随着技术进步,MEMS正朝着更高集成度、多功能化和智能化方向发展。例如,将MEMS与纳米技术结合(NEMS),可制造更敏感的传感器;新材料(如氮化铝、碳化硅)的引入提升了器件耐高温和抗腐蚀性能。此外,...
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