半导体制造过程中,离子刻蚀性能是衡量材料品质的关键指标。无压烧结碳化硅凭借其优异特性,正成为行业优先选择。这种材料硬度超高,维氏硬度通常超过2000GPa,有效抵抗离子轰击造成的表面损伤。其极低热膨胀系数确保高温环境下的尺寸稳定性。无压固相烧结碳化硅能长期耐受包括氢氟酸在内的强酸或复合酸,在等离子体环境中表现出色。实际应用中这种材料的耐蚀率比传统石英或氧化铝材料低倍,延长设备部件使用寿命,减少更换频率,降低生产成本。对于追求高性能耐离子刻蚀材料的半导体制造商,江苏三责新材料科技股份有限公司提供的产品是理想之选。公司拥有先进生产技术和设备,可根据客户需求定制各种规格的耐离子刻蚀部件,为行业技术进...
等离子体刻蚀工艺对设备材料的要求极为苛刻,耐离子刻蚀无压烧结碳化硅陶瓷为等离子体刻蚀工艺中的材料挑战提供了有效的解决方案。耐离子刻蚀无压烧结碳化硅陶瓷应运而生。采用独特无压烧结工艺,在2100-2200℃高温下烧结,形成晶粒尺寸不超20μm的精细结构。这种微观结构赋予材料优良耐离子刻蚀性能。高能离子持续轰击下,保持极低刻蚀率,比传统材料如石英或氧化铝低倍。使用该材料制作的腔体部件、静电卡盘等关键组件能在恶劣等离子体环境中长期稳定工作,延长设备运行时间,减少维护停机。除耐蚀性外,还具有优异机械性能和热稳定性,三点抗弯强度通常大于350MPa,承受复杂机械应力;低热膨胀系数保证高温环境下尺寸稳定,...
在热交换设备制造领域,无压烧结碳化硅材料正逐步取代传统金属材料,成为新一代高性能换热器的优先选择。这种革新源于无压烧结碳化硅独特的物理化学性质,特别是其优良的导热性能和耐腐蚀能力。室温下,该材料的导热系数通常可达120W/m﹒K以上,远超多数金属材料。这意味着使用相同尺寸的换热器,碳化硅可实现更高效的热交换。其耐化学腐蚀能力出众,能够在强酸、强碱等苛刻环境中长期稳定工作,大幅延长了设备使用寿命。目前国内外已有多家企业投身于热交换用无压烧结碳化硅的研发和生产。这些企业普遍采用超细碳化硅微粉为原料,通过添加特定烧结助剂,利用高温烧结工艺制备出高性能碳化硅陶瓷。产品形态多样,可根据客户需求定制各种复...
航空航天无压烧结碳化硅的生产兼具高精密性与专业依赖性,既需专业技术加持,也离不开设备支持。该流程首先要挑选超细碳化硅微粉,并添加特定的烧结助剂,通过先进的喷雾干燥工艺,制备出高质量的造粒粉体,为后续成型奠定基础。成型过程采用多种技术,包括干压等静压和注模等,以满足不同形状和尺寸要求。烧结阶段在严格控制的真空或氩气环境下进行,温度精确控制在2100-2200℃范围内,确保产品达到理论密度的98%以上。成品具有优良的性能指标,包括超高硬度、优异的弯曲强度和出色的耐高温性能。材料还具有优良的导热性和低热膨胀系数,满足航空航天领域的严苛要求。这些特性使得该材料在航空发动机部件、热防护系统和空间结构等关...
依托其物理与化学特性,该先进陶瓷材料为多项半导体制造工艺提供了坚实基础。等离子体刻蚀工艺中,它能抵抗高能离子轰击和腐蚀性气体,保持尺寸稳定性。化学气相沉积过程中,其高纯度和低杂质析出特性确保了沉积膜质量。作为晶圆承载盘,低颗粒释放和优异平整度有助于提高产品良率。无压烧结工艺赋予碳化硅盘独特性能组合。超高致密度保证了优异的机械强度和耐腐蚀性,精细晶粒结构则实现良好加工性能,可制作复杂精密部件。这种材料在高温环境下依然表现出优异的稳定性,使其能够满足某些高温半导体工艺的严苛要求。不同半导体工艺可能需要不同性能的碳化硅盘,有些应用更注重导热性,有些则要求极高化学稳定性,因此选择合适供应商非常重要。江...
二次电池领域对材料性能提出了严苛要求,无压烧结碳化硅凭借其独特参数脱颖而出。这种材料的密度通常在3.10-3.18g/cm3之间,确保了电池部件的轻量化设计。其晶粒尺寸控制在20μm以下,有利于提高材料的均匀性和稳定性。在机械性能方面,无压烧结碳化硅展现出优良表现,维氏硬度超过2000GPa,这使得由其制成的电池部件能够承受高硬度的机械应力。导热性能同样出色,室温下导热系数通常大于120W/m·K,有助于电池散热,提高安全性。低热膨胀系数则确保了电池部件在温度变化时的尺寸稳定性。耐化学腐蚀能力是无压烧结碳化硅在电池应用中的另一大优势。它能够长期耐受强酸、强碱等腐蚀性物质,包括电池中常见的电解液...