在半导体与微电子制造检测领域，光学平台是晶圆检测、芯片光刻、封装检测等设备的重要配套。随着半导体工艺节点不断进步，对定位精度与振动...

光学检测设备的国产化替代是当前国内精密检测行业的重要发展趋势，过去先进光学检测设备和关键运动平台主要依赖进口，不只价格昂贵，交货周...

在晶圆光学检测中，晶圆的预对准是检测前的必要步骤，晶圆在传输到检测平台后位置会存在偏差，需要通过边缘检测或者缺口检测确定晶圆的中心...

进口光学平台与国产光学平台的选择是许多用户采购时面临的问题。不可否认，部分进口品牌在主动隔振技术与超大型平台领域具有一定优势，但在...

光学平台安装时需要特别注意避免与建筑物结构形成刚性连接，否则会形成振动传递的"声桥"，降低隔振效果。许多用户在安装时为了方便，将平...