高纯气体系统工程对管道密封性的要求堪称苛刻,哪怕微小泄漏都可能引入杂质,破坏气体纯度。氦检漏作为高精度泄漏检测手段,在该系统中不可或缺。检测时,先将高纯气体管道抽真空至≤5×10⁻³Pa,再向管道内侧充入 5% 氦气与 95% 氮气的混合气体,外侧用氦质谱检漏仪探头扫描。根据标准,泄漏率需控制在≤1×10⁻⁹Pa・m³/s,这一精度远高于肥皂水检漏等传统方法。对于输送超高纯氮气(纯度 99.9999%)或电子级氨气的管道,氦检漏能准确定位焊接缺陷、阀门密封不良等问题,避免微量泄漏导致的气体纯度下降 —— 要知道,电子级气体中杂质含量需控制在 ppb 级,任何泄漏引入的空气(含氧气、水分)都会直接影响产品良率,因此氦检漏是高纯气体系统工程验收的 “必过项”。尾气处理系统的水分(ppb 级)检测≤10000ppb,避免水分影响活性炭吸附效率。揭阳高纯气体系统工程气体管道五项检测耐压测试

工业集中供气系统的保压测试不合格(存在泄漏)会导致氧含量超标,因此需联动检测。例如氮气管道泄漏会吸入空气,导致氧含量从 50ppb 升至 5000ppb,影响产品质量。检测时,保压测试合格(压力降≤0.5%)后,再测氧含量(≤100ppb);若保压不合格,氧含量检测必超标的概率达 90% 以上。这种联动检测能快速定位问题:若保压合格但氧含量超标,可能是制氮机纯度不足;若保压不合格且氧含量超标,必为管道泄漏。对于工业集中供气系统而言,这种方法能提高检测效率,准确排查隐患。揭阳高纯气体系统工程气体管道五项检测耐压测试尾气处理系统的 0.1 微米颗粒度检测,需在处理前后对比,评估净化效果。

工业集中供气系统的管道内若存在 0.1 微米颗粒,会随气体进入精密设备,造成磨损和故障。例如在液压系统中,颗粒会划伤油缸内壁,导致漏油;在精密轴承装配中,颗粒会嵌入轴承滚道,缩短使用寿命。0.1 微米颗粒度检测需用颗粒计数器,在过滤器下游采样,采样体积≥100L,每毫升油液(或气体)中颗粒数(0.1μm 及以上)需≤1000 个。工业集中供气系统需安装多级过滤器(如前置过滤器、精密过滤器),滤芯精度需达 0.1μm,而颗粒度检测能验证过滤器性能 —— 若检测值超标,可能是滤芯破损或安装密封不良。通过颗粒度检测,可确保气体洁净度,减少设备故障,提高生产效率。
尾气处理系统中,颗粒污染物会影响氧含量检测的准确性(如堵塞采样探头),因此需关联检测。例如尾气中的粉尘会附着在氧传感器上,导致读数偏低,影响燃烧控制。检测时,先测颗粒度(0.1μm 及以上颗粒≤100000 个 /m³),合格后测氧含量;若颗粒度超标,需清洁采样系统后重新检测。尾气处理系统的风机若磨损,会产生金属颗粒,同时导致空气吸入(氧含量升高),因此颗粒度与氧含量均超标时,需检查风机状态。这种关联检测能确保氧含量数据准确,保障处理系统安全运行。实验室气路系统的氦检漏,泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s,保障易燃易爆气体使用安全。

工业集中供气系统中的氮气若氧含量超标,会影响产品质量,尤其在热处理、焊接等工艺中。例如在轴承淬火中,氮气中的氧气会导致轴承表面氧化,硬度下降;在粉末冶金中,氧含量过高会导致粉末氧化,影响烧结后的强度。ppb 级氧含量检测需用氧化锆传感器,在管道出口处采样,检测范围 1-1000ppb,误差≤±2%。工业集中供气系统的管道若未彻底置换,或止回阀泄漏,会导致空气进入 —— 例如氮气管道与空气管道并行铺设时,若氮气压力低于空气压力,会发生倒灌。通过氧含量检测,可及时发现这些问题,确保氮气纯度(氧含量≤50ppb)满足工艺要求,这是工业集中供气系统质量的重要指标。实验室气路系统的水分(ppb 级)检测,用露点仪连续监测 30 分钟,数据需稳定。揭阳高纯气体系统工程气体管道五项检测耐压测试
电子特气系统工程的颗粒污染物控制,需结合 0.1 微米检测和管道吹扫工艺。揭阳高纯气体系统工程气体管道五项检测耐压测试
实验室气路系统输送的气体(如高纯甲烷、氦气)直接用于精密分析,水分含量超标会严重影响检测结果。例如在傅里叶变换红外光谱分析中,水分会在 3-5μm 波段产生吸收峰,干扰样品信号;在气体色谱中,水分会损坏色谱柱固定相。ppb 级水分检测需用水分分析仪,在气体流量稳定(500mL/min)的状态下,连续监测 30 分钟,温度需≤-76℃(对应水分≤10ppb)。实验室气路管道多为铜管或 316L 不锈钢管,安装时若内壁未彻底干燥,或阀门使用普通密封脂(含水分),都会导致水分残留。通过严格的水分检测,可确保进入仪器的气体干燥度达标,为实验数据的准确性提供保障,这也是第三方检测机构对实验室气路系统的重要考核项之一。揭阳高纯气体系统工程气体管道五项检测耐压测试