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半导体晶圆厂对环境气体纯度要求较高,微量污染气体即可导致晶圆报废。朗思科技激光遥测仪以ppb级超高灵敏度,满足半导体厂AMC监测严苛需求。可对洁净室、工艺车间、废气排放口进行远距离监测,实时检测HF...
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