随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是普遍的,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。沃德气体累积点滴改进,迈向优良品质!陕西斡旋干式真空泵
噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。2)无油往复真空泵靠活塞往复运动使泵腔(气缸)的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵,又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机相似。工作时,吸气管接被抽真空容器,排气管直通大气。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业等。3)爪式真空泵爪式真空泵由多级转子构成,其中每级都有2个转子构成,两个转子反方向旋转,吸气口与泵腔接通,泵腔容积变大而吸气,当转子关闭吸气口时吸气结束,以后泵腔变小而压缩气体,当排气口打开后泵腔排气,排气口关闭时则排气完毕,如此循环工作。4)无油涡旋真空泵涡旋无油真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中,有两个方向对应的固定涡旋盘,一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。陕西斡旋干式真空泵沃德气体倾城服务,确保产品质量无后顾之忧。
同时增压泵运转。油井内设有油位开关,当油井进人真空泵油或变压器油时控制面板上的蜂呜器将自动报警,同时系统关闭。3、关机停运关闭高真空蝶阀一关闭机械增压泵一关闭真空泵一按急停按钮,控制电源关闭一关主电源断路器。当控制方式通过控制盘上的旋钮转换到自动位置时,设备将通过真空继电器的预设控制点自动控制真空泵和机械增压泵的关闭和启动。真空泵有哪些分类真空泵有哪些分类呢?1、往大气中排气的泵。这种泵一般称为粗抽泵或前级泵。把系统中空气抽除到某一需要的工作压强称为对该系统粗抽。在另一泵的出口处保持的一个所需的低压强称为前级压强。机械旋转泵和喷射泵就是典型的粗抽泵或前级泵。2、只往低于大气压的环境中排气的泵。这种泵需要一个前级泵(申联)向大气中排气。扩散泵、罗茨泵及分子泵均属于这种类型。它们都需要一个前级泵。3、可束缚住系统中的气体和蒸汽的泵。这种泵不需要出气口,是根据电离或吸着原理制成的。真空泵漏油时如何解决真空泵漏油时如何解决呢?机械真空泵漏油部位多在轴封、放油孔、油窗、油箱等处,主要原因是磨损时间过长,密封件损坏或装配不良—未压紧和上紧螺钉时用力不均—而造成。发现某处漏油时。
重新装配的真空泵应进行几个小时的运转试验,以观察是否达到使用要求)真空泵的结构特点真空泵的结构:(1)真空泵总体结构型式真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。真空泵卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。真空泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。(2)真空泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变。沃德气体以质量求生存,以信誉求发展!
干式真空泵分类编辑干式真空泵主要有下列几种形式:双圆裂片式双圆裂片式设计和目前当行和普遍应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些**早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。三叶圆裂片式三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。组合式(罗茨+爪)组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其一级改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样,在很多工艺中。沃德气体为客户服务,要做到更好。陕西斡旋干式真空泵
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节省能源,需封闭前级并联泵中的若干只。泵布局图中的3A、3B、4A、4B被称作前级泵,或叫预抽泵,B1、B2叫增压泵。当全泵投入时,B1、B2开,3B、4B泵封闭。在布局图中可见体系是经过两个逆止阀与3B、4B泵进行衔接的,若是这两个逆止阀开关不到位,或许有走漏,都会给体系的才能形成影响尤其是阀的走漏会形成体系短路,使上一级泵因背压过高而无法正常作业,呈现二重真空表象。其次,真空泵的喷嘴是由两部分组成的,这两部分是靠法兰衔接的,关于联接法兰在泵体内的真空泵,若联接处因为密封等缘由形成蒸汽的走漏,也会给泵的功能形成影响。4、泵体布局的影响:关于单级真空泵,简单磨损的部位是蒸汽的喷嘴,喷嘴被磨损后,不只会影响泵的功能,还会添加体系的运转本钱。5、环境的影响:环境的影响主要是指被抽气体对体系的污染,在钢液处置过程中,钢液会放出很多的气体,一起也会有一部分细微的氧化粉皮等小颗粒被吸入真空泵,这些小颗粒会堆积粘附在泵体上,减小了抽气管路流导,延长了抽气时刻,下降了泵的抽气功能。真空泵抽不了真空应该怎么解决?真空泵很多人都见过,随着现在的发展,很多领域都需要用到真空泵,**近有人发现真空泵抽不了真空应该怎么解决?接下来我们一起来看一下。陕西斡旋干式真空泵
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