浙江工业烤箱专卖

下面为大家介绍一下石墨盘烤盘炉一.产品介绍真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。二、设计特点1、后门设计热风电机2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的三、技术指标1、使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；4、加热元件：石墨加热棒；5、冷却方式：气冷+循环风冷降温；6、控温稳定度：2℃，具有PID参数自整定功能；7、炉膛温度均匀度：5℃（恒温1500℃）；8、气氛:可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；9、极限真空:10-3torr级；10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr11、升温功率：170kW；12、升温速率：15℃/min（空载）；13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟工业烤箱的作用是什么？合肥真萍告诉您。浙江工业烤箱专卖

优良连续炉的产品特点：1、双边配有链条传动，解决传送过程中跑偏的现象；2、烘箱分段式加热，单独电箱控制，方便操作，结构主要由输送机系统与烘干炉两大部分组成，多段单独；3、PID温度控制，炉内温度均匀；4、输送速度变频调速，调节自如，运行平稳，产能高；5、每段单独箱体设置废气排放接口，可外接到车间外面，避免车间废气污染。优良连续炉的术参数：1、送风方式：送风循环系统；2、温度范围：RT+30℃~300℃；3、温度精度：1℃4、温度均匀性：1℃5、温控装置：富士智能PID温控仪，LED数字显示，PID自动演算及定时；6、材质：内胆不锈钢，外箱体钢板静电喷塑；7、传送方式：链杆、链网、自动锟轮，相当强承重；8、复合式电加热器；9、保护装置：漏电保护、断路保护、电机过载保护、接地保护、非正常运行情况下蜂鸣报警。杭州大型工业烤箱合肥真萍告诉您使用工业烤箱的便捷性。

冷热冲击试验箱具有模拟大气环境中温度变化规律。主要针对于电工，电子产品，以及其元器件及其它材料在高温，低温综合环境下运输，使用时的适应性试验。用于产品设计，改进，鉴定及检验等环节。温度范围指产品工作室能耐受和(或)能达到的极限温度。通常含有能控制恒定的概念，应该是可以相对长时间稳定运行的极值。一般温度范围包括极限高温和极限低温。一般标准要求指标为≤1℃或0.5℃。温度均匀度旧标准称均匀度，新标准称梯度。温度稳定后，在任意时间间隔内，工作空间内任意两点的温度平均值之差的较大值。这个指标比下面的温度偏差指标更可以考核产品的**技术，因此好多公司的样本及方案刻意隐藏此项。

高温钟罩炉设备规格及结构炉膛结构：采用多晶莫来石材料砌筑而成

一、热工系统1.1额定温度：1550℃1.2限制温度：1600℃1.3加热元件：U型硅钼棒1.4加热功率：16kW1.5空炉保温功率≤8kW1.6温区个数：1个1.7控温点数：1点1.8热偶:B分度1.9程序**精度：2℃（大于600℃,升温速率≤3℃/min）二、气氛系统2.1炉膛气氛：2路空气，流量计量程为7～70L/min；每路流量可调节2.2排气系统：在炉膛顶部设置一个排气*囱，用于废气排放三、传动系统3.1传动方式：升降式3.2传动类型：电动推杆传动3.3容积：20L四、冷却系统4.1冷却结构：无4.2产品降温：随炉降温五、安全保护5.1升、降、停按钮：载料台的升、降、停控制5.2报警指示：超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警5.3设备安全升温速率≤5℃/min六、温度控制系统6.1温度测量:采用B分度热偶测量6.2控制方式：高性能移相调压+SCR晶闸管模块控制6.3限温处理：6.3.1当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警6.3.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时，报警6.4控制仪表：采用进口智能调节仪控制。具有PID参数自整定、高温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能 合肥真萍告诉您如何正确使用工业烤箱？

HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。工业烤箱常见的用途有哪些？合肥真萍告诉您！苏州工业烤箱生产厂家

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洁净烘箱，本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。箱体结构：1烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，尘埃物过滤部分，N2进气排气及风冷部分等组装而成，结构合理，功能实用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘，内胆材料：采进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。3保温材料：采用正厂玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，有效的防止了热能浪费。4电热部分：采用进口覆套式电热器（SHEATHEDHEATER）无尘无氧化电热发生器5风道部分：整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A，(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100；可靠先进的测控系统1温度控制装置：日本进口温控器，内置PID自动整定，斜率设定功能2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出，温度采集探头为特制铠装K型热电偶3温度监控装置：采用日本六通道巡回检测有纸记录仪，可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。浙江工业烤箱专卖