深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。本发明属于半导体器件技术领域，涉及一种高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法。背景技术：硅基光电二极管由于其材料成本造工艺简单，响应度峰值波长为9...

硅光二极管的应用前景十分广阔。除了传统的光通信、光探测和光传感领域外，还可以将其应用于新兴的领域，如光计算、光存储和光互联等。随着人们对光电技术的需求不断增加，硅光二极管的市场需求也将持续增长。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、...

设置静电纺丝工艺参数：注射器推进速度3mm/h，纺丝电压20kv，接收距离8cm，滚筒转速200r/min，在固定于滚筒上的fto玻璃上接收固化的复合纤维，150℃烘箱中干燥过夜，烘干后置于550℃马弗炉中煅烧2h，热分解后即可获得sr掺杂batio3薄膜电极；配制30ml浓度为、，搅拌均匀，转入50ml水热反应釜中。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张...

硅光二极管的光谱响应范围与其材料特性和结构有关。一般来说，硅光二极管对可见光和近红外光具有较好的响应，但对紫外光和远红外光的响应则较弱。因此，在选择硅光二极管时，需要根据实际应用场景的光谱特性进行匹配，以获得好的光电转换效果。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销...

控制煅烧温度为350℃，煅烧时间为3h，即可得sr掺杂batio3/znte光电极。图1为sr掺杂batio3纳米纤维的扫描电镜图，可以看到sr掺杂batio3纳米纤维表面很光滑，纤维直径在400nm左右，长度可达几十微米，纤维之间相互交叠，形成三维网状结构。图2为znte水热生长在sr掺杂batio3纳米纤维表面后的扫描电镜图，由图可知。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电...

具体实施方式下面结合实施例对本发明做进一步详细描述，所述是对本发明的解释而不是限定，一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极108的衬底107；衬底107正面依次设有高反层(109、外延层101、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极106；所述的高反层109上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极106相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环102以及设在其内的有源区103；所述的正面金属电极106还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区103相连接。进一步的，所述的衬底107为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极108。所述的外...

通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率，耗尽区宽度减小导致响应度的降低，再通过增加高反层使得光子在较薄的耗尽区中二次吸收来补偿，以减小耗尽区变薄对光响应度的影响(参见图3)；高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时，降低响应时间；进一步，通过在高反层上刻孔形成均匀的电流路径同时获得高的响应速度(参见图4)；由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低，扩散区阻抗很小。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光...

深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。硅光电二极管是当前普遍应用的半导体光电二极管。下面我们谈谈2CU和2DU两种类型硅光电二极管的种类、构造以及应用上的一些问题。种类与构造一、2CU型硅光电二极管：2CU型硅光电二极管是用N型硅单晶制作的，根据外形尺寸的大小它又可分2CU­1­，2CU­2­，2CU­3­等型号，其中2CU­1­与2CU­2­体积较大，2CU­3­稍小些（见图1（a））。这种类型的光电二极管多用带透镜窗口的金属管壳封装，下端有正、负两个电极引线，它们分别...

硅光二极管的光谱响应特性是其重要的性能指标之一。通过调整材料和工艺参数，可以优化硅光二极管的光谱响应范围，使其更好地适应不同应用场景的需求。例如，在可见光通信中，需要选择对可见光具有良好响应的硅光二极管；而在红外探测中，则需要选择对红外光具有良好响应的器件。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制...

硅光二极管是一种基于硅材料的光电子器件，具有将光信号转换为电信号的功能。其工作原理基于光电效应，当光照射到硅光二极管的PN结上时，光子能量被硅原子吸收，导致PN结中的电子被激发出来，形成光电流。这种器件在光通信、光探测和光传感等领域具有广泛应用，是实现光电转换的关键元件之一。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。专业硅光电二极管生产厂...

6)在sio2层104、si3n4层105上刻出接触孔，然后溅射金属，溅射完成后刻蚀形成正面金属电极106；7)在衬底107的背面做金属化处理形成背面电极108。进一步的，所述的衬底107采用电阻率20～100为ohm·cm的低电阻率硅材料；衬底107直接与背面金属形成良好的欧姆接触；所述的高反层109是由折射率～～，通过化学气相淀积或光学镀膜技术生成；所述的外延层101的电阻率为500～1000ohm·cm，外延层101的厚度与耗尽区宽度相当；所述的保护环102为as离子源注入，注入剂量为1e15～2e15。所述的有源区103为b离子源注入，注入剂量为1e15～2e15；所述的正面金属电极1...

主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、...

二、2DU型硅光电二极管：2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制作的，从外形上分有2DUA，2DUB等类型，其中2DUA型管子体积较小些（见图1（b））。2DU型硅光电二极管目前多采用陶瓷树脂封装，入射光的窗口不带透镜。这类管子引线共有三条，分别称作前极、后极、环极（见图1（b））。前极即光敏区（N型区）的引线；后极为衬底（P型区）的引线；环极是为了减小光电管的暗电流和提高管子的稳定性而设计的另一电极。光电管的暗电流是指光电二极管在无光照、高工作电压下的反向漏电流。我们要求暗电流越小越好。这样的管子性能稳定，同时对检测弱光的能力也越强。为什么加了环极后就可以减小2DU型硅光电二极管的暗电流呢？这...

硅光二极管的响应时间也是其性能的重要指标之一。在高速光通信系统中，需要选择具有快速响应时间的硅光二极管，以确保信号的准确传输和处理。随着技术的不断进步，硅光二极管的响应时间已经越来越短，为高速光通信技术的发展提供了有力保障。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售...

硅光二极管的应用前景十分广阔。除了传统的光通信、光探测和光传感领域外，还可以将其应用于新兴的领域，如光计算、光存储和光互联等。随着人们对光电技术的需求不断增加，硅光二极管的市场需求也将持续增长。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、...

该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。所述方法由以下步骤组成：1)以乙酸钡、乙酸锶和钛酸四丁酯为原料，溶解于乙酸、乙醇和水的混合溶液中，加入质量分数为10-30％的聚乙烯吡络烷酮，搅拌24h，得到纺丝溶液；2)采用静电纺丝机制备sr掺杂batio3纳米纤维薄膜电极：将步骤1所述纺丝溶...

硅光二极管在光电子学领域的重要性不言而喻。作为光电转换的基本单元，它在光信号的接收、处理和传输中发挥着关键作用。随着光电子技术的飞速发展，硅光二极管不仅在传统的通信领域得到广泛应用，还在新兴的光计算、光存储等领域展现出巨大的潜力。其优异的性能和稳定性使其成为光电子器件中的佼佼者。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为...

硅光二极管的制造过程涉及复杂的半导体工艺。首先，需要选择高质量的硅单晶材料作为衬底，然后通过一系列的物理和化学过程，如扩散、离子注入和光刻等，形成PN结和其他必要的结构。制造过程中还需要严格控制各项参数，以确保器件的性能和可靠性。经过封装和测试，合格的硅光二极管才能出厂应用。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家...

将石英玻璃罩1与下固定板7连接，使石英玻璃罩1与下固定板7形成一密闭空间，在连接时，打开电磁铁开关，电磁铁6与磁环17磁性连接，以增强石英玻璃罩1与下固定板7之间的密封性能，从而保证真空焊接系统的实用性，确认将石英玻璃罩1封闭后，型号为suk2n-1412mr/mt的plc控制器型号为zca的真空电磁阀9开启，同时型号为rv2000y的微型真空泵10将石英玻璃罩1中的空气抽出，使石英玻璃罩1内部保持真空，当石英玻璃罩1内部处于真空环境后，打开感应线圈开关，感应线圈16对二极管硅叠进行高频加热，同时打开温度检测仪开关和熔深检测仪开关，型号为sin-r9600的温度检测仪13和型号为bx-200的...

世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。并通过型号为suk2n-1412mr/mt的plc控制器4开启型号为vton的氮气电磁阀11和型号为sast的氮气充气泵12，向石英玻璃罩1内部充入小流量氮气对高压二极管硅叠进行冷却和保护，温度下降到一定值时，取出被焊接高压二极管硅叠，本真空焊接系统设计合理，结构简单易于实现，不改变原有设备的主要结构，只增加少量部件和对控制程序的改造，改造费用增加很少，以很少的设备投资，既减少了产品生产过程中氮气使用成本，又提高了系统的可靠性。在本实用新型的描述中，需要理解的是，...

2CU­3­型管子二条引线中较长一根是“＋”极。2CU型硅光电二极管使用时电原理图见图⑤（b）。图中E为反向工作电压的电源，R­L­是负载电阻，电信号就从它的两端输出。当无光照时，R­L­两端的电压很小；当有光照时，R­L­两端的电压增高，R­L­两端电压大小随光照强弱作相应的变化，这样就将光信号变成了电信号。图⑥所示是实际应用中的简单的光电控制线路。其中图⑥（a）是亮通的光控线路。图中2CU管是光电接收元件，三极管BG­1­和BG­2­直接耦合组成一级射极跟随器。“J”表示继电器，它的型号是JRXB－1型。图中D­1­是2CP­10­型二极管，它的作用是保护BG­2­三极管的。当有光照射到光...

二、2DU型硅光电二极管：2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制作的，从外形上分有2DUA，2DUB等类型，其中2DUA型管子体积较小些（见图1（b））。2DU型硅光电二极管目前多采用陶瓷树脂封装，入射光的窗口不带透镜。这类管子引线共有三条，分别称作前极、后极、环极（见图1（b））。前极即光敏区（N型区）的引线；后极为衬底（P型区）的引线；环极是为了减小光电管的暗电流和提高管子的稳定性而设计的另一电极。光电管的暗电流是指光电二极管在无光照、高工作电压下的反向漏电流。我们要求暗电流越小越好。这样的管子性能稳定，同时对检测弱光的能力也越强。为什么加了环极后就可以减小2DU型硅光电二极管的暗电流呢？这...

硅光二极管的应用前景十分广阔。除了传统的光通信、光探测和光传感领域外，还可以将其应用于新兴的领域，如光计算、光存储和光互联等。随着人们对光电技术的需求不断增加，硅光二极管的市场需求也将持续增长。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、...

其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。磁环17的外壁壁与卡槽15的内壁固定连接，且卡槽15设置在下固定板7顶端的中部，卡槽15底端的边侧固定设有感应线圈16，下固定板7的出气管通过耐高温传输管道8与微型真空泵10的抽气端固定连通，使石英玻璃罩1内部保持真空，下固定板7出气管的一侧固定设有真空电磁阀9，下固定板7的进气管通过耐高温传输管道8与氮气充...

水热时间为2-12h。地，步骤3所述氮气保护条件下的煅烧温度为200-400℃，煅烧时间为1-6h。本发明的有益效果：本发明创造性地利用静电纺丝技术制备了sr掺杂batio3纳米纤维电极，该方法制备过程简单，便于规模化生产。且所制备的sr掺杂batio3铁电材料自发极化能力强，在外场环境下产生较强的表面电场，能够有效的分离znte电极的光生载流子，极大地提高了znte载流子的分离效率，降低了光生载流子的复合速度，从而为**co2还原反应奠定了坚实的基础。附图说明图1为实施例一中制备的sr掺杂batio3纳米纤维的扫描电镜图。图2为实施例一中制备的sr掺杂batio3/znte电极的扫描电镜图；...

当反向工作电压大于10伏时，光电流基本上不随反向电压增加而增加，反映在平行曲线簇上就是平直那段（例如AB段）。由图③清楚地看出在反向工作电压大于10伏的条件下管子有较高的灵敏度。图④表示在反向工作电压大于10伏情况下，光电流与入射光强度的关系。从图④看出在反向工作电压大于10伏的条件下光电流随入射光强度的变化基本上是线性的。上述这些，就是硅光电二极管的反向工作电压必须大于10伏的原因所在。2．硅光电二极管的光电流、暗电流随温度的变化均有变化。在环境温度0℃以上，反向工作电压不变的条件下，环境温度变化（25～30）℃时，硅光电二极管的暗电流将变化10倍，光电流变化10％左右，所以在要求稳定性高的...

反应结束，取出fto电极，水洗3次，60℃下真空干燥8h；干燥后，将薄膜放入管式炉内，氮气保护条件下煅烧一定时间，即可得sr掺杂batio3/znte光电极。地，步骤1所述乙酸钡的浓度为5-100mmol/l，乙酸锶的浓度为5-100ummol/l，钛酸四丁酯的浓度与乙酸钡一致。地，步骤1所述乙酸、乙醇和水的体积比为1:3:3-1:10:10。地，步骤2所述静电纺丝工艺参数为：注射器推进速度1-5mm/h。深圳市世华高半导体有限公司成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线...

硅光二极管的应用前景十分广阔。除了传统的光通信、光探测和光传感领域外，还可以将其应用于新兴的领域，如光计算、光存储和光互联等。随着人们对光电技术的需求不断增加，硅光二极管的市场需求也将持续增长。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、...

将石英玻璃罩1与下固定板7连接，使石英玻璃罩1与下固定板7形成一密闭空间，在连接时，打开电磁铁开关，电磁铁6与磁环17磁性连接，以增强石英玻璃罩1与下固定板7之间的密封性能，从而保证真空焊接系统的实用性，确认将石英玻璃罩1封闭后，型号为suk2n-1412mr/mt的plc控制器型号为zca的真空电磁阀9开启，同时型号为rv2000y的微型真空泵10将石英玻璃罩1中的空气抽出，使石英玻璃罩1内部保持真空，当石英玻璃罩1内部处于真空环境后，打开感应线圈开关，感应线圈16对二极管硅叠进行高频加热，同时打开温度检测仪开关和熔深检测仪开关，型号为sin-r9600的温度检测仪13和型号为bx-200的...

设置静电纺丝工艺参数：注射器推进速度3mm/h，纺丝电压20kv，接收距离8cm，滚筒转速200r/min，在固定于滚筒上的fto玻璃上接收固化的复合纤维，150℃烘箱中干燥过夜，烘干后置于550℃马弗炉中煅烧2h，热分解后即可获得sr掺杂batio3薄膜电极；配制30ml浓度为、，搅拌均匀，转入50ml水热反应釜中。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张...