EUV 光刻是半导体先进制程的环节,电子氟化液的控温能力直接决定了光刻精度,油邦手电子氟化液系列在这一场景中展现出极强的技术优势。该电子氟化液不止能将 EUV 光刻机镜头的温度控制精度稳定在 ±0.0...
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