氮⽓柜是利⽤氮⽓来达到防氧化防潮⽬的柜体。密闭柜体本⾝具有送氮和排⽓的通路。根据应⽤要求,可配置不同的控制 功能。被⼴泛应⽤在微电⼦,半导体,新能源,,军⼯⾏业的研发⽣产⼯序。⽤于各类贵⾦属材料,半导体器件和敏感器 件的防氧化保存。氮⽓柜各主要功能部件结构以及⼯作原理: ⾃动减压泄⽓系统能起到对柜体内过⾼的⽓压进⾏⾃动减压和泄压。 ⽀撑底座⽤于安放柜体(带制动系统),能起到调整柜体平稳作⽤。 采⽤多点供⽓系统。氮⽓通过30个点充⼊柜体内,使柜体内氮⽓快速均匀分布。避点供⽓产⽣的死点死⾓现象。氮气柜具有快速降湿、安全可靠、节能环保和灵活多样等优势。杭州监控系统氮气柜定制
氮⽓柜中装有⼀个转⼦流量计,那么什么是转⼦流量计?它⼜是如何安装使⽤的呢? 转⼦流量计是⼀种指⽰型仪表,通过刻有流量标度尺的锥形玻璃管和管内浮⼦的位置⾼度,这样就可以直接的观察到管道 内部的流体的流量,它可以⽤来测量⽓体或者液体介质的流量,它⽐较的直观,看起来也⽐较⽅便,所以⼤受⼈们的使⽤。
氮⽓柜柜体主要是采⽤了⼀种玻璃转⼦流量计,它分为单流量计和双流量计。单流量计⼀般只能控制⼀种氮⽓流量,⼀般情况下,是将单流计下⽅管你的浮⼦的⾼度调到合适的位置即可;⽽双流量计,是将单流量计下⽅的调扭管镍的浮⼦的⾼度位置设置标度尺16L/min左右就好。 杭州监控系统氮气柜定制氮气柜主要原理是通过压缩空气,去除杂质和水分,从而提供纯净的氮气供应。
氮气柜中氮气的要求:
1、纯度要求:为了保证晶圆的纯净度和质量,氮气柜中的氮气纯度应达到99.999%以上。高纯度的氮气能够比较大限度地减少外部污染物对晶圆的影响,提高晶圆的稳定性。
2、流量与压力控制:在氮气柜中,应保持一定的氮气流量和压力。流量和压力的控制能够保证柜内气体环境的稳定,使晶圆始终处于良好的保护状态。
3、温度控制:为了保证氮气柜中晶圆的存储效果,应将柜内温度控制在一定范围内。温度的波动会影响氮气的保护效果,温度的稳定是保证晶圆质量的重要因素。
4、湿度控制:湿度是影响晶圆存储效果的重要因素之一。在氮气柜中,应将湿度控制在较低的水平,以防止湿度过高导致晶圆受潮或生长霉菌。
晶圆是半导体制造中的关键材料,其存储环境对保持晶圆的纯净度和质量至关重要。氮气柜存储作为一种有效的保护措施,能够防止晶圆在存储过程中受到外部环境的影响,从而保证晶圆的质量和性能。在晶圆氮气柜存储中,氮气的要求及其对晶圆保护的重要性。氮气是一种惰性气体,化学性质稳定,不易与其他物质发生反应。在晶圆存储过程中,高纯度的氮气能够有效隔绝晶圆与外界空气的接触,减少晶圆表面的氧化和污染。氮气柜内的低氧环境能够抑制细菌和霉菌的生长,进一步保证晶圆的纯净度。氮气柜的主要作用是通过维持柜内低湿度、低氧的环境,防止物品受潮、氧化等,确保物品的质量和稳定性。
而防潮箱的防氧化只不过是将氧化反应降至比较低,以至于对产品不产生影响而忽略不计。咋一看,氮气柜的效果无疑更理想。但实际上,设备的运行无法做到理想状态。氮气柜内的氮气浓度能达到90%就算是非常理想的状态了,但90%的氮气浓度同样会有氧化反应的产生。同样,防潮箱的防氧化存储同样是需要设备的良好性能相配合。防潮箱要能达到良好的防氧化效果,就需要拥有快速低湿的功能。如在5%RH以下,并拥有快速5-10分钟湿度恢复的性能下,可与高纯度大流量氮气柜达到相同的防氧化效果。不要在氮气柜内存放易燃、易爆物品,以免发生意外。杭州监控系统氮气柜定制
氮气柜不需要使用化学制剂,不会产生有害物质的排放,对环境没有污染,符合可持续发展的理念。杭州监控系统氮气柜定制
氮气柜使用氮气的注意事项:
打开排气阀:在使用氮气柜之前,应先打开柜门的排气阀,将气体缓慢释放,以确保柜内压力正常。
调节氮气流量:氮气流量的大小会直接影响氮气浓度。根据实验或存储的需求,适当调节氮气流量。流量越大,氮气浓度可能会越低。
控制室温与气压:室温高或气压低都可能导致氮气浓度下降。因此,应对实验室进行温度控制,并在气压低时及时添加氮气,以保持氮气浓度的稳定。
监测与维护:定期检查氮气柜的压力表和安全阀等安全设备,确保其正常工作。氮气柜使用完毕后,应关闭柜体流量控制阀和排气阀,并将氮气柜内的残余气体排空。 杭州监控系统氮气柜定制