HMDS预处理系统的必要性:在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。工业烤箱常见的用途有哪些?合肥真萍告诉您!立式工业烤箱供应厂家
下面为大家介绍一下真空干燥箱。它是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。它是利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。特点:1、长方体工作室,增加有效容积,微电脑温度控制器,精确控温。2、双层玻璃视窗观察工作室内物体,一目了然。3、箱体闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。4、工作室采用不锈钢板(或拉丝板)制成,确保产品经久耐用。5、储存、加热、试验和干燥都是在没有氧气或者充满惰性气体环境里进行,所以不会氧化。真空程序分段控制该型号机型,抽真空过程可提供程序化编程,根据客户要求编辑设定真空值,保压时间值。可实现多段抽真空和保压编程。操作步骤1,接通电源2,产品送入腔体,关门3,打开电源4,工作温度设定好,启动加热,设备进入自动恒温状态5,真空值和时间设定好后,启动真空泵,开始进入自动抽真空阶段6,到达时间值后,真空泵自动关闭淮安做工业烤箱工业烤箱的原理是什么?合肥真萍告诉您。
优良连续炉的适用范围:连续炉即是连续作业炉,是指连续地或间歇地装料,工件在炉内不断移动,完成加热、保温,有时包括冷却在内全过程的热处理炉。连续作业炉可借助某些机械机构连续地或间歇地进行装料和出料,连续顺序地通过按零件处理工艺要求的不同温度区完成加热过程。使用连续作业炉可提高产品质量,提高劳动生产率和改善劳动条件。优良连续炉的产品特性:1、采用智能型温度控制模块,PID自动演算,LED显示,配合SSR大功率可控硅输出,能控制温度之精细度;2、分段控制(当到达设定温度时可任意关掉其中几段发热管,降低加热功率,其达到省电效果)3、内箱采用1.5mm厚SUS304#不锈钢(清洁无尘,防生锈、耐腐蚀),外箱采用1.5mm厚Q235冷轧钢板(强度、塑性和焊接综合性能相当好);4、整机控制系统采用触摸屏加PLC程序控制,设备加热、运风、传动、自动门开关均采用智能控制,防止失误动作;5、当实际检测温度超过超温保护温控器设定值时,自动切断加热电源,起到双重保护功能。
温度范围:室温+20~260℃(300℃)温控器:PID微电脑控制计时器:温到计时;时间到切断加热电流CZ-452A及RHDM-602A皆附玻璃CZ-902A以上之型号皆无玻璃视窗执行满足标准及试验方法GB11158-89高温试验箱技术条件GB2423.2-89高温试验方法规格GB/T11158-2008《高温试验箱技术条件》,JB/T5520-91《乾燥箱技术条件》电热设备的安全性按GB5959.1-2005,GB5959.4-2005执行GB10067.1-2005《电热设备基本技术条件通用部分》GB10067.4-2005《电热设备基本技术条件间接电阻炉》工业烤箱在社会上的重要性。
HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸:1.内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架:2块3.室温+10℃-250℃控温范围:温度分辨率:0.1℃温度波动度:±0.5℃4.真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,5.加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为常规降温)。使用工业烤箱前的检查步骤。精密工业烤箱手柄
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机械行业烘箱、合成纤维行业烘箱、木材行业烘箱、摩擦材料烘箱等等。其根据性能可分为可编程烘烤箱、精密烘箱充氮烘箱、真空烘箱、防爆烘箱、电热鼓风干燥箱,热风循环烘箱等.烘箱外壳一般采用薄钢板制作而成,烤漆工作室采用质量的结构钢板制作,外壳与工作室之间填充硅酸铝纤维,加热器安装底部也可安在顶部或两侧,温度控制仪表采用数显智能表PID调节,配置999.99小时时间控制器并与报警装置相连接,这样使烘箱的操作更简便快捷,是为工业上用来烘干产品的一种烘干设备。立式工业烤箱供应厂家