半导体超精密小孔

精密加工听起来很遥远，其实与我们生活中非常贴近！像是前文有提到的航太、能源、医疗、半导体等产业都是因为有高精度的加工才能稳定成长。接下来也将跟你分享我们过去如何透过精密加工技术来成就这4个领域。 防卫产业侦查、爆破还是防御系统，都是不可或缺的领域，而这些都必须要有高质量的精密加工，才能稳定成就安全保卫的环节。像是侦查系统，就有光学感测、红外线感测、雷达、无线电传感器、声学等技术支援，且需要在极端气候如：沙漠、深海、极地地区保持良好的准确性，才能在紧要关头时侦测到敌方的一举一动。 能源产业不管是过往的天然气、火力发电，到近年来盛行的绿色能源都与精密加工密不可分！比如说太阳能、风电设备等，就非常需要耐用和可靠的零件和产品，才能稳定排放出废料，维持良好的电力输出。 半导体产业半导体产业在零件的要求不仅精度高，且还需大规模生产，才能创造出具有高创造性、竞争力的晶圆。半导体产业会运用精密加工的五轴CNC机床及车铣设备加工，到热处理、化学表面处理技术，任一工法缺一不可，才能拥有精密模组及零件也可以支援研发端在技术上有所突破，提升产品的竞争力！超精密加工是为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等技术的需要而发展起来的精度极高的一种加工技术。半导体超精密小孔

20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等技术的需要而发展起来的精度极高的一种加工技术。到80年代初，其加工尺寸精度已可达10纳米（1纳米=0.001微米）级，表面粗糙度达1纳米，加工的小尺寸达 1微米，正在向纳米级加工尺寸精度的目标前进。纳米级的超精密加工也称为纳米工艺(nano-technology) 。超精密加工是处于发展中的跨学科综合技术。20 世纪 50 年代至 80 年代为技术开创期。20 世纪 50 年代末，出于航天等技术发展的需要，美国率先发展了超精密加工技术，开发了金刚石刀具超精密切削——单点金刚石切削(Single point diamond turning，SPDT)技术，又称为“微英寸技术”，用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件等。芯片超精密颗粒面膜板超精密飞秒激光技术是一种高精度、非接触、非热效应的加工方法，适用于各种材料的微细加工。

超精密加工技术市场是国家高技术集中的市场，它既是高代价、高投入的工艺技术，又是高增值、高回报的工艺技术，世界工业先进国家都把它放在国家技术和经济振兴的重要位置。试举几例。(1)超精密零件加工。例如惯性导航仪器系统中的气浮陀螺的浮子及支架、气浮陀螺马达轴承等零件的尺寸精度、圆度和圆柱度都要求达到亚微米级精度;人造卫星仪器轴承是真空无润滑轴承，其孔和轴的表面粗糙度Rα达到1nm，圆度和圆柱度均为纳米级精度，这些零件都是用超精密金刚石刀具镜面车削加工的。精密液压控制系统中的精密伺服阀的阀芯与阀套的配合精度也常在亚微米等级，它是用超精密磨削方法加工的。

高精度、高效率高精度与高效率是超精密加工永恒的主题。总的来说，固着磨粒加工不断追求着游离磨粒的加工精度，而游离磨粒加工不断追求的是固着磨粒加工的效率。当前超精密加技术如CMP、EEM等虽能获得极高的表面质量和表面完整性，但以失去加工效率为保证。超精密切削、磨削技术虽然加工效率高，但无法获得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顾效率与精度的加工方法，成为超精密加工领域研究人员的目标。半固着磨粒加工方法的出现即体现了这一趋势。另一方面表现为电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生。不受加工数量的限制，对于小批量加工服务，激光超精密加工更加便宜。

微泰以30年的技术和经验为基础，生产各种Cutter刀片和Blade刀具。对于MLCC及Film、二次电池等各种生产现场的切割处理，所需的刀片类不是单纯的切割，而是需要精密的进给度及切割边缘的角度管理、先进的材料管理等，以避免对被切割物造成损伤。通常，Cutter类被称为blade、cutter、knife、verticalblade、wheelcutter等多种名称，关键技术刀刃部的管理技术是Cutter类的重点技术点。为此，微泰提供了可靠、可靠的高精度、好品质、长寿命的各种刀片。超薄，超锋利的镜头切割器，光滑无毛边地切割塑料镜片的浇口，占韩国塑料镜头切割刀片90%以上的市场。当精密加工已无法达到更好的形状精度、表面粗糙度与尺寸精度时，就会需要使用到超精密加工的技术。高精度超精密分配板

激光超精密加工技术领域，全球有多家厂商参与竞争并提供各种不同类型的设备。主要厂商集中在亚洲、德国等。半导体超精密小孔

飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，可以实现超精密微孔加工。微泰利用先进的飞秒激光高速螺旋钻削技术，用扫描仪，可以在任何位置自由调整聚焦点，还可以调节激光束的入射角，从而实现锥度、直锥度可以进行倒锥度等，所需的微孔的几何加工。本系统通过调整入射角和焦距，可以进行产业所需的各种形状的加工，可以进行5um到200um的精密孔加工。此外，还可以进行MAX10度角的倒锥孔和三维加工。激光加工完成后，用微孔检测系统，将载入相应的坐标信息。通过视觉扫描，确认每个微孔的大小和位置信息，并将其识别合格还是不合格。收集完成后，按下返工按钮即可进行再加工。本技术适用于，需要超精密加工的半导体制造设备零件、医疗领域设备及器材配件，各种传感器相关配件，适用于光学相关设备和零件的精密加工领域。特别是用于MLCC制造中的薄膜片叠层用真空板微孔加工。有微孔加工需求，超精密加工需求，请联系！半导体超精密小孔