面对日益复杂的微纳结构测量挑战,白光干涉仪展现出了的适应性。无论是光滑如镜的光学表面,还是粗糙各异的工程材料,它都能通过白光相干性的精确解算,生成细节丰富的三维拓扑图。其独特的抗干扰能力确保了在常规实...
对于透明或半透明薄膜的测量,普通触针式轮廓仪往往无能为力甚至会造成损伤。白光干涉仪利用其独特的相位解包裹技术,能够清晰分辨薄膜的表面和界面,精确测量其厚度和表面平整度。这在显示行业(如OLED)、半导...
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