飞秒激光新技术应用刚刚兴起,主要应用行业包括:半导体产业、太阳能产业(特别是薄膜技术)、平面显示产业、合金微铸造、精确孔径和电极结构加工、航空难材料加工、医疗设备等领域!在中国制造2025的大战略背景下,传统工业制造业面临深度转型,其中一个方向就是效率提升的同时转向附加值更高、技术壁垒更高的精密加工。而激光加工完全符合于这一主旨,激光器及激光加工设备已经在消费电子触摸屏模组生产、半导体晶圆划片等3C制造领域崭露头角,并在蓝宝石加工、曲面玻璃和陶瓷生产等领域展现出全新的应用前景。飞秒激光加工是利用光的能量经过透镜聚焦后在焦点上达到很高的能量密度,靠光热效应来加工的。上海微米级飞秒激光抛光
飞秒激光钻孔技术还可被运用于核聚变上,核聚变中的点火靶球具有充气微孔,只有微孔的数量多、精度高才能保证聚变反应的控制精度,而飞秒激光加工技术恰好能满足这一要求。近年来飞秒激光钻孔技术还被运用到透明材料内部的三维微孔加工中,这种制造技术将有利于制造飞机、坦克、舰艇上使用的光电传感器设备。加工方法一般是通过液体辅助,在透明材料表面直接烧蚀成孔,让液体将碎屑去除,这样的方法可以达到更高的钻孔深度。飞秒激光技术的发展能更好地推动我国对核能领域的进一步探索。高效飞秒激光小孔秒激光用于加工时,其加工面会非常均匀平滑,毛刺较少甚至无毛刺,脉冲越短,越平滑均匀。
飞秒激光刻蚀具有以下优点:1、精度高:飞秒激光能够实现非常精细的加工,因此可以创造出高度精密的模具。2、不产生热损伤:由于激光脉冲极短,能量密度高,加工过程中很少产生热影响区,减少了模具表面的热损伤。3、避免微裂纹:相比传统加工方法,飞秒激光刻蚀可以减少或避免在模具表面形成微裂纹,提高了模具的使用寿命和耐久性。4、可加工各种材料:飞秒激光刻蚀技术适用于各种材料,包括金属、塑料、陶瓷等,因此具有很大的适用范围。灵活性:激光加工具有很高的灵活性,可以实现各种复杂形状和微细结构的加工。飞秒激光在模具上进行激光刻蚀是一种高精度、低热影响、适用性广的先进加工技术,可以实现对模具表面的精细加工,为制造高精度零部件提供了重要的加工手段。
基于能量高度集中、热影响区小、无飞溅无熔渣、不需特殊的气体环境、无后续工艺、双光子聚合加工精度可达0.7um等优势,飞秒激光在诱导金属微结构加工应用方面和精细加工方面都取得了很大的进展。1.孔加工在1mm厚的不锈钢薄片上,飞秒激光进行了具有深孔边缘清晰、表面干净等特点的纳米级深孔加工;在金属薄膜上,钛宝石飞秒激光加工制备出了微纳米级阵列孔,孔径至小达2.5um,孔直径在2.5~10um间可调,至小间距可达10um,很容易实现10-50um间距调整。2.金属材料表面改性1999年德国汉诺威激光中心Noltes等人报道了结合钛宝石飞秒激光三倍频光(260nm)和SNOM(扫描进场光学显微镜)在金属镉层制出了线宽200nm的凹槽。为以后的无孔径近场扫描光学显微镜(ANSOM)取代SNOM奠定了基础,获得了高达70nm的空间分辨率,开拓了远场技术在纳米范围下的物理化学特性以及运输机制的研究。飞秒激光可以用在聚合物加工、医学成像及外科医疗上。
我们正在使用飞秒激光生产超精密钻孔产品。可对PCD、PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢、钼等各种材质的产品进行细孔加工。在工业工件中,有些形状是没有激光就很难实现的。但是,一般激光加工企业的加工质量大多被激光形状加工所占据,精度不高,公差为±0.1mm。这是因为激光产业主要是以切割为主。另一方面,我们也从事非常精密的激光成型,我们制造和供应具有精确公差和质量的激光成型产品。比如:用于半导体加工真空板电影真空板用于倒装芯片工艺真空块MLCC贴合用真空板对于薄膜芯片粘接工具等。飞秒激光适用于在各类金属、非金属、复合材料等多种材料上进行盲孔/异型孔等结构的可控锥度精细加工。上海微米级飞秒激光抛光
飞秒激光钻孔尤其擅长加工Ø0.2以下的微孔。上海微米级飞秒激光抛光
随着科技的不断进步和应用需求的不断增长,飞秒激光打沉头孔技术将继续发展。未来发展方向包括:进一步提高加工精度和效率;研究和开发新型的飞秒激光器和控制技术;拓展飞秒激光在更多领域的应用;加强与其他先进技术的结合,如机器人技术、自动化技术等,实现更高效、智能的加工生产。飞秒激光微孔成型设备在钼片上打沉头孔的应用具有很大的优势和发展潜力。随着技术的不断进步和应用需求的不断增长,相信这一技术将会在更多领域得到应用和发展。上海微米级飞秒激光抛光