面对种类繁多的特气,系统的材质选择与设计需“量气而定”。对于腐蚀性极强的气体如Cl2、HCl,需选用耐蚀的哈氏合金;对于易自燃的SiH4,系统需彻底排除空气,并配备自燃抑制剂或紧急排放燃烧装置;对于毒...
大宗特气系统的自动控制与监控系统是实现精细供应与安全保障的重要支撑。该系统通过各类传感器实时采集气体的压力、流量、纯度、温度等关键参数,并将数据传输至控制系统。控制系统根据预设的参数范围,对阀门、泵等...
大宗特气系统的国产化进程正在不断加速。过去,我国半导体行业的大宗特气系统主要设备与技术多依赖进口,不*成本高昂,而且在技术服务与备件供应方面存在诸多不便。近年来,随着我国半导体产业的快速发展与国家对主...
大宗特气系统的气体存储环节是保障持续供应的基础。系统通常采用高压气瓶组、低温储罐等多种存储方式,根据气体的物理性质与用量需求进行选择。对于用量较大的大宗气体,如氮气、氧气等,多采用低温储罐存储,能够有...
通过GDS系统(气体检测报警系统)实现集实时监测、预警处理、远程控制、设备管理与一体,能够实现对厂区内危险气体泄漏实时监测并智能判断报警,支持声光报警、视频联动报警等多种报警效果。可有效预防企业安全事...
实验室供气系统,是现在一种普遍被采用的供气方式,它主要是由气源,切换装置,调压装置,终端用气点,监控及报警装置组成。简单来说,实验室集中供气系统就是将所有气瓶集中存放在气瓶房,通过气瓶减压阀将气体输送...
第2类为液化气体,其临界温度≥-10℃,包括高压液化气体和低压液化气体。其中,高压液化气体临界温度≥-10℃、且≤70℃,在充装时为液态,但在允许的工作温度下储运和使用过程中随着温度升高至临界温度时即...
监测惰性、可燃性、有毒性气体泄漏的监测控制系统。系统基于开放的系统结构,具备与其他品牌的系统设备(平台)通过工业标准通讯、平台和协议实现集成和信息交换,协议包括MODBUS、TCP/IP和OPC。系统...
特种气体采用单独气源,多用点采用VMB或VMP分路供应,VMB或VMP采用支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空等。由于系统气源总量大,多采用单独的气体房,单独的抽风系统除了简单的供气系统以外,特气房一般...
管道设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径...
高纯气体管道的设计要点:1.对于不同特性的气体,要规划单独的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,...
特气管道系统的主要价值在于实现高危特种气体的全流程安全管控,其设计需充分适配不同气体的物理化学特性。对于SiH₄这类易燃易爆气体,系统需强化防爆泄压设计;针对Cl₂等腐蚀性气体,需选用耐腐性极强的管道...
储存设备作为特气管道系统的气源主,是保障气体稳定供应的基础环节,其主要设备为特气柜(GC)。特气柜的设计需具备多重安全防护功能,包括气体泄漏检测、自动紧急切断、压力监控与调节等,能够对储存过程中的风险...
管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形...
高纯气体管道是高纯气体供气系统的重要组成部分,是将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键,包括系统的设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。近年来以大规模集成电路为主的微电子产品生...
实验室集中供气系统操作原理:实验室供气有二级减压和多级减压,二级减压即气瓶端采用一级减压阀和末端采用一级减压阀来达到二级减压的目的。实验室一般推荐采用二级减压,这样可以保证气体的纯度和节约成本,也能达...
集中供气的优点1、配有专门的控制设备,以排除每次更换气瓶时引入的杂质,确保管路气体终端的纯度。2、不间断气体供应;气体控制系统可以手动或自动进行切换,以保证气体连续供给。3、气体压力稳定;系统采用集中...
实验室气体报警:一个现代化的实验室,安全必须放在优先位置。由于气瓶全部是集中存放,方便用户集中检查,节省成本和操作时间的同时,也当然存在安全隐患,但如果预警措施、安全措施到位的话,危险是可以避免的!为...
实验室气体报警:一个现代化的实验室,安全必须放在优先位置。由于气瓶全部是集中存放,方便用户集中检查,节省成本和操作时间的同时,也当然存在安全隐患,但如果预警措施、安全措施到位的话,危险是可以避免的!为...
尾气处理系统: 半导体工艺废气处理方式依据废气处理的特性,在处理可分为四种处理方式:1、水洗式(处理腐蚀性气体)2、氧化式(处理燃烧性,毒性气体3、吸附式(干式)(依照吸附材种类处理对应之废...
实验室供气系统,是现在一种普遍被采用的供气方式,它主要是由气源,切换装置,调压装置,终端用气点,监控及报警装置组成。简单来说,实验室集中供气系统就是将所有气瓶集中存放在气瓶房,通过气瓶减压阀将气体输送...
工业集中供气系统是一种现代化集中供气,这种现代化的供气方法得到了社会普遍认可,它是一种将气源通过管路设计集中汇流到用气点的现代化供气设计;这种集中供气方式很大地提高了效益,降低了人力资源的消耗并且...
通过GDS系统(气体检测报警系统)实现集实时监测、预警处理、远程控制、设备管理与一体,能够实现对厂区内危险气体泄漏实时监测并智能判断报警,支持声光报警、视频联动报警等多种报警效果。可有效预防企业安全事...
实验室气体报警:一个现代化的实验室,安全必须放在优先位置。由于气瓶全部是集中存放,方便用户集中检查,节省成本和操作时间的同时,也当然存在安全隐患,但如果预警措施、安全措施到位的话,危险是可以避免的!为...
可燃/有毒气体探测器负责对生产现场的各种气体的检测,并将采集的气体浓度转换成模拟信号。数据采集模块将采集到的信号,以串行通讯的方式传送至GDS控制单元上,GDS控制单元根据检测值分别与各自的报警上/下...
气体纯化技术是大宗特气系统保障气体品质的主要技术之一。随着半导体工艺精度的不断提升,对气体中杂质的控制要求越来越严格,纯化系统需能够有效去除气体中的水分、氧气、金属杂质等各类有害杂质。目前常用的纯化技...
实验室气体报警:一个现代化的实验室,安全必须放在前面。由于气瓶全部是集中存放,方便用户集中检查,节省成本和操作时间的同时,也当然存在安全隐患,但如果预警措施、安全措施到位的话,危险是可以避免的!为用户...
大宗特气系统的自动控制与监控系统是实现精细供应与安全保障的重要支撑。该系统通过各类传感器实时采集气体的压力、流量、纯度、温度等关键参数,并将数据传输至控制系统。控制系统根据预设的参数范围,对阀门、泵等...
储存设备作为特气管道系统的气源主,是保障气体稳定供应的基础环节,其主要设备为特气柜(GC)。特气柜的设计需具备多重安全防护功能,包括气体泄漏检测、自动紧急切断、压力监控与调节等,能够对储存过程中的风险...
实验室气体报警:一个现代化的实验室,安全必须放在优先位置。由于气瓶全部是集中存放,方便用户集中检查,节省成本和操作时间的同时,也当然存在安全隐患,但如果预警措施、安全措施到位的话,危险是可以避免的!为...