真空烘箱,是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。它的工作原理是利用真空泵进行抽气抽湿,使工作室内形成真空状态,降低水的沸点,加快干燥的速度。真空烘箱能在较低温度下得到较高的干燥速率,热量利用充分,主要适用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。在干燥前可进行消毒处理,干燥过程中不得有任何杂物混入,本干燥器属于静态真空干燥器,故干燥物料的形成不会损坏。加热方式有:蒸汽、热水、导热油、电热。真空烘箱,是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。金华内置泵体真空烘箱箱内高真空度
BPO胶/PI胶/BCB胶固化烘箱要求一、技术指标与基本配置:1、洁净度:Class100级2、氧含量(配氧分析仪):高温状态氧含量:≤10ppm+气源氧含量;低温状态氧含量:≤20ppm+气源氧含量3、使用温度:RT~400℃,最高温度:450℃4、控温稳定度:±1℃;5、温度均匀度:150℃±1.5%,350℃±2%以内(空载测试);6、腔体数量:2个,上下布置;单独控温7、炉膛材料:SUS304镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶8、空炉升温时间:1.5h;9、空炉降温时间:375℃--80℃;降温时间1.5-3.5小时(采用水冷及风冷);10、智能控制系统:PCL+PC工控电脑金华内置泵体真空烘箱箱内高真空度依据真空泵的性能,抽到压力表为真空泵的极限值为准;
热对流真空烘箱,包括真空箱体和密封门,真空箱体的箱口采用法兰面,此面与箱体密封门紧密贴合,避免真空泄漏。真空箱体内壁设置无孔镜面不锈钢板13、有孔镜面不锈钢板14,这两种不锈钢板组合配对装配,与无孔镜面不锈钢板14靠箱体内壁,有孔镜面不锈钢板13在箱体内表面,两钢板间距为5—15mm,无孔镜面不锈钢板用来反射热量,热量通过小孔回到箱体中,减少热量损失。在箱体顶部内壁设置有孔镜面不锈钢板12。箱体顶部和下部左右两边各设置有氮气进气口,可以实现氮气快速扩散到箱体内部各地方。真空箱体在工作的时候,真空度控制在10~50pa之间,温度控制在80~110℃,这样电池中的水份会变成水蒸汽扩散在箱体中,原箱体中也有少量的空气,真空干燥箱保温保压一段时间后,箱体中的水蒸汽达到一定的量后,为了将水蒸汽排出,需向箱体中充入氮气,因为氮气的分子质量比水蒸汽的分子质量大,为了能快速将水蒸汽排挤到箱体上方,方便将其从真空口抽出,所以在箱体下方布置2-3个进氮气进气口。这样的设置方式可以减少静置时间,氮气快速扩散,将水蒸汽排挤到箱体上方,再通过真空泵将水蒸汽抽出。真空箱体氮气进气口预先对氮气进行加热,因为氮气进到高温箱体中时。
在CCD(电荷耦合器件)制造过程中,颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响,降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面:一个制造过程中工艺环境产生的颗粒;另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员,工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺,比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱,即使在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100,为CCD(电荷耦合器件)制造过程中烘烤提供洁净环境,预防颗粒沾污可设定温度、测定温度。
从结构上分析,一般的干燥箱外壳都是采用冷轧钢板制造,但是从厚度上将,差别却很大。由于真空干燥箱里面的真空环境,为防止大气压压坏箱体,其外壳厚度要较鼓风干燥箱大些许,一般是选择钢板越厚质量越好,使用寿命也越长。为便于观察,在干燥箱的箱门都设有玻璃窗,一般有钢化玻璃和镶嵌门上的普通玻璃,杭州宏誉智能科技有限公司生产干燥箱箱门全部采用钢化玻璃,虽价格稍贵,但是外观漂亮,对于操作人员的安全更是有力的保障。关紧箱门,放气阀,箱门上有螺栓,可使箱门与硅胶密封条紧密结合;衢州噪音小真空烘箱监控系统
经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常(以成滴漏出为宜)。金华内置泵体真空烘箱箱内高真空度
充氮洁净烘箱是一种新型可造就洁净的恒温环境的电热干燥箱,可满足电子、医疗卫生仪器、仪表,工厂,高等院校、科研部门等有关单位作净化烘箱的需要。充氮洁净烘箱采用不锈钢工作室,不锈钢管作加热,内胆周身做密闭氩弧焊接,保证箱体内部洁净度高,箱内充以氮气等惰性气体有效防止产品氧化,有助于保证产品质量!充氮洁净烘箱采用精确的控温系统-数显温控系统。安装在箱体的顶部。其特点具有读数清晰、调节方便、控温精度高、结构简单、安全可靠之优点。充氮洁净烘箱采用水平送风强鼓风循环系统,特殊风道设计,使箱内温度均匀,确保了温度的稳定性。充氮洁净烘箱拥有完善的安全保护措施,超温报警、欠相缺相保护、过电流保护、快速熔断器、接地保护等系统,该功能充分保护实验人员的安全! 金华内置泵体真空烘箱箱内高真空度
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