包含以下事项: 1. 产尘作业时搭建洁净棚,并配备洁净室**吸尘器; 2. 施工现场进行6S维护; 3. 高架地板拆除后,在拆除区域铺设防坠网,并在防微振平台安装前拆除该防坠网; 4. 在防微振平台落...
适用范围 适用于经过调试并已经具备一定洁净度等级的洁净厂房内,对基础有一定微振动要求的设备。 4.工艺原理 将平台设立在地面或者格栅板上,与原有的活动地板分离,使之不与活动地板相互传递振动,阻隔相邻设...
半导体芯片制造对环境震动极为敏感,微小震动都可能影响芯片光刻、蚀刻等关键工序的精度。这款微震平台专为半导体芯片厂房设计,采用多级隔震技术与智能阻尼系统,能将环境微震削减至纳米级以下。通过实...
有抗微振要求的多层厂房,设备的布置应符合下列规定∶(1)厂房中有强烈振动的设备或对振动很敏感的设备和仪器。宜布置在厂房底层;(2)厂房中有较大振动的设备或对振动敏感的设备和仪器,宜靠近承重墙、框架梁及...
适用范围 适用于经过调试并已经具备一定洁净度等级的洁净厂房内,对基础有一定微振动要求的设备。 4.工艺原理 将平台设立在地面或者格栅板上,与原有的活动地板分离,使之不与活动地板相互传递振动,阻隔相邻设...
为了确保防微振平台的高性能和可靠性,我们需要详细描述其各项技术规格和要求。1.**防微振等级**:该防微振平台需满足特定的防微振等级,以确保在使用过程中能有效隔离外部振动对设备的影响。2....