真空腔体的使用方法介绍：1、将反应物倒入衬套内，空腔体并保障加料系数小于0.8。2、保障釜体下垫片位置正确（凸起面向下），然后放入衬套和上垫片，先拧紧釜盖混合设备，然后用螺杆把釜盖旋扭拧紧为止。3、将...

腔体按使用功能可分为过渡腔、传输腔和反应腔：过渡腔：是设备中晶圆真空环境入口，晶圆从外部运输至设备入口，经过前端模块（EFEM）后进入过渡腔，方从大气环境转换为真空环境，后续再进入真空环境的传输腔、反...

腔体，指的是一种与外部密闭隔绝同时内部为空心的物体。它不仅描述了这种特定的物理结构，还常被用来形容塑料封装件中的顶部和底部部分，以及塑封模具中用于包封芯片的空间。真空腔体在工业生产中扮演着重要角色，特...

真空腔体检修过程中的要求：真空腔体工作时间久了，总会出现点问题，因此它在操作过程中需注意的问题有很多。同时，还需要定期对其进行检修，检修过程中应满足以下要求：一、要定期检查下揽拌轴的摆动里，如果发现摆...

磁研磨抛光是利用磁性磨料在磁场作用下形成磨料刷，对工件进行磨削加工。该方法具有加工效率高、质量好、加工条件易于控制、工作环境良好等优点。采用合适的磨料，表面粗糙度能够达到Ra0.1μm。在塑料模具加工...

注浆过程控制注浆过程中随时检查孔口、邻孔、覆盖层较薄部位有无串浆现象，如发生串浆，应立即停止注浆或采用间歇式注浆封堵串浆口，也可以采用麻纱、木楔、快硬水泥砂浆或锚固剂封堵，直至不再串浆时再继续注浆。注...

真空干燥箱主要由两大部分组成:真空干燥箱和真空泵，常见的真空泵主要分为油压真空泵和水循环真空泵，在实际应用过程中油压真空泵因其维护简单、操作方便、对场地和占地面积要求低的特点，所以多数厂家在给真空干燥...

机械抛光机械抛光主要依靠切削以及材料表面的塑性变形，去除被抛光表面的凸部，从而获得平滑表面。一般会使用石油条、羊毛轮、砂纸等工具，多以手工操作为主。对于特殊零件，如回转体面，可借助转台等辅助工具。当对...

反应腔内部又有多种机械件，按不同材料及作用可分为金属工艺件、金属结构件及非金属机械件：●金属工艺件：在设备中与晶圆直接接触或直接参与晶圆反应。以匀气盘为例，在薄膜沉积及刻蚀过程中，特种工艺气体通过匀气...

·超声波抛光将工件放置于磨料悬浮液中，并一同置于超声波场里，依靠超声波的振荡作用，促使磨料在工件表面进行磨削抛光。超声波加工具有宏观力小的特点，不会导致工件变形，但其工装制作和安装难度较大。超声波加工...

真空干燥箱主要由两大部分组成:真空干燥箱和真空泵，常见的真空泵主要分为油压真空泵和水循环真空泵，在实际应用过程中油压真空泵因其维护简单、操作方便、对场地和占地面积要求低的特点，所以多数厂家在给真空干燥...

真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270—90...