监测惰性、可燃性、有毒性气体泄漏的监测控制系统。系统基于开放的系统结构，具备与其他品牌的系统设备（平台）通过工业标准通讯、平台和协议实现集成和信息交换，协议包括MODBUS、TCP/IP和OPC。系统...

工业集中供气系统的主干管网采用埋地敷设方式，土层隔绝外界暴晒、冰冻侵蚀，减缓管路老化速度。埋地管路外层包覆防腐保温层，抵御土壤潮湿、酸碱土质带来的腐蚀作用。管路铺设前开挖规整沟槽，铺垫细沙垫层，防止石...

工业集中供气系统的气体干燥装置采用吸附式除湿结构，内部装填多孔干燥耗材，吸附气体内部水分子。耗材分层装填，气流穿透均匀，不会出现局部气流短路现象。装置进出口设置压差监测仪表，通过压差数值判断耗材堵塞程...

大宗特气系统配套的电控控制柜，是管控整套供气设备运行的重要电气构件，柜内集中收纳排风装置、调控阀体、传感元件、报警设备等电气配件。柜体内部线路排布整齐，强弱电线路分区布设，降低电磁干扰带来的信号紊乱、...

电子特气系统服务于芯片、面板、微电子加工行业，用于输送纯度要求严苛的特种工艺气体，整套系统由特气柜、纯化装置、分配管路、调压阀组、监测报警模块组成。管路选用电解抛光不锈钢管材，内壁粗糙度偏低，气体吸附...

安全性设计渗透于系统的每一个细节。除了双套管，管道阀门均采用隔膜阀或超高密封性阀件，接头为焊接或特殊金属面密封。所有可能接触气体的部件，均需选用与气体兼容的高等级不锈钢或特殊合金，并经过电抛光、钝化等...

电子特气系统服务于半导体、精密面板、微电子加工产业，专注输送高纯度特种工艺气体，整套系统由密闭气柜、纯化装置、分流管路、调压阀组、监测报警模块构成。输送管路选用电解抛光不锈钢管材，内壁粗糙程度低，气体...

电子特气系统采用双套管防护模式搭建输送管路，内层管路负责高纯工艺气体传输，外层套管作为防护监测夹层，夹层连通传感检测管路，实现全程渗漏监测。一旦内层管路出现细微破损引发气体渗漏，夹层内部气体浓度会发生...

大宗特气系统的气体存储环节是保障持续供应的基础。系统通常采用高压气瓶组、低温储罐等多种存储方式，根据气体的物理性质与用量需求进行选择。对于用量较大的大宗气体，如氮气、氧气等，多采用低温储罐存储，能够有...

尾气处理系统：半导体工艺废气处理方式依据废气处理的特性,在处理可分为四种处理方式:1、水洗式(处理腐蚀性气体)2、氧化式(处理燃烧性,毒性气体3、吸附式(干式)(依照吸附材种类处理对应之废气）4、等离...

在集成电路芯片制造中，大宗特气系统的复杂性与代表性尤为突出。由于制程节点不断微缩，工艺步骤繁多，所需气体种类涵盖氮气、氢气、氧气、氩气以及特种气体如硅烷、氨气、六氟化钨等数十种。这些气体不*用量巨大，...

面对种类繁多的特气，系统的材质选择与设计需“量气而定”。对于腐蚀性极强的气体如Cl2、HCl，需选用耐蚀的哈氏合金；对于易自燃的SiH4，系统需彻底排除空气，并配备自燃抑制剂或紧急排放燃烧装置；对于毒...