高精度超精密真空板

微泰利用先进的飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID（电解在线砂轮修正技术），飞秒激光抛光技术，生产各种超精密零部件。用于半导体加工真空板薄膜真空板倒装芯片工艺真空块MLCC贴合用真空板薄膜芯片粘接工具，镜头模组组装治具。用自主自主技术，飞秒激光螺旋钻孔系统，加工出来的微孔不同于连续波激光，纳秒激光，皮秒激光加工出来的微孔，平整，热变形和物理变形很小，可以做到，1.孔径至少为20微米2.能够加工MIN0.3微米孔距3.MLCC贴合真空板4.在一块真空板上，能够处理多达八十万个孔5.各种形状的孔6.同一截面的不规则孔7.可混合加工不规则尺寸的孔有问题请联系，上海安宇泰环保科技有限公司超精密飞秒激光技术是一种高精度、非接触、非热效应的加工方法，适用于各种材料的微细加工。高精度超精密真空板

微泰，采用先进的飞秒激光的高速螺旋钻削自主技术，进行半导体产业所需的各种形状的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。还可以进行MAX10度角的倒锥孔和各种几何形状的微孔，飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，实现超精密微孔加工。MLCC 层压的真空板相同区域内可加工不规则位置的孔；可以混合加工不规则尺寸，孔间距可达 0.3 μm ；可加工多达 800,000 个孔，用于MLCC印刷吸膜板，MLCC叠层吸膜板，吸附板。PCD超精密研磨激光超精密加工打孔在PCB行业应用广，激光在PCB上不仅加工速度快，能打2μm以下的小孔微孔及隐形孔的钻孔。

现有物理打磨技术,接触式加工,磨损基石，需要切削油, 加工后需要清洗，异形件打磨和局部打磨有难度。纳秒激光打磨有以下问题：产生细微裂纹，熔化-再凝固产生热变形， 表面物性发生变化， 周围会产生多个颗粒。飞秒激光打磨：改善现有打磨技术的问题 -热影响极小，可以局部打磨，异形件打磨，不需要化学药剂  -细微裂纹极少化  表面物理特性变化少，在不改变物性值的情况下，提高表面粗糙度。 高功率激光打磨：测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起  中等功率，利用中等功率激光可以刻画  低功率时具有，清洗效果；抛光效果（也有去除微孔边缘毛刺的效果） 抛光后，[A O I（自动光学检查）]  对孔不良进行检测（手动或自动） （光学相机扫描仪）材料的边缘测量和修正材料位置误差。非常适合异形件打磨、抛光。局部打磨抛光。

随着电子和半导体产业的快速发展和生物、医疗产业等对超精密的需求，越来越需要能够加工数微米大小目标物的超精密加工技术。激光微加工是指利用激光束的高能量，在不对要加工的材料造成热损伤的情况下，通过瞬间熔融和蒸发材料，以数微米至数纳米颗粒的大小对材料进行切割、钻孔等加工。通常，微加工使用皮秒或纳秒激光和超短脉冲激光，其波长非常短或脉冲宽度非常短。超短脉冲激光，包括Excimer激光，广泛应用于眼科、玻璃和塑料的精密加工、精密零件的制造、地球科学和天体研究以及光谱和FBG工艺。据悉，用于微细加工的大部分激光都具有极高的脉冲能量和尖头输出功率和能量密度，因此无法通过光缆传输激光-光束，而且与能够稳定传输激光-光束的镜片、镜片等光学装置一起精密处理要加工材料的技术也很重要。微加工技术广泛应用于超精密零件的加工、半导体领域和医疗、生物领域等，主要应用于玻璃切割、Ceramic切割或钻孔以及半导体晶片切割。微泰利用飞秒激光钻削技术可加工HoleSize MIN 5微米微孔，孔间距可加工到3微米，用于MLCC叠层吸膜板，吸膜板MAX可加工80万微孔。可加工各种形状的孔，同一位置内加工不规则的孔，可进行不规则的混合孔激光超精密加工具有切割缝细小的特点。激光切割的割缝一般在0.1-0.2mm。

微泰，精湛的超精密加工技术，可达到微米级加工，充分考虑材料的特殊性加工超平整零件，平整度公差小于 3 um零件精密加工的关键在于确保高水平的精度和质量，并确保与既定尺寸的偏差小实现。 精密加工的半导体晶圆真空卡盘的平面度公差不超过 3 μm，并通过三维接触测量仪进行全数检查和系统质量的管材，为全球客户提供精密加工。 铝（AL5052、AL6061、AL7075）、不锈钢（SUS304、SUS316、SUS630）。 铜、钨、钛和蒙奈尔合金（MONEL）。 处理聚醚醚酮 (PEEK)、聚甲醛 (POM) 和聚酰亚胺 (PI) 等材料，需要精密加工。使用高难度材料，如无氧高导铜 (OFHC)制造半导体精密零件。超精密激光表面处理的特点是无需使用外加材料，只改变被处理材料表面层的组织结构，被处理件变形很小。PCD超精密研磨

激光的应用已从大尺寸的粗糙加工，慢慢扩展到小尺寸、高精度的领域。高精度超精密真空板

客户可以信赖的超精密 K 半导体材料和元件的加工品牌，微泰，将客户满意度放在中心半导体晶圆真空卡盘、半导体孔卡盘和半导体流量计。 专业制造半导体设备的精密组件，包括半导体液位传感器（ODM/OEM）。处理无氧铜等特殊材料半导体设备，以及精密零件制造。为模件装配提供解决方案。精密零件加工方面，对于特殊材料，精密加工急件、具有快速服务及应急响应能力。加工半导体晶圆真空卡盘，半导体精密卡盘，半导体精密流量计，半导体液位传感器，半导体精设备精密元件，JIG 制作。模组部件组装方面，根据客户要求组装模组型元件，生产半导体重要零部件，半导体精密流量计。研发中心开发新产品，研发新材料，新的加工技术。高精度超精密真空板