罗茨真空机组不能单独使用。必须配备前级泵。前级真空泵用于降低罗茨真空机组的排出压力。由于罗茨真空机组的压缩比受到限制,因此选择前级真空泵的抽速。非常重要罗茨真空机组的压缩比随排出压力而变化。在高排出压力下,比较大压缩比高达3:1,比较高压缩比为1至10mbar(1mbar=Torr)。)高达50:1,甚至更高。因此,应根据罗茨真空泵的长期工作压力范围选择前级泵的抽速。例如,有一个系统使用罗茨真空机组装置抽空气,在1毫巴的入口压力下需要600升/秒的抽速,并且工作很长时间,询问前级泵的抽速是多少应该被选中。假设30升/秒的前级泵,压缩比K=600:30=20,在K=20时给出30毫巴的比较大排出压力。因此,当使用30升/秒的前级泵时,在低于,但是当在高于。在这种情况下,工作真空在,因此30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的泵送要求。如果正常工作时间比预提取时间长得多,则可以选择较小的前级泵;如果真空室较大并需要快速预抽,则使用较大的前级泵,有时为了提高设备效率,该装置配备了较大的预泵,在正常运行后停止并保持较小的前级泵节省电力。沃德气体在客户和行业中树立了良好的企业形象。河北节能气冷罗茨泵选型
不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往必须由一套真空机组来完成,即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度,而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然**简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组,中真空一般需要二级机组。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组。这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制,即前级高于某一压力,泵就不能正常工作。而当前级泵达到这一临界压力时,往往抽速会减小,这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量,这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求,必然会引起真空机组不能正常工作。但如在高低真空泵之间再连接一台中真空泵,便可起到承上启下的作用,流量连续,而且各泵皆可工作在比较好状态。罗茨泵能工作在中真空范围,是**适合的,故又称罗茨增压泵,由于其压缩比不高,正好可连接几Pa至几百Pa的范围。当三级高真空机组进入较高的真空度时,由于主泵的排气流量明显减少,此时*靠一台较小的前级泵便可维持抽气的连续性,在实际运用中这是经常采用的方法,这样可减少机组的能耗。吉林三叶气冷罗茨泵批发沃德气体重信誉、守合同,严把产品质量关,热诚欢迎广大用户前来咨询考察,洽谈业务!
在选择前级泵时也考虑了水环罗茨真空机组的**终压力要求。对极限真空的要求很高(高达1×10-3Pa~1×10-2Pa的压力)。通常使用双级旋转叶片油封。机械泵或两级机械泵用作前级泵。极端真空需要单级油封机械泵作为(1×10-2Pa和1×10-1Pa)之间的前级泵。极端真空需要往水环罗茨真空机组或液环在133和1333pa之间。真空泵用作前级泵。当选用往复式或液环式粗真空泵作为水环罗茨真空机组的前级泵时,前级泵的抽速一般为水环罗茨真空机组的1/2-1/4,不能太大,否则将超过压缩比。很大,导致水环罗茨真空机组的排气温度很高,无法正常工作。选择前级泵时,还必须考虑水环罗茨真空机组泵送气体中是否存在腐蚀性介质,是否含有可冷凝气体,无论是大还是小。如果含有腐蚀性气体,则不能使用油封机械泵。油封机械泵不适合抽出含有大量可冷凝蒸汽的气体。否则,密封液将快速乳化,并且将除去含有可追踪可冷凝蒸汽的气体。同时,还必须使用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。为了在低入口压力(1-100pa)下获得高泵送速率,水环罗茨真空机组可用作三级或四级单元,其由另一个罗水环罗茨真空机组的前级泵组成。泵送速度比通常在2和5之间。
如果是干式泵则在出气口加冷却器,降低空气温度。泵的进出口气体介质的压力差过大:如是干式泵需检查安全阀是否失灵,如失灵出气压力可能偏高,如是湿式泵则可能是出口水封压力过高或者是出口管径过小、弯头太多而增加了出口阻力所致,针对实际情况予以排除。真空泵油有问题:油位过低,应加足油量到油标中心线;油被沾污,油质变坏,应更换新油;油的牌号不符,应换规定牌号的真空泵油;油路不通,罗茨真空泵腔内没有保持适当的油量,应检查油路及油阀的进油量,保持油路畅通。转簧变形或折断及旋片动作不灵:应整修或更换弹簧变形,使转子积旋片配合良好,进气口的过滤网被堵塞:应取下过滤网清洗干净,再装上去。另外,罗茨真空泵加工不良或磨损会造成配合间隙过大,也会导致真空度不够高,此时应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙,投规定的精度要求进行修复或更换。沃德气体尊崇团结、信誉、勤奋。
罗茨真空机组的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空涂层需要110-5mmHg的真空,所选真空泵的真空应至少为510-6mmHg。泵的真空通常选择为比真空设备的真空高一半数量级。2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,如:扩散罗茨真空机组为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的泵送速度随压力变化,其稳定的工作压力范围为510-4。〜510-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,不应在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压力应小于110-5mmHg。3.在工作压力下,罗茨真空机组应能真空设备过程中产生的所有气体。4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送,有时泵不能满足泵送要求,并且需要将多个泵组合以彼此互补以满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢气具有高抽速,但不能泵送,并且三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩气具有一定的抽速。组合时,真空装置将具有更好的真空。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;一些真空泵出口压力低于大气压力,需罗茨真空机组要前级泵,因此需要将泵组合在一起。沃德气体用先进的生产工艺和规范的质量管理,打造优良的产品!西藏多级气冷罗茨泵机组
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简化高真空机组,取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到的简化。在某些中真空应用中,需要进入10-1Pa范围,这对罗茨泵的二级机组往往难于实现,而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa,所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速,所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲,长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵,分子增压泵可以完全取代。而长时间工作在中真空**压力范围的罗茨泵相对而言应该较少,因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。河北节能气冷罗茨泵选型
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