上海高精密飞秒激光蚀刻

飞秒激光开启了“无刀手术”时代。眼科手术（：LASIK手术（飞秒激光制瓣）：替代传统的机械角膜刀，制作更好、更平滑的角膜瓣，安全性更高。全飞秒SMILE手术：直接在角膜基质层内进行透镜状切割，然后通过微切口取出，实现了真正的“微创”。白内障手术（飞秒激光辅助）：用于精确制作角膜切口、撕裂囊和前囊膜切开、预劈核，大幅提高手术的可预测性。细胞与神经科学：双光子显微成像：利用飞秒激光进行深层的高分辨率、无损伤三维成像。光镊与细胞手术：操纵细胞、细胞器，甚至进行细胞内手术。外科手术：可用于极精密的切割，出血少，愈合快。飞秒激光适用于在各类金属、非金属、复合材料等多种材料上进行盲孔/异型孔等结构的可控锥度精细加工。上海高精密飞秒激光蚀刻

飞秒激光与材料作用机制多光子非线性吸收、“冷”烧蚀，热影响区极小或几乎没有，加工精度亚微米级，边缘锐利，适用材料几乎任何材料（金属、玻璃、陶瓷、塑料、），加工灵活性可进行内部三维加工。飞秒激光凭借其“超快”斩断能量扩散、实现非线性作用的独特能力，已经成为一种颠覆性的工具。它不仅在眼科手术中让数百万患者重获清晰视力，更在工业制造中实现了“无损伤”的微米级加工，同时在科学前沿扮演着“超快”和“极端物理创造者”的角色。 随着技术的普及和成本的降低，其应用范围必将进一步扩大。上海工业飞秒激光指纹模组涉及到飞秒激光加工的环节有：晶圆划片、芯片切割、盖板切割、FPC软板外形切割钻孔等。

飞秒激光在精密加工中的独特能力与应用，超越衍射极限的“超衍射”加工原理：利用多光子吸收的非线性特性，加工阈值非常陡峭，只有焦点中心强度好的区域才会发生改性，加工尺寸可以突破光学衍射极限，达到亚波长甚至纳米级别。应用：微光学元件：制作衍射光学元件、微透镜阵列、波导结构。防伪与装饰：在材料内部或表面制作亚微米结构，产生结构色或特殊光学效果。光子器件：直接在光学材料内部刻写光栅、耦合器。真正的三维（3D）内部加工原理：对于透明材料（如玻璃、透明聚合物），飞秒激光只有在焦点处才能达到足够高的强度引发非线性吸收，从而可以选择性地在材料内部任意位置进行改性，而表面和路径上的材料不受影响。应用：微流控芯片：在玻璃或塑料内部直接雕刻出复杂的三维微通道网络。光数据存储：在玻璃内部写入多层、高密度的数据点，实现“5D存储”。集成光学：在透明基板内部制造三维光波导、分束器、干涉仪。

飞秒激光是一种以 “飞秒” 为脉冲宽度（1飞秒=10⁻¹⁵秒，即千万亿分之一秒）的超快、强脉冲激光。使其在精密加工、科研等领域带来了主要的突破。这是飞秒激光成熟和广泛的应用之一，太赫兹波产生与探测：飞秒激光是产生和探测太赫兹波的主要泵浦源，用于无损检测、安全成像、物质光谱分析等。精密测量：基于飞秒光频梳技术（另一项诺贝尔奖成果），可以用于距离测量、光学时钟、光谱定标等，精度达到纳米甚至更高。文物保护与修复：可以极其精细地除去艺术品表面的污染物层，而不损伤下层宝贵的原始材料。飞秒激光以其光子非线性效应、突破衍射极限等特质可实现对很多材料由微纳到宏观尺度的精密加工。

激光打孔工艺可分为长脉冲（ms级）和短脉冲（ns、ps、fs级）激光工艺，注意脉冲宽度是个时间单位，不是长度单位，其中ps皮秒激光和fs飞秒激光也被行业内叫做超快激光。两种工艺相比各有优缺点，同样是气化材料加工小孔，前者因为其单个脉冲照射时间更长，能提供更多能量快速去除材料，相当于大刀阔斧效率高；后者能量细小峰值功率高，可瞬间气化微量材料，素有冷加工的美誉，相当于小刀精啄，几乎没有重熔层，表面质量更好，专业一点讲就是超快激光由于脉冲持续时间远小于材料中受激电子通过转移、转化等形式的能量释放时间，只需考虑电子吸收入射光子的激发和储能过程，加上高达TW（10^12W）级的峰值功率，能量在只有几个纳米厚度内迅速聚集，瞬间产生的超高电子温度值远超材料汽化温度，材料直接从固态转为气态，在表面形成高密度、超热、高压的等离子体状态，实现非热熔性加工。飞秒激光加工设备是光、机、电、自动化技术为一体的综合科学，是一种先进的智能工具。广东韩国加工飞秒激光MLCC轮刀

相对于传统激光加工设备，飞秒激光由于脉冲时间极短，被加工物体不会被加热，适合加工30微米以下的小孔。上海高精密飞秒激光蚀刻

精密制造——工业升级的“光刻刀”，飞秒激光是解决传统激光无法完成的“疑难杂症”的方案。 透明材料加工（“内部雕刻术”）：应用：在智能手机的蓝宝石盖板、摄像头保护镜片上刻蚀标识；在汽车玻璃内部雕刻防伪码或装饰图案；制备微流控芯片；制造光纤光栅、光子晶体等光学元件。原理：透明材料对飞秒激光波长是“透明”的，但极高的峰值功率使得激光焦点处的材料通过非线性吸收瞬间改性或汽化，从而实现内部选择性加工，表面毫发无损。上海高精密飞秒激光蚀刻