微机电系统（MEMS）制造工序中，PECVD沉积设备承担着功能性薄膜沉积的关键任务，薄膜制备质量直接决定MEMS微结构的运行性能与...

真空式等离子表面处理机是在较低压力环境下利用等离子体对材料表面进行处理的设备。工作时，真空系统先将腔体内气体抽至设定压力，再通入工...

新能源产业快速发展，带动光伏、储能、动力电池等领域精密加工需求升级，高性能等离子刻蚀机的市场需求持续扩容。在光伏材料改性、新能源电...

等离子蚀刻工艺的成型效果，由各类工艺参数的精确调控决定，参数设置是精密刻蚀加工的关键环节。不同加工材料、产品工艺标准，对应差异化的...

等离子化学气相沉积设备的采购与合作选型，是半导体、MEMS及纳米技术企业工艺布局的重要环节。设备供应商的关键价值，不局限于硬件设备...