全功能洁净氮气柜:产品应用:适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒,返雾现象;由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境,只控制湿度及氧含量浓度这块,并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘,而这些灰尘极可能粘附在存储品上。宏誉洁净柜则适合存放需要低湿保存,同时又需要避免灰尘污染的物品.相关技术指标:1)洁净等级专业高效洁净过滤装置,滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS10~100(10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下,必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@&≦20ea@)。2)TDH实验即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea(包括))3)降湿速度除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒,在氮气流量不大于70L/M的情况下,湿度从50%降至5%所需时间小于30min4)进口无尘风机:采用进口无尘室FFU风机,面风速:~;5)静电残余值测定松鑫全功能洁净氮气柜洁净氮气柜内放置的硅片盒,经过干燥2小时后,硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv6)柜内风速均匀性洁净柜内不能有氮气的死角。充氮系统可按客户要求加装自动或人工充氮系统。杭州智能休眠氮气柜适用范围
氮气发生器的主要特点:1、程序控制氮气发生器的控制系统采用芯片。是全部工作过程均有程序控制完成。自动恒压,恒流,氮气流量可根据用量实现0-300ml/min全自动调节。2、工艺先进电解池采用立式单液面双阴极。新膜分离技术,催化层使用PCAN载体及贵金属催化物,使电解池催化效率高,产气量大,氮气纯度高,电解池出厂前经过100小时以上高压,大电流老化试验,使电解池性能和工作状态极为稳定。3、三级催化除电解池中两级催化外另有第三极催化,催化剂选用新型贵金属,使输出的氮气含氧量小于3ppm。4、产氮湿度低。氮气发生器采用了超高分子量渗透麽分离技术及有效的除湿装置,因而降低了原始湿度,并能在停机后自动排出水分。氮气发生器采用了金属聚合物除湿及两级吸附,使氮气纯度大提高。5、操作方便免运输钢瓶之劳,省搬运钢瓶之苦,使用是只需打开电源开关即可产氮,可连续使用,也可间断使用,产氮量稳定不衰减。6、氮气发生器安全可靠配有安装装置,灵敏可靠。舟山复位归零氮气柜价格新膜分离技术,电解池催化效率高,产气量大,氮气纯度高。
空气的主要成分是氮气(占78%)和氧气(占21%),因此,可以说空气是制备氮气和氧气取之不尽的源泉。氮气主要用于合成氨、金属热处理的保护气氛、化工生产中的惰性保护气体(开停车时吹扫管线、易氧化物质的氮封、压料)、粮食贮存、水果保鲜和电子工业等。氧气主要用于冶金、助燃气、医疗、废水处理和化学工业中的氧化剂等。如何廉价地分离空气制取氧气和氮气,这是化工工作者长期潜心研究解决的问题。工业上分离空气的传统方法是采用深冷分离法,即将空气冷却到-150℃以下,再用低温精馏的方法实现分离。该法可以同存在能耗高、流程长、启动过程长、设备维护要求高等缺点,因此近十几年来受到了变压吸附法和膜分离法等新兴分离方法的严峻挑战。
智能氮气柜是通过向箱体内充入高纯度氮气来有效的降低气密性良好的箱体内的湿度和氧含量,且可以精细的控制和稳定在预设的湿度范围内,从而达到防氧化,防潮,防霉变,防锈等目的。宏誉智能智能氮气柜高效除湿,防氧化,绿色低能耗,内置程控感应系统根据箱体内湿度自动供气和切断氮气,节约能源,延长使用寿命。洁净室内精密芯片使用氮气柜存放时,推荐使用洁净等级更高的不锈钢材质。宏誉智能不锈钢氮气柜采用质量SUS304或者SUS201材质,可选镜面或者拉丝工艺制作,氮气柜自身不产尘,可应用在Class1000或更高等级的无尘室中,更好的保护元器件芯片的安全。氮气柜拓展性能好,支持各类非标订制,方便用户的使用习惯,提高用户的使用体验感。宏誉智能氮气柜推荐使用,氮气合理进气压力韦–,搭配多点进气系统,均匀供气,氮气分布更均匀,保护性更好。储区应备有泄漏应急处理设备。
可使用风速测定仪来检测内部硅片放置各点的风速,不能有较大差异。7)温湿度显示及记录管理。温湿度显示:采用4英寸超大LED显示,有效视距可达30米;温湿度记录:可对温湿度作24小时不间断的监控,在洁净柜在完全关闭的情况下,湿度不能有超过±5%RH的波动。洁净氮气柜主要特点:一、规格尺寸(尺寸可订制)1、材质:SUS304双镜面2、工作电压:220V3、温湿度显示器精度:相对湿度±3%Rh,温度±1℃二、主要特色SXD-COL系列是集快速除湿、除尘、防静电和氮气节约功能于一体的无尘室储存设备。洁净氮气柜产品说明:*控制方式:采用湿度/氧含量控制的方法。*高洁净过滤器FFU采用美国等进口品牌。*静音离心风机采用德国等进口品牌。*采用静电消除装置。*对氮气进行前期洁净预处理。*采用触摸式控制器,对箱内湿度或含氧量进行显示和控制。设备具有很好的密封性能,尘埃过滤,水平或垂直送风。*设备由湿度和氮浓度检测显示,氮气流量控制,防静电控制,高洁净过滤器受阻等多个系.*控制仪可进行温湿度含氮量数据的实时显示,存储和输出和报警功能。不锈钢洁净型有四项主要特色:1、模组化设计:本机器采用独特的模组化设计,温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换。氮气直接充入柜体内 ,无控制系统的直冲型氮气柜;上海智能休眠氮气柜维修维护
根据客户要求配备温湿度监控系统,电脑连接监控系统,温湿度数据记录存档。杭州智能休眠氮气柜适用范围
氮气发生器的工作原理利用氮气与其它气体分子在分子筛中的吸附能力差异,形成浓度差异的积累,在分子筛柱末端产出高纯度氮气。同时利用两根分子筛柱,一根吸附的同时引出一部分产品气为另一根解析,实现分子筛在线再生,整体表现即为仪器持续输出高纯氮气。这类发生器可根据需要,调节氮气的纯度和流量,高可生产,流量可从几百毫升到几十升到几立方每分钟,纯度大小配置灵活,可根据每个需求具体定制,技术难点主要是分子筛柱填装技术,分子筛填装不好,会造成分子筛在气体高低压频繁变化中互相摩擦碰撞粉化,微孔数量减少,分子筛性能急剧降低。氮气发生器的主要特点:1、程序控制氮气发生器的控制系统采用芯片。是全部工作过程均有程序控制完成。自动恒压,恒流,氮气流量可根据用量实现0-300ml/min全自动调节。2、工艺先进电解池采用立式单液面双阴极。新膜分离技术,催化层使用PCAN载体及贵金属催化物,使电解池催化效率高,产气量大,氮气纯度高,电解池出厂前经过100小时以上高压,大电流老化试验,使电解池性能和工作状态极为稳定。3、三级催化除电解池中两级催化外另有第三极催化,催化剂选用新型贵金属,使输出的氮气含氧量小于3ppm。4、产氮湿度低。杭州智能休眠氮气柜适用范围
杭州宏誉智能科技有限公司依托可靠的品质,旗下品牌宏誉科技以高质量的服务获得广大受众的青睐。杭州宏誉科技经营业绩遍布国内诸多地区地区,业务布局涵盖防潮防氧化设备,精密烘箱,设备高可靠性实验设备,智能安全存储设备等板块。随着我们的业务不断扩展,从防潮防氧化设备,精密烘箱,设备高可靠性实验设备,智能安全存储设备等到众多其他领域,已经逐步成长为一个独特,且具有活力与创新的企业。杭州宏誉智能科技有限公司业务范围涉及一般项目:物联网技术研发;物联网设备制造;工业互联网数据服务;物联网应用服务;半导体器件设备制造;电子设备制造;通用设备制造(不含特种设备制造);金属结构制造;烘炉、熔炉及电炉制造;计算机软硬件及外围设备制造;仪器仪表制造;工业自动控制系统装置制造;通信设备制造;试验机制造;物联网设备销售;半导体器件设备销售;烘炉、熔炉及电炉销售;泵及真空设备销售;智能仓储设备销售;低温仓储(不含危险化学品等需许可审批的项目)工程和技术研究和试验发展;实验分析仪器销售;机械设备研发;电子材料销售;电子产品销售;普通机械设备安装服务(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。等多个环节,在国内机械及行业设备行业拥有综合优势。在防潮防氧化设备,精密烘箱,设备高可靠性实验设备,智能安全存储设备等领域完成了众多可靠项目。