每台风机出风面至少1点平均风速范围：m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置：回风口，风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器...

洁净室因其用途、气流流型的不同，可分为各种不同冠名的洁净室。洁净室按用途的不同可分为工业洁净室、生物洁净室。工业洁净室是以控制微粒为主要对象的洁净室，通常适用于微电子产品生产、精密机械加工、电子元器件...

在单向流洁净室中，洁净气流不是一股或几股，而是充满整个房间截面，所以这种洁净室不依靠洁净气流对室内脏空气的混合稀释作用，而是依靠在干净的气流上推出效果。室内脏空气沿整个断面排到室外，达到净化室内空气的...

人们认为这种单向、平行的气流应该充满整个洁净室，但这在技术和经济上都是不利的。随着知识的发展，人们指出这种单向流动只是“意味着所有的空气在有限的区域内沿着平行的流线匀速流动”，相信涡流的发生可以被尽可...

洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱...

B.4.2.2送风风速风速测点距过滤器出风面约150mm~300mm。测点数量应足以测定洁净室和洁净区的送风量，测点数量取测量面积(以平方米计)10倍的平方根,且不少于4个测点。每只过滤器或每台风机-...

9.2.1纯水系统的设备配置除应满足所需水量和水质的要求外，还应满足运行灵活、安全可靠、便于操作管理、运行费用低等要求。9.2.2纯水的制备、储存和输送设备,应符合电子产品生产工艺的要求,并应符合下列...

5.2.1洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程、洁净室的气流流型、工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定。在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线和物料传输布置时,应采取避免发生气...

（三）空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室对...

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准...

4.3.3洁净室（区）内应少分隔，但下列情况应予分隔：1按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要求时，应设隔墙；2在电子产品生产过程中，经常不同时使用的两个生产区段或...

人们认为这种单向、平行的气流应该充满整个洁净室，但这在技术和经济上都是不利的。随着知识的发展，人们指出这种单向流动只是“意味着所有的空气在有限的区域内沿着平行的流线匀速流动”，相信涡流的发生可以被尽可...