程气体管道五项检测氧含量(ppb级)
大宗供气系统的管道输送量大、距离长,微小泄漏会导致气体大量浪费,增加生产成本,氦检漏能准确发现这类问题。检测时,向管道内充入氦气(压力 0.3MPa),用氦质谱检漏仪在管道外侧扫描,泄漏率需≤1×10⁻⁷Pa・m³/s。大宗供气系统的管道多为螺旋缝埋弧焊钢管,焊接处若存在气孔、未焊透等缺陷,会导致泄漏 —— 例如某钢厂的氧气管道,年泄漏量可达 5000m³,损失超过 10 万元。氦检漏能定位这些泄漏点,尤其是埋地管道的泄漏(可通过地表氦气浓度检测发现),为修复提供准确位置,降低气体损耗。对于大宗供气系统而言,氦检漏不仅是质量保障手段,更是降本增效的重要措施。阳江电子特气系统工程气体管道五项检测氧含量(ppb级)