实验室气路系统常输送易燃易爆气体(如氢气、乙炔)或剧毒气体,泄漏会危及实验人员安全,氦检漏是保障其安全性的关键。检测时,先将管道抽真空至≤5Pa,再向管道内充入 5% 氦气与 95% 氮气的混合气体(压力 0.2MPa),用氦质谱检漏仪在管道外侧扫描,泄漏率需≤1×10⁻⁹Pa・m³/s。实验室气路管道布局复杂,接头、阀门众多,例如气相色谱仪的载气管道与仪器接口处,若密封不良会导致气体泄漏,不仅浪费气体,还可能引发事故风险。氦检漏能准确定位泄漏点(如卡套接头未拧紧、阀门阀芯磨损),确保实验室气路系统 “零泄漏”,为实验人员提供安全的工作环境。高纯气体系统工程的氧含量(ppb 级)检测≤5ppb,满足光纤生产对气体纯度的要求。广州尾气处理系统气体管道五项检测氦捡漏

高纯气体系统工程的管道若存在泄漏,会导致气体纯度下降,影响生产,保压测试是验证其密封性的关键。测试时,管道需先经超净氮气吹扫(水分含量≤-70℃),再充入高纯氮气至设计压力(0.8MPa),关闭阀门后监测 48 小时,压力降需≤0.1% 初始压力。高纯气体管道多为小口径(≤50mm)电解抛光管,焊接采用全自动轨道焊,若焊接参数不当(如电流过大),会导致焊缝氧化或产生气孔,引发泄漏。保压测试能发现这些隐蔽缺陷,例如某半导体厂的高纯氩气管道,因焊缝微漏导致氩气纯度从 99.9999% 降至 99.999%,影响晶圆刻蚀精度。通过保压测试,可确保管道无泄漏,为气体纯度提供基础保障,这是高纯气体系统工程验收的必备项。广州尾气处理系统气体管道五项检测氦捡漏大宗供气系统的 0.1 微米颗粒度检测,采样前吹扫 1 小时,确保数据反映真实污染。

高纯气体系统工程中,颗粒是浮游菌的载体,因此需联动检测。例如 0.1 微米以上的颗粒可吸附细菌,随气体进入生产环境,导致产品污染。检测时,颗粒度合格(0.1μm 及以上颗粒≤1000 个 /m³)后,测浮游菌(≤1CFU/m³);若颗粒度超标,需先净化再测浮游菌。高纯气体系统需安装 “高效过滤 + 除菌过滤” 组合装置,且过滤器需定期完整性测试,而关联检测能验证过滤效果 —— 若颗粒度合格但浮游菌超标,可能是除菌过滤器失效。这种方法能多方面保障气体洁净度,符合生物制药、微电子等行业的严苛要求。
实验室气路系统的保压测试与水分检测需形成联动机制,因为管道一旦泄漏,外界潮湿空气会直接侵入,导致气体中水分含量骤升,干扰实验精度。例如气相色谱仪的载气(如高纯氮气、氦气)若因管道焊缝或接头泄漏吸入空气,水分含量可能从合格的 10ppb 飙升至 500ppb 以上,而水分会与色谱柱固定相反应,导致柱效下降、分离度降低,大幅缩短色谱柱使用寿命(正常寿命 2000 次进样可能缩减至 500 次)。 检测流程需严格遵循 “保压优先” 原则:先通过氮气保压测试(充压至 0.3MPa 后关闭阀门,24 小时压力降需≤1%),确认管道无泄漏后,再用露点仪检测水分含量(需≤50ppb);若保压测试不合格,必须先定位泄漏点(如用肥皂水涂抹接头观察气泡,或用氦检漏仪准确排查),修复后重新保压,合格方可进行水分检测。高纯气体系统工程氦检漏用氦质谱仪,泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s,保障气体纯度。

大宗供气系统中,水分和氧气会协同加速管道腐蚀(如形成电化学腐蚀),因此需联动检测。例如氮气管道中的水分(>1000ppb)和氧气(>500ppb)会导致内壁锈蚀,生成氧化铁颗粒,污染气体。检测时,水分(≤500ppb)和氧含量(≤100ppb)需同时达标;若其中一项超标,需修复后重新检测另一项。大宗供气系统需安装 “干燥机 + 脱氧器”,且需定期检测其性能,而关联检测能验证系统效果 —— 若水分合格但氧含量超标,可能是脱氧器失效。这种方法能延长管道寿命,降低维护成本。高纯气体系统工程的 0.1 微米颗粒度检测,每立方米颗粒需≤1000 个,保障气体洁净度。肇庆气体管道五项检测水分(ppb级)
电子特气系统工程的 0.1 微米颗粒度检测,采样量≥100L,严控颗粒污染物影响芯片质量。广州尾气处理系统气体管道五项检测氦捡漏
尾气处理系统中,颗粒污染物会影响氧含量检测的准确性(如堵塞采样探头),因此需关联检测。例如尾气中的粉尘会附着在氧传感器上,导致读数偏低,影响燃烧控制。检测时,先测颗粒度(0.1μm 及以上颗粒≤100000 个 /m³),合格后测氧含量;若颗粒度超标,需清洁采样系统后重新检测。尾气处理系统的风机若磨损,会产生金属颗粒,同时导致空气吸入(氧含量升高),因此颗粒度与氧含量均超标时,需检查风机状态。这种关联检测能确保氧含量数据准确,保障处理系统安全运行。广州尾气处理系统气体管道五项检测氦捡漏