上海弥正深耕国产超高纯气体研发与生产,打破国际巨头在品类的垄断,为半导体产业链自主可控提供关键材料支撑。针对国内高度依赖进口的 7N 级电子级氟化物、硅烷等品类,公司通过自主研发攻克重心提纯技术,实现规模化量产,产品纯度达到国际先进水平,杂质控制精度进入 ppt 级别,并成功通过中芯国际、长江存储等头部晶圆厂的验证认证。相较于进口产品,公司产品在供应响应速度、成本控制及技术服务方面更具优势,可实现订单 48 小时内快速响应,交货周期缩短 50%,成本降低 20-30%。积极参与国家 “十四五” 新材料产业发展规划重点项目,推动超高纯气体国家标准的修订与完善,目前已主导或参与 3 项行业标准的制...
上海弥正防爆型超高纯气体供应方案,针对化工、油气等易燃易爆危险环境,以 “本质安全 + 全流程防护” 确保气体使用安全,适配高危场景的生产需求。方案涵盖防爆型气瓶、防爆输送管路、防爆阀门及在线监测系统,所有设备均通过国家防爆电气产品质量监督检验中心认证,防爆等级达 Ex d IIB T4 Ga,可在性气体环境中安全运行。提供的超高纯气体(如氧气、氢气、乙炔等)均采用特制防爆气瓶包装,瓶体配备压力过高自动泄放装置与防静电接地端子,防止静电积聚引发危险。在油气开采领域,防爆型超高纯氮气用于油气井的氮气驱油与井控作业;在化工领域,防爆型超高纯氧气用于氧化反应工艺。配备专业的安全评估与现场服务团队,为...
上海弥正专为极端低温环境打造的超高纯气体系列,以 “低温稳定性 + 防冷凝设计” 满足航天、冷链物流等特殊场景需求。该系列气体(涵盖氮气、氦气、氩气等)纯度均达 6N 级以上,在 - 196℃至 - 50℃的极端低温环境下,仍能保持稳定的物理性质,无组分分离或纯度衰减现象,低于 - 90℃,避免在低温下形成冷凝水造成设备损坏。针对航天领域,开发了火箭燃料系统用超高纯氦气,在 - 253℃的液氢燃料环境中仍能保持气态,用于系统加压与检漏,检漏灵敏度达 1×10⁻¹²Pa・m³/s;针对冷链物流,提供超高纯氮气与二氧化碳的混合气,用于生鲜食品的低温气调保鲜,可将保鲜期延长 2-3 倍。采用特制的绝...
上海弥正低超高纯气体系列(≤-80℃),专为对水分敏感的电子制造、精密仪器等领域设计,以 “干燥 + 高纯度” 杜绝水分导致的生产缺陷。通过深度干燥与吸附提纯工艺,将气体中的水分含量控制在 50ppb 以下,部分产品(如超高纯氮气、氩气)可低至 - 90℃,同时保证气体纯度达 6N 级以上,完全满足半导体光刻、薄膜沉积等工艺对水分的要求。水分是电子制造中的 “隐形”,可能导致晶圆氧化、薄膜层间剥离、金属电极腐蚀等严重问题,直接影响产品良率。该系列气体采用全程干燥的生产、包装与输送系统,气瓶内壁经特殊处理,防止水分吸附,输送管路配备在线监测仪,实时监控气体干燥度,确保终端使用点的始终符合要求。某...
上海弥正针对半导体制造全流程,打造涵盖超高纯氮气、氢气、氩气、氟化物气体等多品类的定制化气体解决方案,覆盖晶圆清洗、刻蚀、沉积、掺杂等**工艺。所有气体纯度均达到 5N-7N 级别,其中用于光刻工艺的特种气体纯度高达 9N 级,金属杂质含量控制在 0.01ppb 以下,完全满足不同制程芯片的生产要求。提供从气体提纯、包装、运输到终端输送的全链条服务,配备痕量杂质检测实验室,每批次产品均通过 GC-MS(气相色谱 - 质谱联用仪)检测,确保各项指标达标;输送管道采用 316L 不锈钢材质,经电解抛光与钝化处理,内壁粗糙度≤0.2μm,避免颗粒产生与气体污染。某晶圆制造厂应用该解决方案后,整体工艺...
上海弥正超高纯氪气(5N 级纯度),专为等离子体显示面板(PDP)、照明灯具制造设计,以 “高纯度 + 高发光效率” 提升产品性能。通过多级精馏与吸附提纯工艺,将杂质含量控制在 1ppb 以下,其中氖、氙等杂质含量≤0.2ppb,确保发光性能稳定。在 PDP 显示面板中,作为放电单元填充气体,能提升面板发光亮度与色彩还原度,延长面板使用寿命;在照明领域,用于氪气灯填充,提升灯光色温稳定性与发光效率,节能效果明显。采用小型高压气瓶包装,配备精密流量控制阀门,支持准确供气,气体使用效率提升 30%。某显示设备企业应用后,PDP 面板发光亮度提升 15%,色彩还原度接近 100%;某照明企业使用后,...
上海弥正氢能燃料电池全产业链超高纯气体解决方案,覆盖燃料电池电堆、系统及整车制造全流程,以 “高纯度 + 低有害杂质” 保障燃料电池的性能与寿命。方案重心气体包括燃料电池车动力源 —— 超高纯氢气(纯度 99.999%),以及用于电堆生产的超高纯氮气、氩气。其中,超高纯氢气中一氧化碳、硫化物等有害杂质含量≤0.1ppb,可有效避免燃料电池催化剂中毒,延长电堆寿命;在电堆的膜电极制备与双极板焊接环节,超高纯惰性气体作为保护气,确保产品质量稳定。提供从车载储氢瓶用气体到生产工艺用气体的一站式供应,并配备氢气纯度在线监测与纯化设备,为加氢站提供纯度保障。某头部燃料电池企业应用该方案后,其电堆的峰值功...
上海弥正严格遵循欧盟 REACH 法规(《化学品注册、评估、授权和限制法规》)要求,确保所有出口欧盟的超高纯气体产品完全合规,为客户进入欧盟市场扫清法规障碍。公司建立了完善的化学品安全信息管理体系,对每款出口产品进行多面的物质特性评估与注册,完成了超过 20 种超高纯气体的 REACH 注册,涵盖氟化物、硅烷等关键品类,并编制符合要求的 SDS(安全技术说明书)与标签。在生产过程中,严格控制 REACH 法规限制的高关注度物质(SVHC)含量,确保产品中 SVHC 含量远低于法规限值。配备专业的合规团队,实时跟踪欧盟法规更新,为客户提供法规咨询与合规性证明文件,协助客户顺利通过欧盟海关检验与市...
上海弥正超高纯三氟化氮(5N 级纯度),是半导体等离子体刻蚀工艺的关键清洗气体,以 “高纯度 + 低污染” 助力芯片制程精细化。采用低温吸附与精馏提纯工艺,将杂质含量控制在 1ppb 以内,其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb,能准确匹配 7nm 及以下先进制程的刻蚀需求。其强氧化性可高效去除晶圆表面的硅化物、金属氧化物等残留沉积物,且反应产物易挥发,无需额外复杂清洗步骤,有效提升刻蚀工艺效率。配备特用环保处理系统,气体使用后可通过回收装置实现 67% 的再利用率,降低环境排放与使用成本,符合亚洲芯片代工厂的生态合规要求。某半导体代工厂应用后,晶圆刻蚀残留率从 0.8% 降至 0.05%,...
上海弥正超高纯氮气(纯度达 6N 级),专为半导体晶圆加工设计,以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺,将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下,完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体,它能有效隔绝空气与工艺环境接触,防止晶圆表面氧化或污染,保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统,气瓶内壁经电解抛光处理,避免二次污染,气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后,晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%,芯片良率提升 2.8%...
上海弥正超高纯氙气(6N 级纯度),凭借 “优越的 X 射线吸收能力 + 放射性杂质”,成为医疗成像与前沿科学探测领域的不可替代材料。通过多级精馏与精密提纯工艺,将总杂质含量控制在 0.1ppm 以下,其中对成像质量影响重大的总烃杂质≤10ppb,具有放射性的氡杂质更是被控制在 1ppb 以下,达到暗物质探测的严苛标准。在医疗领域,作为 CT 机的氙气探测器填充气体,其强大的 X 射线吸收能力能明显提升影像的清晰度与对比度,帮助医生精细识别微小病灶,减少误诊率;在高能物理领域,是大型暗物质探测器的重心工作介质,其超高纯度可比较大限度降低背景干扰,确保探测数据的准确性。采用特制的高压无缝气瓶包装...
上海弥正低超高纯气体系列(≤-80℃),专为对水分敏感的电子制造、精密仪器等领域设计,以 “干燥 + 高纯度” 杜绝水分导致的生产缺陷。通过深度干燥与吸附提纯工艺,将气体中的水分含量控制在 50ppb 以下,部分产品(如超高纯氮气、氩气)可低至 - 90℃,同时保证气体纯度达 6N 级以上,完全满足半导体光刻、薄膜沉积等工艺对水分的要求。水分是电子制造中的 “隐形”,可能导致晶圆氧化、薄膜层间剥离、金属电极腐蚀等严重问题,直接影响产品良率。该系列气体采用全程干燥的生产、包装与输送系统,气瓶内壁经特殊处理,防止水分吸附,输送管路配备在线监测仪,实时监控气体干燥度,确保终端使用点的始终符合要求。某...
上海弥正防爆型超高纯气体供应方案,针对化工、油气等易燃易爆危险环境,以 “本质安全 + 全流程防护” 确保气体使用安全,适配高危场景的生产需求。方案涵盖防爆型气瓶、防爆输送管路、防爆阀门及在线监测系统,所有设备均通过国家防爆电气产品质量监督检验中心认证,防爆等级达 Ex d IIB T4 Ga,可在性气体环境中安全运行。提供的超高纯气体(如氧气、氢气、乙炔等)均采用特制防爆气瓶包装,瓶体配备压力过高自动泄放装置与防静电接地端子,防止静电积聚引发危险。在油气开采领域,防爆型超高纯氮气用于油气井的氮气驱油与井控作业;在化工领域,防爆型超高纯氧气用于氧化反应工艺。配备专业的安全评估与现场服务团队,为...
上海弥正精密仪器校准用超高纯标准混合气,以 “准确配比 + 高稳定性” 成为实验室分析、环境监测、工业检测等领域仪器校准的基准物质。该系列混合气基于超高纯单一气体(纯度≥99.999%)配制而成,可根据客户需求定制二元、三元及多元混合气,组分浓度范围从 1ppm 至 50%,配比精度达 ±1%,部分关键组分精度可达 ±0.1ppm。采用国际先进的静态重量法配制,每批次产品均通过气相色谱 - 质谱联用仪(GC-MS)、激光光谱等多种精密设备进行验证,确保浓度准确可靠,并提供国家计量认证(CMA)的检测报告,可溯源至国家基准物质。广泛应用于气相色谱仪、质谱仪、气体分析仪等精密仪器的日常校准与期间核...
上海弥正超高纯气体产品多面符合欧盟 RoHS 2.0 指令要求,为电子电器产品达到环保标准提供关键材料保障,助力客户产品顺利进入全球市场。公司对生产超高纯气体的原料、辅料及包装材料进行严格筛选与检测,确保铅、汞、镉、六价铬等 RoHS 限制物质的含量均低于指令限值(如铅≤1000ppm),并建立了完整的供应商合规档案与物料追溯体系。所有产品均通过第三方机构的 RoHS 检测,出具合格的检测报告,可应客户要求提供,用于产品的 RoHS 符合性声明。在半导体与电子元件制造中,使用该合规气体能有效避免产品因材料环保问题被市场拒入,提升产品的环保竞争力。某消费电子企业使用其 RoHS 合规超高纯气体生...
上海弥正构建超高纯气体全生命周期合规管理体系,从生产、销售、使用到回收处置全程符合环保、安全、职业健康相关法规标准,助力客户提升 ESG(环境、社会、治理)绩效。在环境合规方面,公司生产过程实现废气、废水零超标排放,获得 ISO 14001 环境管理体系认证;在安全与职业健康方面,建立严格的安全生产流程与员工健康保护制度,通过 ISO 45001 职业健康安全管理体系认证。为客户提供完整的产品合规文件包,包括质量检测报告、安全技术说明书(SDS)、碳足迹报告、合规性声明等,协助客户完善 ESG 报告中的材料合规与供应链管理部分。定期为客户提供合规培训,内容涵盖气体安全使用、应急处置、废弃物回收...
上海弥正率先采用 100% 绿电(光伏与风电)驱动的电解水制氢工艺,生产超高纯氢气(6N 级纯度),实现从生产源头的低碳化,助力客户达成 “双碳” 目标。该工艺以纯水为原料,通过可再生能源发电进行电解,全程无化石燃料消耗,每立方米氢气的碳足迹较传统工艺降低 95% 以上,完全符合清洁能源发展趋势。经膜分离与催化脱氧组合提纯后,氢气纯度稳定在 99.9999%,杂质含量≤1ppb,不仅可作为燃料电池汽车的重心燃料,为氢能交通提供动力,也可广泛应用于光伏、半导体等行业的绿色制造流程。建立 “生产 - 使用 - 回收” 的闭环体系,为使用客户配套氢气回收与纯化装置,回收率可达 85%,回收后的气体经...
上海弥正超高纯磷烷(5N 级纯度),作为半导体制造中关键的 N 型掺杂气体,以 “准确掺杂 + 高安全性” 满足芯片电性能调控需求。通过络合纯化与吸附分离工艺,将杂质总含量控制在 100ppt 以下,其中砷、硼等竞争性掺杂元素含量≤10ppt,确保掺杂精度与芯片性能稳定。在芯片制造的掺杂工艺中,它被精确引入晶圆表层,通过热扩散或离子注入方式,改变半导体材料的导电类型,形成 N 型半导体区域,是构建晶体管源极、漏极及电阻等关键结构的重心材料。针对其高毒性与高反应活性的特点,建立了符合 SEMI 标准的全流程安全管理体系,从生产、检测、包装到运输均配备多重安全防护装置,气瓶采用特制的防爆阀门与泄漏...
上海弥正针对不同芯片制程需求,提供电子级超高纯气体定制服务,从纯度等级、杂质控制到供应方式均实现准确适配。可根据客户工艺要求,定制 5N-9N 级不同纯度的气体产品,其中 7N 级以上超高纯气体金属杂质含量可控制在 0.001ppb 以下,完全满足 7nm 及以下先进制程的严苛要求。针对特定工艺环节,准确控制目标杂质含量,如光刻工艺用气体可将碳氢化合物杂质控制在 0.05ppb 以下,避免影响光刻精度;掺杂工艺用气体可准确调控掺杂元素浓度,确保芯片电性能稳定。提供 “瓶装 + 管道” 双供应模式,小批量生产采用高压气瓶供应,大批量连续生产采用管道输送,输送系统可与客户生产设备无缝对接。配备专业...
上海弥正构建覆盖全国的供应链服务网络,为客户提供“及时生产、快速配送、高效运维”的全周期服务,保障超高纯气体稳定供应。在上海、江苏、广东等地建立生产基地与仓储中心,仓储容量达5000瓶/次,可满足客户应急储备与常规供应需求;配备20余辆特用危险品运输车辆,均符合国家危险品运输标准,运输半径覆盖500公里范围内的次日达服务,偏远地区3日内送达。建立7×24小时客户服务热线与技术支持团队,客户提出需求后15分钟内响应,4小时内提供解决方案;定期安排技术人员上门巡检,检查气体储存、输送系统运行状态,提供设备维护与操作培训服务,帮助客户优化气体使用方案。针对半导体、光伏等连续生产行业,提供“主供+备用...
上海弥正专为极端低温环境打造的超高纯气体系列,以 “低温稳定性 + 防冷凝设计” 满足航天、冷链物流等特殊场景需求。该系列气体(涵盖氮气、氦气、氩气等)纯度均达 6N 级以上,在 - 196℃至 - 50℃的极端低温环境下,仍能保持稳定的物理性质,无组分分离或纯度衰减现象,低于 - 90℃,避免在低温下形成冷凝水造成设备损坏。针对航天领域,开发了火箭燃料系统用超高纯氦气,在 - 253℃的液氢燃料环境中仍能保持气态,用于系统加压与检漏,检漏灵敏度达 1×10⁻¹²Pa・m³/s;针对冷链物流,提供超高纯氮气与二氧化碳的混合气,用于生鲜食品的低温气调保鲜,可将保鲜期延长 2-3 倍。采用特制的绝...
上海弥正超高纯氮气(纯度达 6N 级),专为半导体晶圆加工设计,以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺,将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下,完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体,它能有效隔绝空气与工艺环境接触,防止晶圆表面氧化或污染,保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统,气瓶内壁经电解抛光处理,避免二次污染,气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后,晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%,芯片良率提升 2.8%...
上海弥正超高纯六氟化钨(6N 级纯度),是半导体先进制程中钨金属层沉积的重心前驱体,以 “高纯度 + 低金属杂质” 助力芯片性能升级。采用化学合成与多级精馏提纯工艺,将杂质总量控制在 1ppm 以下,其中铜、铁、铝等金属杂质含量均≤0.1ppb,完全满足 14nm 及以下逻辑芯片、3D NAND 闪存制造的工艺要求。在化学气相沉积(CVD)工艺中,它能精细地在晶圆表面沉积出均匀、致密的钨金属层,用于芯片的栅极、互连线及接触孔填充,其纯度直接决定了钨层的导电性与可靠性,进而影响芯片的运行速度与寿命。配备耐腐蚀的特用包装与输送系统,采用内壁经特殊钝化处理的镍合金气瓶,防止气体与容器发生反应导致污染...
上海弥正率先采用 100% 绿电(光伏与风电)驱动的电解水制氢工艺,生产超高纯氢气(6N 级纯度),实现从生产源头的低碳化,助力客户达成 “双碳” 目标。该工艺以纯水为原料,通过可再生能源发电进行电解,全程无化石燃料消耗,每立方米氢气的碳足迹较传统工艺降低 95% 以上,完全符合清洁能源发展趋势。经膜分离与催化脱氧组合提纯后,氢气纯度稳定在 99.9999%,杂质含量≤1ppb,不仅可作为燃料电池汽车的重心燃料,为氢能交通提供动力,也可广泛应用于光伏、半导体等行业的绿色制造流程。建立 “生产 - 使用 - 回收” 的闭环体系,为使用客户配套氢气回收与纯化装置,回收率可达 85%,回收后的气体经...
上海弥正低超高纯气体系列(≤-80℃),专为对水分敏感的电子制造、精密仪器等领域设计,以 “干燥 + 高纯度” 杜绝水分导致的生产缺陷。通过深度干燥与吸附提纯工艺,将气体中的水分含量控制在 50ppb 以下,部分产品(如超高纯氮气、氩气)可低至 - 90℃,同时保证气体纯度达 6N 级以上,完全满足半导体光刻、薄膜沉积等工艺对水分的要求。水分是电子制造中的 “隐形”,可能导致晶圆氧化、薄膜层间剥离、金属电极腐蚀等严重问题,直接影响产品良率。该系列气体采用全程干燥的生产、包装与输送系统,气瓶内壁经特殊处理,防止水分吸附,输送管路配备在线监测仪,实时监控气体干燥度,确保终端使用点的始终符合要求。某...
上海弥正便携式超高纯气体套装,专为现场检测、应急救援、野外科研等移动场景设计,以 “小巧便携 + 即开即用” 提供灵活的超高纯气体支持。套装包含 1-10L 不同规格的小型高压气瓶,配备轻量化的减压阀、流量控制器与连接软管,整体重量但 2-5kg,便于携带与运输。提供的气体纯度达 5N-6N 级,涵盖氮气、氩气、氢气、标准混合气等多种类型,可满足不同场景需求:在环境监测中,作为气相色谱仪的载气;在应急救援中,超高纯氧气用于高原或密闭空间的急救;在野外科研中,作为精密仪器的校准气体。气瓶采用强度高铝合金材质,安全性能符合 GB 5099 标准,配备一次性使用的密封接口,防止气体污染。某环境监测站...
上海弥正超高纯氮气(纯度达 6N 级),专为半导体晶圆加工设计,以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺,将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下,完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体,它能有效隔绝空气与工艺环境接触,防止晶圆表面氧化或污染,保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统,气瓶内壁经电解抛光处理,避免二次污染,气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后,晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%,芯片良率提升 2.8%...
上海弥正构建从生产到终端使用的全链条超洁净保障体系,通过包装与输送系统,确保超高纯气体全程无二次污染。气瓶选用 316L 不锈钢材质,经一体锻造与电解抛光处理,内壁粗糙度≤0.1μm,无卫生死角,避免杂质吸附与气体污染;阀门采用进口超洁净隔膜阀,密封性能优异,泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s,确保气体储存过程中无泄漏与纯度衰减。输送管道采用 316L 不锈钢无缝管,经钝化与脱脂处理,管道连接采用卡套式接头,无螺纹污染风险,输送过程中气体颗粒杂质含量≤1 颗 /μm。提供定制化的管道铺设与系统集成服务,根据客户车间布局与设备需求,设计比较好输送路径,减少管道阻力与气体滞留;配备在线纯度监测装置...
上海弥正专为 Micro LED 显示技术打造超高纯气体解决方案,以 “高纯度 + 准确配比” 助力实现更高亮度、更高对比度的显示画质。方案重心气体包括用于 LED 外延生长的超高纯氨气、硅烷、三甲基镓,以及用于转移与封装的超高纯氮气、氩气,其中外延用气体纯度均达 6N 级以上,金属杂质含量≤0.05ppb,确保 Micro LED 芯片的发光效率与波长一致性。在蓝宝石衬底的氮化镓(GaN)外延层生长中,超高纯氨气作为氮源,其纯度直接影响外延层的晶体质量,进而决定 LED 芯片的亮度与寿命;在巨量转移与封装环节,惰性保护气可防止芯片氧化与污染,保障显示面板的可靠性。提供定制化的混合气调配服务,...
上海弥正超高纯氮气(纯度达 6N 级),专为半导体晶圆加工设计,以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺,将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下,完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体,它能有效隔绝空气与工艺环境接触,防止晶圆表面氧化或污染,保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统,气瓶内壁经电解抛光处理,避免二次污染,气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后,晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%,芯片良率提升 2.8%...