19.2超高真空大型闸阀系列旨在为需要超大尺寸的应用(例如空间模拟应用)提供可靠的隔离。该系列的设计规格可达DN1250mm(50"),但也可根据要求提供更大的尺寸。19.2系列旨在满足可达到1×10-10的超高真空要求。所有阀门均采用一个基于VATLOCK技术的阻尼式开关机构,其能提供可靠的密封,同时不会在闸封处产生任何摩擦。减少的摩擦增加了密封寿命并减少了移动阀板所需的力,这是直径较大的一个重要因素。由于关闭位置处的机械锁定,VATLOCK机构还可以防止阀门故障。为便于维护,DN900mm(36")及以上尺寸的所有系列均采用分体式设计。为减少较大DN尺寸的占用空间,19.2系列采用紧凑型设计,双作用气动驱动器位于阀板外壳侧面。大型闸阀系列中的所有阀门均满足可靠性、耐用性和可维护性的标准要求,并且特别注重长运行时间和低购置成本。19.2大型闸阀系列已经在数百个应用中运行,证明了其可靠性。它们已成为DN400–1250mm(16"–50")尺寸的大型真空隔离要求的标准。高压闸阀只许介质单向流动,安装时有方向性。它的结构长度大于闸阀,同时流体阻力大。多位闸阀Micron
闸阀闸阀的工作原理是通过升降闸板(阀瓣)来控制流体流动。闸板通常位于阀门的底部,当闸板提升时,流体通道打开,阀门开启;当闸板下降并密封在阀座上时,流体通道关闭,阀门关闭。闸阀的这种结构使其在关闭状态下具有良好的密封性能。蝶阀蝶阀的工作原理是通过旋转蝶板(阀瓣)来控制流体的流动。蝶板位于阀门的中心,与管道轴线成一定角度。当蝶板旋转至与流体流动方向平行时,阀门开启;旋转至垂直于流体流动方向时,阀门关闭。蝶阀的这种结构使其在全开和全关状态下具有较小的流体阻力。大型闸阀气动阀控制系统和蝶阀使用步进电机操作,而多定位闸阀使用气动控制操作。
微泰,传输阀、转换阀、输送阀、转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。I型和L型转移阀是用于半导体PVD CVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它们的作用是将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽,并极大限度地减少由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化,以维持腔室内的真空压力。I型转移阀由铝或不锈钢制成,用于传输晶圆小于450毫米的半导体系统和隔离工艺室。其特点是叶片在垂直方向上快速移动,以确保完美的腔室压力维持。而L型转移阀也由铝或不锈钢制造,其特点是设计紧凑,易于维护。L型转移阀的闸门在两个阶段从垂直到水平方向移动,以确保完美的腔室压力维护。这两种类型的转移阀都具有高耐用性和长寿命的优点,并且在闸门开启和关闭过程中极大限度地减少了振动,对温度变化也非常稳定,以确保较长的使用寿命。如果您需要了解更多关于微泰传输阀、转换阀、输送阀、转移阀的信息,请联系上海安宇泰环保科技有限公司。
刀闸阀又称刀型闸阀、刀门闸阀、浆液阀、泥浆阀,它的启闭件是闸板,闸板的运动方向与流体方向相垂直,靠可以切割纤维材料的刀刃形闸板来切断介质,闸板有两个密封面,常用的模式闸板阀的两个密封面形成楔形、楔形角随阀门参数而异,通常为5°,楔式刀型闸阀的闸板可以做成一个整体,叫做刚性闸板;也可以做成能产生微量变形的闸板,以改善其工艺性,弥补密封面角度在加工过程中产生的偏差,这种闸板叫做弹性闸板。阀体实际上不存在腔室,闸板在侧面导向槽内升降,并由底部的凸耳紧压在阀座上,如需达到较高的介质密封性时,可选用O形密封阀座实现双向密封。刀闸阀具有较小的安装空间,工作压力低,不易堆积杂物,价格较低。刀型闸阀关闭时,密封面可以只依靠介质压力来密封,即依靠介质压力将闸板的密封面压向另一侧的阀座来保证密封面的密封,这就是自密封,大部分闸阀是采用强制密封的,即阀门关闭时,要依靠外力强行将闸板压向阀座,以保证密封面的密封性。本类阀门在管道中一般应垂直安装。刀型闸阀驱动方式:手动,链轮,电动,气动,液动,伞齿轮,电控液动和气液动等驱动方式。刀型闸阀外形:明杆,暗杆两种。刀型闸阀材质:铸铁、铸钢、碳钢、不锈钢、衬氟等。真空闸阀广泛应用于各种真空系统和工艺过程中,如半导体生产、电子设备制造、科研实验、航空航天等领域。
真空阀可以根据其工作原理、结构特点、应用领域等多种方式分类。以下是一些常见的分类方法:1.按工作原理分类:o机械式真空阀:通过机械运动来控制真空环境的开关。o电磁式真空阀:利用电磁力来驱动阀门的开启和关闭。o气动式真空阀:使用压缩空气或气体作为动力源来控制阀门动作。o热导式真空阀:利用热导原理,通过加热或冷却来控制真空度。2.按结构特点分类:o直通式真空阀:流体通道为直线型,适用于高真空系统。o角式真空阀:流体通道呈90度弯曲,常用于空间受限的场合。o三通式真空阀:具有三个接口,可以实现流体的分流或合流。o多通路真空阀:具有多个通道,适用于复杂的真空系统。3.按应用领域分类:o半导体行业真空阀:用于半导体制造过程中的真空环境控制。o化工行业真空阀:适用于化工生产中的真空过滤、蒸馏等过程。o真空镀膜用真空阀:在真空镀膜设备中用于控制真空度。o实验室真空阀:用于实验室真空环境的搭建和维持。4.按控制方式分类:o手动真空阀:通过手动操作来控制阀门的开关。控制系统闸阀是自动控制到用户指定的值,通过控制器和步进电机保持一致的真空压力。加热闸阀插板阀
真空闸阀属于真空隔离阀类别。但是,它也有可用于控制气流。多位闸阀Micron
闸阀又称插板阀是一种管道控制设备,主要用于截断或接通介质流。其主要应用于以下场合:1.物料输送系统中的管道切换2.粉尘、颗粒状物料的输送管道3.化工行业的腐蚀性介质管道4.矿山、冶金行业的物料输送5.水处理系统的介质隔离6.燃气、空气等气体的管道控制7.环保设备的尾气处理系统8.燃料供应系统的介质切换9.纺织、制药等行业中的特殊介质管道10.建筑工地、船舶等移动设备的管道系统控制。插板阀是一种用于控制流体管道中流量和压力的阀门,通过插入或拔出阀门上的插板来开启或关闭管道。它广泛应用于工业、建筑、化工等领域。多位闸阀Micron