超精密加工技术当前是指被加工零件的尺寸和形状精度高于0.1μm,表面粗糙度Ra小于0.025μm,以及机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术,亦称之为亚微米级加工技术,目前正在向纳米级加工技术发展。超精密加工技术在国际上处于前地位的国家是美国、英国和日本。美国是开展超精密加工技术研究很早的国家,也是迄今处于前方地位的国家。英国的克兰菲尔德精密工程研究所(简称CUPE)享有较高声誉,是当今世界上精密工程的研究中心之一。日本的超精密加工技术的研究相对于英美来说起步较晚,但它是当今世界上超精密加工技术发展很快的国家。尤其在用于声、光、图像、办公设备中的小型、超小型电子和光学零件的超精密加工技术方面,甚至超过了美国。高温合金的超精密加工需解决材料硬度高、切削困难的问题,保障精度。超硬超精密MLCC
超精密加工主要包括三个领域:超精密切削加工如金刚石刀具的超精密切削,可加工各种镜面。它已成功地解决了用于激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成电路基片的加工。超精密特种加工如大规模集成电路芯片上的图形是用电子束、离子束刻蚀的方法加工,线宽可达0.1µm。如用扫描隧道电子显微镜(STM)加工,线宽可达2~5nm。超精密加工是指亚微米级(尺寸误差为0.3~0.03µm,表面粗糙度为Ra0.03~0.005µm)和纳米级(精度误差为0.03µm,表面粗糙度小于Ra0.005µm)精度的加工。实现这些加工所采取的工艺方法和技术措施,则称为超精加工技术。加之测量技术、环境保障和材料等问题,人们把这种技术总称为超精工程。工业超精密半导体元件微电子芯片的制造离不开超精密加工,实现电路图案的高精度刻蚀。

微泰拥有激光超精密钻探技术。随着电子和半导体行业的快速发展,对更小、更精细的微孔的要求越来越高,这使得该行业很难通过机械加工来实现。自90年代后期以来,微泰一直专注于使用激光的微孔领域,并越来越多地寻求超精密业务。客户越来越多。我们将为您提供25年的精细钻孔技术,包括使用纳秒激光的超精密钻孔技术,以及使用飞秒激光的超精密激光技术。纳秒红外激光器套钻系统-功率:50W,脉冲能量:100uJ,频率:100Hz,在利用现有的纳秒激光加工微孔时,由于长激光脉冲产生的热量积累,会在孔周围生成颗粒。出现了表面物性值变形等各种问题。飞秒绿色激光先进的螺旋钻进系统-功率:5W,脉冲能量:13uJ,频率:100Hz,飞秒激光利用相对较短的激光脉冲,热损伤很小,加工对象没有物性变形层,表面平整,实现超精密微孔加工。本系统的技术是先进的螺旋钻孔技术,采用高速螺旋钻削技术。
微泰,精湛的超精密加工技术,可达到微米级加工,充分考虑材料的特殊性加工超平整零件,平整度公差小于3um零件精密加工的关键在于确保高水平的精度和质量,并确保与既定尺寸的偏差小实现。精密加工的半导体晶圆真空卡盘的平面度公差不超过3μm,并通过三维接触测量仪进行全数检查和系统质量的管材,为全球客户提供精密加工。铝(AL5052、AL6061、AL7075)、不锈钢(SUS304、SUS316、SUS630)。铜、钨、钛和蒙奈尔合金(MONEL)。处理聚醚醚酮(PEEK)、聚甲醛(POM)和聚酰亚胺(PI)等材料,需要精密加工。使用高难度材料,如无氧高导铜(OFHC)制造半导体精密零件。超精密加工后的零件需进行稳定性处理,防止使用过程中因应力释放变形。

超精密加工为了提升工艺的精细度,超精密加工会使用到高精度位置感测器(displacementsensor)、高阶CNC(computernumericalcontrol)控制器等进阶设备。由于精度高的缘故,常应用在光学元件,如:雷射干涉系统、光碟机的读取透镜、影印机与印表机用的fq镜面、数位相机或手机相机的光学镜头等;也会应用在机械工业如:电脑硬碟、光纤固定与连接装置、高精度射出或模造用模具…等。此外,航空及航海工业中导航仪器上特殊精密零件、雷射仪、光学仪器等也会运用超精密加工的技术。超精密加工的在线测量技术能及时反馈加工误差,实现实时补偿。日本技术超精密钻孔
超精密加工能改善零件的摩擦性能,延长机械系统的使用寿命。超硬超精密MLCC
客户可以信赖的超精密K半导体材料和元件的加工品牌,微泰,将客户满意度放在中心半导体晶圆真空卡盘、半导体孔卡盘和半导体流量计。专业制造半导体设备的精密组件,包括半导体液位传感器(ODM/OEM)。处理无氧铜等特殊材料半导体设备,以及精密零件制造。为模件装配提供解决方案。精密零件加工方面,对于特殊材料,精密加工急件、具有快速服务及应急响应能力。加工半导体晶圆真空卡盘,半导体精密卡盘,半导体精密流量计,半导体液位传感器,半导体精设备精密元件,JIG制作。模组部件组装方面,根据客户要求组装模组型元件,生产半导体重要零部件,半导体精密流量计。研发中心开发新产品,研发新材料,新的加工技术。超硬超精密MLCC