平板显示行业是光学检测技术的重要应用领域,随着显示技术从LCD向OLED、Mini/Micro LED不断升级,对检测精度和检测速度的要求也在不断提升。平板显示面板的尺寸越来越大,从早期的几代线发展到现在的10.5代线,玻璃基板尺寸达到3米级别,同时像素密度越来越高,缺陷尺寸越来越小,需要大行程、高精度、高速度的运动平台来带动检测相机完成各个方面板的扫描检测。龙门式运动系统凭借大行程、高刚性、高负载的特点,成为大尺寸面板检测的常用运动方案。博源精控的大理石XY直线电机平移台采用高精度花岗岩基座,直线电机直驱,大行程下依然能够保持微米级的定位精度,高速度运行时平稳无振动,能够满足大尺寸液晶面板、...
干涉测量作为光学检测领域精度较高的测量技术之一,能够实现纳米级甚至亚纳米级的测量精度,广应用于光学元件面形检测、精密位移校准、长度计量等场景。干涉测量对环境振动和空气扰动极为敏感,微小的振动就会导致干涉条纹模糊,无法进行稳定测量,因此不只需要高精度的隔振平台,还需要运动过程中极其平稳的调整机构。博源精控的隔振光学平台固有频率低于2Hz,能够有效隔离地面振动,配合高精度电动调整架,能够实现干涉仪光路的精确对准和被测件的精密调整,保证干涉测量的稳定性和准确性,为光学计量实验室、光学元件制造企业提供高精度的测量基础平台。光学检测采用非接触式测量方式,不会对被测工件表面造成划伤或损伤,适合精密元件检测...
在线光学检测是现代智能制造生产线的关键组成部分,与实验室离线检测不同,在线检测需要与生产线节拍完全匹配,24小时连续稳定运行,对设备的可靠性、稳定性、维护性提出了较高要求。在线检测的运动平台需要具备较高的平均无故障时间,能够在工业车间的恶劣环境下长期稳定运行,同时还要具备快速维护、快速更换的设计。博源精控的工业级直驱运动平台采用高可靠性设计,关键部件均选用工业级长寿命产品,IP防护等级可根据需求定制,能够适应车间的粉尘、油污、温湿度变化等环境,7×24小时连续运行稳定可靠,已经在多条新能源、3C、汽车制造产线的在线检测工位得到了批量应用。高倍率显微检测平台可实现细胞级、微米级缺陷观测,适用于精...
机器视觉检测是光学检测领域应用较广的技术方向,在工业制造的各个环节都发挥着质量把关的重要作用。机器视觉检测通过工业相机采集被检测对象的图像,经过图像处理算法提取缺陷特征、尺寸信息、位置信息等,实现非接触式的自动化检测。在机器视觉检测系统中,精密运动平台负责带动被检测对象或者相机做匀速扫描运动,保证成像的清晰度和位置准确性,尤其是在线检测场景中,运动平台的速度稳定性直接决定了图像的畸变程度和检测精度。博源精控的各类直驱位移台、龙门运动系统具备良好的速度平稳性,匀速运动时的速度波动控制在0.1%以内,能够保证线阵相机扫描成像的几何精度,广应用于3C电子检测、印刷质量检测、薄膜表面缺陷检测、金属表面...
洁净室环境是先进光学检测的常见工作环境,半导体、平板显示、生物医疗等领域的光学检测通常都在百级甚至十级洁净室中进行,这就对运动平台的洁净度提出了很高要求。普通的丝杆传动位移台在运行过程中会因为摩擦产生粉尘,污染洁净室环境,无法满足高等级洁净室的使用要求。博源精控的气浮直驱滑台采用完全无接触的气浮导轨和直线电机驱动,运动过程中没有任何机械摩擦,不会产生粉尘,同时所有部件都采用洁净室兼容材料和特殊表面处理,能够满足Class 10级洁净室的使用要求,良好适配半导体制造、先进光学制造等高洁净度要求的光学检测场景。直线电机直驱位移台取消中间传动环节,运动响应速度快,可满足光学检测高速扫描需求。广东六维...
光学检测中的扫描轨迹规划直接影响检测效率和检测质量,不同的检测对象和检测目的需要不同的扫描轨迹,比如矩形区域的光栅扫描、圆形区域的螺旋扫描、复杂曲面的随形扫描、特征点的跳步检测等。好的的轨迹规划算法能够在保证检测精度的前提下,较小化空行程,提升检测效率,同时避免运动过程中的冲击和振动。博源精控的运动控制器内置多种常用扫描轨迹规划算法,支持光栅扫描、螺旋扫描、任意轮廓扫描等多种扫描模式,用户只需要设置相关参数即可自动生成平滑的运动轨迹,同时支持速度前瞻功能,在轨迹拐点处自动优化速度,保证运动平稳性,帮助光学检测系统实现高效、平稳的扫描检测。高低温环境运动平台采用低膨胀系数材料,可在宽温度范围内保...
真空环境下的光学检测是航天、半导体、先进科研领域的特殊需求,比如真空紫外检测、电子束检测、太空环境模拟检测等场景,都需要在真空腔体中进行光学检测,这就要求运动平台能够在真空环境下稳定工作。真空中使用的运动平台需要解决真空放气、真空润滑、电机真空兼容、真空出线等一系列特殊问题,普通商用位移台无法直接在真空中使用。博源精控具备真空环境运动平台的定制能力,采用真空兼容材料、真空用润滑脂、真空电机、真空密封出线等特殊设计,可提供适配10^-7Pa高真空环境的位移台产品,满足真空光学检测、真空镀膜在线检测等特殊场景的需求。光学镜头装调检测平台可实现镜头多自由度调整,辅助完成镜头精密装调工作。四川光学检测...
光学检测系统的热变形控制是保证长期精度稳定的关键,实验室和工业环境中的温度变化会导致机械结构发生热胀冷缩,即使是钢材,每米长度每度温度变化也会产生12微米的变形,这对于微米级精度的光学检测来说是不可忽视的误差来源。博源精控的高精度运动平台在设计阶段就充分考虑了热变形的影响,优先选用花岗岩、低膨胀合金等温度稳定性好的材料,同时通过对称结构设计、热隔离设计、温度传感器实时监测与软件补偿等方式,减小温度变化带来的精度影响,保证光学检测系统在环境温度波动的情况下依然能够保持稳定的检测精度,减少因为温度变化导致的校准频率。大理石基座平台阻尼特性好,可吸收运动振动,保证光学系统成像稳定不模糊。广东超高精度...
在光学检测系统的构建过程中,隔振性能是决定检测精度下限的关键因素。光学检测通常需要达到微米甚至亚微米级的检测分辨率,而地面振动、设备自身运动产生的振动、环境声波振动都会对检测光路产生干扰,导致成像模糊、检测数据失真。专业的隔振光学平台通过多层阻尼隔振结构、高精度空气弹簧、主动隔振算法等技术手段,能够有效隔离频率在1Hz以上的环境振动,为光学检测系统提供稳定的工作基础。博源精控的隔振光学平台系列采用性能可靠大理石台面与高精度隔振支腿组合,台面平面度达到微米级,固有频率低于2Hz,能够满足各类高精度光学检测、激光干涉测量、光谱分析等场景的隔振需求,为检测光路的稳定性提供坚实保障。高精度光栅尺全闭环...
气浮导轨技术在超精密光学检测领域具备具备较高应用价值的优势。对于检测分辨率达到亚微米甚至纳米级的超精密光学检测场景,机械接触式导轨存在的摩擦、磨损、间隙等问题会直接影响检测精度,而气浮导轨通过压缩空气在运动面与导轨面之间形成几微米厚的气膜,实现完全无接触的运动支撑,完全消除了机械摩擦和磨损,运动平稳性和定位精度都达到了较高水平。博源精控的直驱气浮滑台系列采用高精度花岗岩气浮导轨,直线度误差控制在亚微米级,运动过程中无任何机械接触,具备较高的运动平稳性和定位精度,特别适用于激光干涉测量、超精密光学元件表面检测、半导体光刻对准等对运动精度要求较高的光学检测场景。病理切片光学扫描平台可实现全切片自动...
线扫描成像技术是大尺寸、高吞吐量光学检测的主流成像方案,相比于面阵相机,线阵相机能够实现更高的分辨率和更快的扫描速度,通过匀速运动逐行扫描拼接得到完整的大尺寸图像。线扫描成像对运动速度的稳定性要求较高,速度波动会导致图像被拉伸或者压缩,产生几何畸变,影响检测和测量精度。博源精控的直驱运动系统采用高精度速度控制算法,配合高分辨率光栅尺的实时反馈,匀速运动时的速度波动可以控制在0.05%以内,即使在高速扫描状态下也能保持良好的速度稳定性,保证线阵相机扫描得到的图像几何精度,良好适配各类大幅面高速光学检测场景,比如PCB检测、面板检测、薄膜检测、纺织物检测等。光学检测设备平均无故障时间长,可支持7×...
AI人工智能技术与光学检测的结合正在深刻改变光学检测行业,传统的图像处理算法需要针对特定缺陷人工设计特征,对于复杂、多变的缺陷检测效果有限,而基于深度学习的缺陷检测算法能够自动学习缺陷特征,对复杂缺陷的识别能力大幅提升。不过AI检测算法的效果高度依赖训练数据的质量和标注的准确性,而高质量的训练数据采集需要高精度的运动平台来获取稳定、清晰、位置准确的图像数据。博源精控的高精度运动平台能够为AI检测系统提供稳定一致的成像条件,保证采集到的训练样本和实际检测图像具有相同的光照和几何特性,帮助AI算法获得更好的训练效果和检测准确率,推动AI光学检测技术在更多复杂场景落地应用。运动控制器支持多轴同步插补...
光学检测系统的热变形控制是保证长期精度稳定的关键,实验室和工业环境中的温度变化会导致机械结构发生热胀冷缩,即使是钢材,每米长度每度温度变化也会产生12微米的变形,这对于微米级精度的光学检测来说是不可忽视的误差来源。博源精控的高精度运动平台在设计阶段就充分考虑了热变形的影响,优先选用花岗岩、低膨胀合金等温度稳定性好的材料,同时通过对称结构设计、热隔离设计、温度传感器实时监测与软件补偿等方式,减小温度变化带来的精度影响,保证光学检测系统在环境温度波动的情况下依然能够保持稳定的检测精度,减少因为温度变化导致的校准频率。光学检测采用非接触式测量方式,不会对被测工件表面造成划伤或损伤,适合精密元件检测。...
光学检测作为现代精密制造领域的关键质量控制手段,正在随着先进制造业的升级发挥越来越重要的作用。在半导体晶圆检测、平板显示缺陷检测、精密光学元件表面质量检测等场景中,光学检测技术凭借非接触、无损伤、高精度、高速度的优势,已经逐步取代传统接触式检测成为主流方案。一套完整的光学检测系统通常由光源系统、成像模块、精密运动平台、图像采集与处理单元四大关键部分组成,其中精密运动平台的定位精度、运动平稳性、重复定位精度直接决定了整个检测系统的较终性能。博源精控推出的直驱位移台系列产品,采用直线电机直驱技术,完全消除了传统丝杆传动带来的回程间隙和传动误差,能够实现纳米级的定位精度与高重复定位精度,为高精度光学...
3D光学检测技术正在成为光学检测行业的增长热点,传统2D光学检测只能获取平面图像信息,无法检测高度方向的缺陷和尺寸,而3D光学检测能够获取被检测对象的三维形貌信息,实现平面度检测、高度差检测、体积测量、3D缺陷检测等2D检测无法完成的功能。目前主流的3D光学检测技术包括激光三角法、结构光投影法、光度立体法、干涉法等,这些技术都需要高精度的运动平台配合完成扫描或者多视角成像。博源精控的多轴运动系统能够支持各类3D检测方案的运动需求,无论是线激光扫描的匀速运动,还是结构光检测的多姿态调整,都能提供高精度、高稳定性的运动支撑,帮助客户实现高精度3D光学检测。紫外光学检测可激发材料荧光特征,适用于表面...
光学检测设备的国产化替代是当前国内精密检测行业的重要发展趋势,过去先进光学检测设备和关键运动平台主要依赖进口,不只价格昂贵,交货周期长,而且售后服务响应慢,定制化能力差,制约了国内先进制造业的发展。近年来随着国内精密运动技术的不断进步,以博源精控为意味着的国内厂商已经掌握了直驱运动、气浮导轨、高精度运动控制等关键技术,产品性能已经达到甚至超过进口同类产品水平,而价格和服务具备明显优势。博源精控的各类精密运动平台产品已经成功替代多个进口品牌产品,应用于国内头部半导体、显示、新能源厂商的光学检测设备中,为国内光学检测设备的国产化替代提供了坚实的关键部件支撑。高倍率显微检测平台可实现细胞级、微米级缺...
汽车制造领域的光学检测正在随着汽车智能化和电动化的发展快速普及。汽车零部件的尺寸检测、外观缺陷检测、焊缝检测、涂装质量检测、车载镜头光学性能检测、动力电池相关检测等场景,都在大量采用自动化光学检测技术替代人工检测。汽车制造领域的检测对象通常尺寸差异大,形状复杂,需要多轴运动系统配合工业机器人实现复杂轨迹的检测。博源精控的多轴组合运动系统可根据汽车零部件检测的需求灵活配置,支持与机器人的协同工作,高精度定位能够保证检测数据的准确性,高速度运动能够满足汽车产线的高节拍生产需求,帮助汽车零部件厂商实现全自动化的质量控制。交叉滚柱导轨导向精度高,承载能力强,适合中等精度光学检测设备的运动需求。北京精密...
多轴协同运动能力是现代自动化光学检测系统的关键要求。在面对复杂曲面元件、大尺寸面板、晶圆等检测对象时,单一轴的运动已经无法满足全区域覆盖检测的需求,需要X/Y/Z三轴甚至更多旋转轴的协同运动,实现检测探头在三维空间内的精确定位与轨迹扫描。电动三轴龙门探测系统作为光学检测领域的经典运动方案,采用龙门式结构设计,具备负载能力强、运动范围大、定位精度高的特点,能够支持检测探头在三维空间内完成任意轨迹的扫描运动。博源精控的电动三轴龙门探测系统支持X/Y/Z三轴协同运动,采用高精度光栅尺作为位置反馈元件,全闭环控制下可实现微米级的定位精度,运动速度可根据检测需求灵活调节,广应用于平板显示检测、半导体晶圆...
平板显示行业是光学检测技术的重要应用领域,随着显示技术从LCD向OLED、Mini/Micro LED不断升级,对检测精度和检测速度的要求也在不断提升。平板显示面板的尺寸越来越大,从早期的几代线发展到现在的10.5代线,玻璃基板尺寸达到3米级别,同时像素密度越来越高,缺陷尺寸越来越小,需要大行程、高精度、高速度的运动平台来带动检测相机完成各个方面板的扫描检测。龙门式运动系统凭借大行程、高刚性、高负载的特点,成为大尺寸面板检测的常用运动方案。博源精控的大理石XY直线电机平移台采用高精度花岗岩基座,直线电机直驱,大行程下依然能够保持微米级的定位精度,高速度运行时平稳无振动,能够满足大尺寸液晶面板、...
在光学检测设备的研发过程中,原型验证是非常重要的环节,新的检测方案、新的光路设计、新的算法都需要在原型平台上进行验证,这就需要灵活、通用、高精度的运动平台作为基础,能够快速搭建不同配置的检测系统,缩短研发周期。博源精控的各类标准位移台产品采用模块化设计,组合灵活,能够快速组装成一维、二维、三维甚至多旋转轴的运动系统,配合通用的运动控制器,能够快速搭建光学检测原型系统,帮助研发人员快速验证新的检测方案,大幅缩短光学检测设备的研发周期,降低研发成本,助力光学检测技术的创新迭代。电动升降台可完成Z轴方向快速调焦,适配不同厚度工件的光学检测工作距离要求。四川电控自动化光学检测报价3C电子制造是光学检测...
光学检测中的光源控制与运动控制的同步是保证成像质量的重要环节,在高速检测过程中,相机曝光时间非常短,如果光源点亮和相机曝光、运动位置不同步,就会出现图像亮度不均、运动模糊、位置不准等问题。高精度光学检测系统通常采用硬件触发的方式,由运动控制器在到达指定位置时输出硬触发信号,同步触发相机曝光和光源点亮,整个过程的时间延迟控制在微秒级。博源精控的运动控制器具备高速位置比较输出功能,能够在运动过程中实时比较位置,在预设位置精确输出触发信号,触发抖动小于1微秒,能够保证相机、光源、运动三者的精确同步,即使在每秒上百帧的高速采集状态下,也能保证每一幅图像都在准确的位置、合适的光照下采集。硬件触发同步技术...
AI人工智能技术与光学检测的结合正在深刻改变光学检测行业,传统的图像处理算法需要针对特定缺陷人工设计特征,对于复杂、多变的缺陷检测效果有限,而基于深度学习的缺陷检测算法能够自动学习缺陷特征,对复杂缺陷的识别能力大幅提升。不过AI检测算法的效果高度依赖训练数据的质量和标注的准确性,而高质量的训练数据采集需要高精度的运动平台来获取稳定、清晰、位置准确的图像数据。博源精控的高精度运动平台能够为AI检测系统提供稳定一致的成像条件,保证采集到的训练样本和实际检测图像具有相同的光照和几何特性,帮助AI算法获得更好的训练效果和检测准确率,推动AI光学检测技术在更多复杂场景落地应用。设备具备完善的异常报警功能...
在生物医疗光学检测领域,高精度运动控制技术同样发挥着重要作用。全自动显微镜扫描、病理切片扫描、基因测序芯片检测、流式细胞仪等医疗检测设备,都需要高精度的运动平台来带动样本或者光学系统完成扫描运动。医疗检测设备通常对运动的平稳性、定位精度、噪音控制都有较高要求,同时还需要满足医疗设备的相关认证标准。博源精控的电动位移台系列产品运行噪音低,运动平稳,定位精度高,可适配各类生物医疗光学检测设备的需求,尤其是数字病理扫描设备中,高精度XY扫描台能够带动病理切片完成全自动全片扫描,配合高倍物镜实现细胞级的高分辨率成像,为病理诊断提供清晰可靠的数字切片图像。六自由度几何误差校准,可减小运动过程中的角度偏摆...
光学检测设备的国产化替代是当前国内精密检测行业的重要发展趋势,过去先进光学检测设备和关键运动平台主要依赖进口,不只价格昂贵,交货周期长,而且售后服务响应慢,定制化能力差,制约了国内先进制造业的发展。近年来随着国内精密运动技术的不断进步,以博源精控为意味着的国内厂商已经掌握了直驱运动、气浮导轨、高精度运动控制等关键技术,产品性能已经达到甚至超过进口同类产品水平,而价格和服务具备明显优势。博源精控的各类精密运动平台产品已经成功替代多个进口品牌产品,应用于国内头部半导体、显示、新能源厂商的光学检测设备中,为国内光学检测设备的国产化替代提供了坚实的关键部件支撑。多相机并行检测可同时采集不同角度图像,一...
光学薄膜的厚度均匀性检测是光学薄膜制造过程中的关键质量控制点,光学薄膜的厚度通常在纳米到微米级,厚度的微小偏差都会影响光学性能。光谱反射式测厚是光学薄膜厚度检测的主流技术,通过测量不同位置的反射光谱拟合计算薄膜厚度,这就需要运动平台带动测厚探头完成薄膜全幅面的扫描测量。薄膜检测通常幅宽较大,需要长行程运动平台,同时要求运动过程中探头与薄膜的距离保持稳定,否则会影响测量精度。博源精控的长行程直驱滑台运动直线度好,Z向高度波动小,能够保证扫描过程中测厚探头的工作距离稳定,实现纳米级分辨率的薄膜厚度均匀性检测,支撑光学薄膜、光伏薄膜、锂电隔膜等各类薄膜产品的质量检测。六自由度几何误差校准,可减小运动...
高精度位置反馈是光学检测运动平台实现高精度定位的关键,普通的步进电机或者伺服电机依靠编码器进行位置反馈,属于半闭环控制,无法补偿传动环节的误差和热变形误差,而高精度光栅尺直接测量运动平台的实际位置,实现全闭环控制,能够消除传动误差,大幅提升定位精度。博源精控的所有高精度直驱位移台均采用高精度线性光栅尺作为位置反馈元件,光栅尺分辨率可达1nm甚至更高,配合全闭环伺服控制算法,能够实现纳米级的定位分辨率和亚微米级的定位精度,即使长时间运行或者温度变化的情况下,也能保持稳定的位置精度,为光学检测提供准确可靠的位置基准。高低温环境运动平台采用低膨胀系数材料,可在宽温度范围内保持运动精度稳定。重庆电动微...
多传感器融合检测是光学检测技术发展的重要趋势,单一的光学检测技术往往存在局限性,比如明场成像对某些缺陷不敏感,暗场成像无法检测深度信息,激光检测速度较慢等。通过将明场相机、暗场相机、激光位移传感器、光谱传感器、3D成像传感器等多种传感器集成在同一检测系统中,能够一次扫描获取多维度的检测信息,大幅提升检测能力和检测效率。多传感器融合检测需要运动平台具备较高的定位精度和同步触发能力,保证不同传感器在同一位置采集的数据能够准确配准。博源精控的运动控制器支持多路同步触发输出,能够在运动过程中精确控制多个传感器同时采集数据,位置同步误差控制在微米级,保证多传感器数据的空间配准精度。光学检测系统可保存所有...
在光学检测设备的研发过程中,原型验证是非常重要的环节,新的检测方案、新的光路设计、新的算法都需要在原型平台上进行验证,这就需要灵活、通用、高精度的运动平台作为基础,能够快速搭建不同配置的检测系统,缩短研发周期。博源精控的各类标准位移台产品采用模块化设计,组合灵活,能够快速组装成一维、二维、三维甚至多旋转轴的运动系统,配合通用的运动控制器,能够快速搭建光学检测原型系统,帮助研发人员快速验证新的检测方案,大幅缩短光学检测设备的研发周期,降低研发成本,助力光学检测技术的创新迭代。光学检测可测量工件二维尺寸、形位公差,测量重复性好,数据可追溯性强。东莞微型光学检测真空环境下的光学检测是航天、半导体、先...
线扫描成像技术是大尺寸、高吞吐量光学检测的主流成像方案,相比于面阵相机,线阵相机能够实现更高的分辨率和更快的扫描速度,通过匀速运动逐行扫描拼接得到完整的大尺寸图像。线扫描成像对运动速度的稳定性要求较高,速度波动会导致图像被拉伸或者压缩,产生几何畸变,影响检测和测量精度。博源精控的直驱运动系统采用高精度速度控制算法,配合高分辨率光栅尺的实时反馈,匀速运动时的速度波动可以控制在0.05%以内,即使在高速扫描状态下也能保持良好的速度稳定性,保证线阵相机扫描得到的图像几何精度,良好适配各类大幅面高速光学检测场景,比如PCB检测、面板检测、薄膜检测、纺织物检测等。光学检测技术与智能制造深度融合,可实现生...