真空镀膜机可按照不同的标准进行分类。按镀膜工艺可分为蒸发镀膜机、溅射镀膜机、离子镀膜机和化学气相沉积镀膜机等。蒸发镀膜机结构相对简单,镀膜速度快,适合大面积、对膜层质量要求不是特别高的应用,如装饰性镀...
真空系统是真空镀膜机的基础,真空泵如机械泵、扩散泵和分子泵协同工作,机械泵先将真空室抽到低真空,扩散泵和分子泵再进一步提升到高真空,以排除空气和杂质,确保纯净的镀膜环境。镀膜系统中,蒸发源(如电阻蒸发...
真空镀膜机主要由真空系统、镀膜系统、控制系统等几个关键部分构成。真空系统是实现高真空环境的基础,包括真空泵(如机械泵、扩散泵、分子泵等)、真空室、真空阀门和真空管道等部件。真空泵负责抽出真空室内的气体...
光学镀膜机具有普遍的应用适应性,能够在众多领域发挥关键作用。在光学仪器制造领域,如望远镜、显微镜、经纬仪等,它可为光学镜片镀膜,提高仪器的光学性能,增强成像的分辨率和对比度。在显示技术方面,为液晶显示...
分子束外延镀膜机是一种超高真空条件下的精密镀膜设备。它通过将各种元素或化合物的分子束在基底表面进行精确的外延生长来制备薄膜。分子束由高温蒸发源产生,在超高真空环境中,分子束几乎无碰撞地直接到达基底表面...
化学气相沉积(CVD)原理在光学镀膜机中也有应用。CVD 是基于化学反应在基底表面生成薄膜的技术。首先,将含有构成薄膜元素的气态前驱体通入高温或等离子体环境的镀膜室中。在高温或等离子体的作用下,气态前...
离子束辅助沉积原理是利用聚焦的离子束来辅助薄膜的沉积过程。在光学镀膜机中,首先通过常规的蒸发或溅射方式使镀膜材料形成原子或分子流,同时,一束高能离子束被引导至基底表面与正在沉积的薄膜相互作用。离子束的...
卷绕镀膜机具备自动化校准功能以保证镀膜的高精度。首先是膜厚校准,设备会定期自动运行膜厚校准程序。利用已知厚度的标准膜片,通过与实际镀膜过程中测量的膜厚进行对比,调整蒸发源功率或溅射功率等参数,修正膜厚...
光学镀膜机的工艺参数调整极为灵活。它可以对真空度、蒸发或溅射功率、基底温度、气体流量等多个参数进行精确设定和调整。真空度可在很宽的范围内调节,以适应不同镀膜材料和工艺的要求,高真空环境能减少气体分子对...
卷绕镀膜机具备自动化校准功能以保证镀膜的高精度。首先是膜厚校准,设备会定期自动运行膜厚校准程序。利用已知厚度的标准膜片,通过与实际镀膜过程中测量的膜厚进行对比,调整蒸发源功率或溅射功率等参数,修正膜厚...
光学镀膜机的技术参数直接决定了其镀膜质量与效率,因此在选购时需进行深入评估。关键技术参数包括真空系统的极限真空度与抽气速率,高真空度能有效减少镀膜过程中的气体杂质干扰,确保膜层纯度和均匀性,一般要求极...
在光学领域,真空镀膜机可制备各类光学薄膜,如增透膜能减少镜片反射,提高透光率,使光学仪器成像更清晰;反射膜可增强反射效果,应用于望远镜、激光器等。在电子行业,为集成电路制造金属互连层、绝缘层等,提高芯...