江苏噪音小真空烘箱安全警报

    真空干燥箱日常使用和维护：1、产品出厂前都经过严格的测试，一般不要进行修改，如使用时的环境恶劣，环境温度超出适宜范围，会引起温度显示值与箱内实际温度误差，如超出技术指标范围的，可以参照温度控制器操作说明按所需进行修正。2、仪器在正常工作状态下，如打开箱门时间过长，关上箱门后即使箱内温度有些变动，这也是正常现象。3、除维修外，不能拆开左侧箱体盖以免损坏电器控制系统。4、放气阀橡皮塞若旋转困难，可在内涂上适量油脂润滑。5、真空泵不能长时期工作，因此真空度达到干燥物品要求时，应先封闭真空阀，再封闭真空泵电源，待真空度小于干燥物品要求时，再打开真空阀及真空泵电源，继续抽真空，这样可延长真空泵使用寿命。6、干燥的物品如湿润，则在真空箱与真空泵之间比较好加进过滤器，防止湿润气体抽进真空泵，造成真空泵故障。7、真空干燥箱经多次使用后，会产生不能抽真空的现象，此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出间隔来解决。真空箱干燥温度高于200度时，有可能会产生慢漏气现象，此时拆开箱体背后盖板用内六角板手拧松加热器底座，调换密封圈或拧紧加热器底座来解决。8、真空干燥箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭。 真空箱不需连续抽气使用时，应先关闭真空阀，再关闭真空泵电源。江苏噪音小真空烘箱安全警报

真空烘箱专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计，能够向内部充入惰性气体，特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥。该产品有以下特点：  1、长方体工作室，使有效容积达到比较大，微电脑温度控制器，精确控温。温度控制器2、钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体，一目了然。3、箱体闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。4、工作室采用不锈钢板(或拉丝板)制成，确保产品经久耐用。5、储存、加热、试验和干燥都是在没有氧气或者充满惰性气体环境里进行，所以不会氧化。进口数显真空烘箱监控系统经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。

    为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性，通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤，在真空或干燥氮气的机台中，以150～200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分，在此温度下，晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后，晶片须经过一次烘烤，称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常，软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高，但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定，典型的软烘温度是90～100℃，时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后，为了后面的高能工艺，如离子注入和等离子体刻蚀，也须对晶片进行高温烘烤，称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于：减少驻波效应；激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。

维护保养：13、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在高效率点运转，才能获得大的节能效果。14、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，高温度不得超过80C。15、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。16、真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。17、真空泵在工作一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。18、经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。19、定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。20、真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。21、真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。加热功率比例可任意调节，革除低端控温无温度弊端。

低温对产品的影响1、橡胶等柔韧性材料的弹性降低，并产⽣破裂；2、⾦属和塑料脆性增⼤，导致破裂或产⽣裂纹；3、由于材料的收缩系数不同，在温变率较⼤时，会引起活动部件卡死或转动不灵；4、润滑剂粘性增⼤或凝固，活动部件之间摩擦⼒增⼤，引起动作滞缓，甚⾄停⽌⼯作；5、元器件电参数发⽣变化，影响产品的电性能；6、结冰或结霜引起产品结构破坏或受潮等。⼆、低温环境效应1、使材料硬化及脆化。2、不同材料的不同收缩特性⽽使零件卡死。3、由于润滑剂增加黏性⽽失去润滑作⽤。4、电性改变（如电阻,电容等）。5、变压器和机电组件功能改变。6、冲击基座变硬。7、物破裂,如铵硝酸。8、使试件产⽣裂痕、脆化并改变耐冲击强度及减低强度。9、玻璃产⽣静⼒疲劳。10、使⽔凝结和冰冻。11、减低⼈的灵巧性及使听⼒和视⼒退化。12、改变燃烧速率。真空烘箱能在较低温度下得到较高的干燥速率，热量利用充分。苏州易维护真空烘箱价格

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    与普通干燥箱相比，真空烘箱突出的优势为它的加热方式。真空烘箱是四面安装有紧贴真空室外箱壁金属板的功率相同的电热丝，所以在电热丝在进行加热时，热量通过真空室的不锈钢金属壁辐射到工作室内，保证了工作室内的温度辐射热量相同，从而使得烘干中的物料保持均匀性。随着时间的推移和设备的使用，真空烘箱在工作中也暴露了许多缺陷。真空烘箱的维修很麻烦，对于电热丝烧断的维修，只能先把真空烘箱的大门拆掉，然后取下硅胶密封条并拆掉真空室的固定螺丝，再拆掉真空烘箱后面的盖板，取出所有的保温岩棉，拆卸出真空室。这样繁琐的步骤结束后才能更换新的电热丝并重新安装真空烘箱设备。此外，真空烘箱的温度上升慢、下降慢问题，给干燥工作带来一定的局限性，且真空实验结束后，还容易使得实验人员被真空室的四周金属壁烫伤，因此真空烘箱的安全性和人性化设计需要进一步改进。江苏噪音小真空烘箱安全警报