真空计是一种用于测量真空度或低于大气压的稀薄气体的气压的仪器。以下是真空计的主要特点： 1.多种测量原理真空计有多种测量原理，如电容式、电离式、热传导式等。不同的测量原理具有不同的特点和适用...

随着MEMS技术的不断发展和进步，MEMS电容真空计将朝着更高灵敏度、更宽测量范围、更好稳定性和更低功耗的方向发展。同时，随着物联网、大数据、人工智能等技术的快速发展，MEMS电容真空计将实现更加智能...

真空计的应用领域拓展： 半导体和电子产业：半导体制造过程中需要高度精确的真空环境，直接推动了真空计的需求增长。同时，5G技术、人工智能和物联网的发展也带动了电子产业对高精度真空计的需求。光伏...

选择真空计时需要综合考虑多个因素，包括真空计的类型、测量范围与精度、被测气体与环境以及其他相关因素。通过多方面评估这些因素，可以选择出适合实际需求的真空计。其他因素需要考虑：稳定性与可靠性...

常见的真空计类型包括：直接读取式真空计：如U型管压力计、压缩式真空计等，它们直接读取气体压力，其压力响应（刻度）可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。这类真空计对所有气体都是准确的，且与...

金属薄膜真空计在多个领域有着广泛的应用，包括但不限于：半导体制造：在半导体制造过程中，金属薄膜真空计用于监测真空度，确保气氛纯净并排除杂质，从而提高芯片的质量和可靠性。真空冶金：在真空冶金领域，金属薄...

选择真空计时需要综合考虑多个因素，包括真空计的类型、测量范围与精度、被测气体与环境以及其他相关因素。通过多方面评估这些因素，可以选择出适合实际需求的真空计。其他因素需要考虑：稳定性与可靠性...

真空计可以按照测量原理、结构特点以及使用范围等进行分类。其中，按照测量原理分类是最常见的方式。不同类型的真空计具有不同的测量范围和精度。例如：波尔登规的测量范围一般在100Pa至1atm。薄膜电容规的...

结构组成 MEMS电容真空计主要由真空规管和测量电路两部分组成。真空规管包含弹性薄膜、上下电极、支撑结构等组件。测量电路则用于对电容变化进行处理，得到真空度的值。此外，MEMS电容真空计还可...

陶瓷薄膜真空计在多个领域有着广泛的应用，包括但不限于：半导体制造：在半导体制造过程中，陶瓷薄膜真空计用于监测真空度，确保气氛纯净并排除杂质，从而提高芯片的质量和可靠性。真空冶金：在真空冶金领域，陶瓷薄...

其他角度对真空计进行分类，如根据测量范围、精度、使用条件等。不同类型的真空计在这些方面也有区别。例如，MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，具有小型化、低成本、高性能、易与CMOS...

真空计的未来趋势小型化： 真空计的体积越来越小，便于携带和使用。一体化：真空计测量单元与规管集成为一体，提高了测量的便捷性和准确性。集成化：将多台真空计组合成一台，实现多功能集成和测量。系统...