南京大型试验箱

下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的整机尺寸、真空腔体尺寸。1.内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架：2块3.室温+10℃-250℃控温范围：温度分辨率：0.1℃温度波动度：0.5℃4.真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，5.加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）。试验箱如何发挥重要作用？南京大型试验箱

1.炉膛气氛：2路空气，流量计量程为7～70L/min，每路流量可调节；2.排气系统：在炉膛顶部设置一个排气囱，用于废气排放。二、传动系统1.传动方式：升降式2.传动类型：电动推杆传动3.容积：20L三、冷却系统1.冷却结构：无2.产品降温：随炉降温四、安全保护1.升、降、停按钮：载料台的升、降、停控制2.报警指示：超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警3.设备安全升温速率≤5℃/min五、温度控制系统1.温度测量:采用B分度热偶测量2.控制方式：高性能移相调压+SCR晶闸管模块控制2.1当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警2.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时，报警3.控制仪表：采用进口智能调节仪控制。具有PID参数自整定、高温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能。成都高低温快速试验箱试验箱常见的用途有哪些？合肥真萍告诉您。

下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的技术指标。1.机外壳采用冷扎钢板喷塑处理，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2.箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3.微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4.智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优良材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。

下面为大家介绍一下石墨盘真空烤盘炉的用途和设计。一、产品介绍真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。二、设计特点1.后门设计热风电机2.降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向3.通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的试验箱找哪家比较安心？合肥真萍不错。

真萍科技的电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜的氮气监控系统。1.2.3寸LED大屏幕数字显示湿度/温度。2.温湿度显示值0.1％-99.9％RH，温度显示值0.1℃-60.0℃。3.温湿度收集采准确传感器，长距离传输无误差。4.湿度控制：4.1利用湿度设定值来控制氮气流入，到达湿度设定值即停止进气，节省氮气耗用。4.2湿度在1％-60％RH可调整。试验箱的重要组成部分有哪些？高低温快速试验箱多少钱

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下面为大家介绍一下石墨盘真空烤盘炉的技术指标。1.使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；2.绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；3.加热元件：石墨加热棒；4.冷却方式：气冷+循环风冷降温；5.控温稳定度：2℃，具有PID参数自整定功能；6.炉膛温度均匀度：5℃（恒温1500℃）；7.气氛:可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；8.极限真空:10-3torr级；9.抽气速率：空载下，30min达到10-2torr10.升温功率：170kW；11.升温速率：15℃/min（空载）；12.降温速率：1450℃至80℃,240分钟南京大型试验箱