氨气（NH3）在氮化工艺与清洗中普遍使用，其含有的微量杂质会影响膜层质量。上海紫钧半导体的1/4过滤器用于氨气输送支路，滤除气体中...

上海紫钧半导体科技有限公司成立于2021年，总部位于上海市奉贤区，自创立起便以推动半导体流体控制元件国产替代进口为发展根本。公司汇...

针对半导体低温工艺（如低温沉积、低温蚀刻）的需求，上海紫钧 316L 材质超高纯高压减压阀展现出优异的耐低温稳定性能。316L 材...

上海紫钧的半导体超高纯隔膜阀经过极限环境测试验证，在-196℃至300℃的温度循环下密封性能无衰减，证明其在宽温工况中的结构稳定性...

在半导体CVD化学气相沉积工艺中，半导体超高纯隔膜阀采用双阀组协同控制设计，主阀负责流量粗调，副阀采用微流量控制结构，实现从大流量...