石墨盘烤盘炉一.产品介绍真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。二、设计特点1、后门设计热风电机2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的三、技术指标1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;4、加热元件:石墨加热棒;5、冷却方式:气冷+循环风冷降温;6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);8、气氛:可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;9、极限真空:10-3torr级;10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr11、升温功率:170kW;12、升温速率:15℃/min(空载);13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高)合肥真萍告诉您使用工业烤箱的便捷性。安徽高温工业烤箱
工业烤箱始终贯穿在众多产品的生产过程中,应用于电子、光学、半导体、通讯、电镀、PCB、LED、新能源、光伏、家电和光学玻璃等众多方面,进行精密烘烤、固化、回火、预热和定型等工序。工业烤箱对温度、清洁度等方面有较高的要求,其质量直接影响到对整个产品的生产过程。工业烤箱属于干燥设备之一,由于每个烘烤产品的特性不同,导致对工业烤箱的要求也不同。每种工业烤箱装置都有其特定的适用范围,而每种物料都可找到若干种能满足基本要求的干燥装置,但更适合的只能有一种。如没有选好合适的设备,除了要承担不必要的高昂采购成本,还将影响到物料烘烤效果,诸如效率低、耗能高、运行成本高、产品质量差、甚至装置根本不能正常运行等。安徽高温工业烤箱合肥真萍科技告诉您工业烤箱的选择方法。
HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸:1.内胆尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架:2块3.室温+10℃-250℃控温范围:温度分辨率:0.1℃温度波动度:±0.5℃4.真空泵:油泵或无油真空泵。真空度:133pa,5.加热方式:腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板(防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态)6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片;6寸晶圆片;8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间(正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间(因降温时间为常规降温)。
冷热冲击试验箱具有模拟大气环境中温度变化规律。主要针对于电工,电子产品,以及其元器件及其它材料在高温,低温综合环境下运输,使用时的适应性试验。用于产品设计,改进,鉴定及检验等环节。真萍科技作为冷热冲击试验箱设备制造厂商,在冷热冲击试验箱设备制造领域的专业性是不用多说的。下面让真萍科技从温度方面,带您了解冷热冲击试验箱。一、温度波动度这个指标也有叫温度稳定度,控制温度稳定后,在给定任意时间间隔内,工作空间内任一点的较高和较低温度之差。这里有个小小的区别“工作空间”并不是“工作室”,是大约工作室去掉离箱壁各自边长的1/10的一个空间。这个指标考核产品的控制技术。二、温度范围指产品工作室能耐受和(或)能达到的极限温度。通常含有能控制恒定的概念,应该是可以相对长时间稳定运行的极值。一般温度范围包括极限高温和极限低温。一般标准要求指标为≤1℃或0.5℃。三、温度均匀度旧标准称均匀度,新标准称梯度。温度稳定后,在任意时间间隔内,工作空间内任意两点的温度平均值之差的较大值。这个指标比下面的温度偏差指标更可以考核产品的**技术,因此好多公司的样本及方案刻意隐藏此项。一般标准要求指标为≤2℃。合肥真萍科技工业烤箱价格更优惠。
真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。洁净节能氮气柜的过滤系统:2.1EBM电子式EC马达控制无尘室FFU。2.2镜面不锈钢结构体。2.3特殊导流风道设计,风压平均,可有效提供风量,降低噪音。2.4电路板控制模块,提供安全保护装置,运转异常指示灯及控制干接点输出。2.5无段式风量调速器可任意调整风量大小。2.6滤网ULPA,0.12μm,99.9995%以上的过滤效果。2.7电力格:单相220V50Hz0.95A,输出功率150W。洁净节能氮气柜的柜体规格、配备:1.左右双开门,3mm钢化玻璃,1mm厚不锈钢板,气密式隐藏锁把手。2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭,脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。3.附高载重不锈钢隔板,柜体加装高载重煞车轮。4.上掀式气密盖,方便FFU保养及维修。5.回风循环设计,单向氮气循环不产生紊流。6.背面气密开门式设计,方便洁净清理与保养。工业烤箱的制作方法难吗?合肥真萍科技告诉您。温州定制工业烤箱
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工业烤箱的热风循环系统由送风马达、风轮和电热器组成,在送风机的作用下由进风口送冷风(即外界空气),经风路系统流入到送风机环节,送风机再把冷空气经风轮、蜗壳、等分风系统送风到正在加热的电热器上,出来的便是热风。热风经过风路系统进入到工业烤箱内箱体进而形成各路风路,进行水平或垂直等送风到各个角落,从而使各位置点的温度达到一致,继而不断的在工业烤箱内进行热风的交替循环,把物体加热固化。通过数显仪表与温感器的连接来控制温度,采用热风循环送风方式,热风循环系统分为水平式和垂直式。安徽高温工业烤箱