反应腔体是碳纳米管生长的主要场所，其内部设有精密的温控系统和气体流量控制系统，以确保生长过程中的温度、压力和气体组分等参数处于比较...

自动化与智能化控制：通过集成先进的自动化控制系统，设备能够实现从气体注入、等离子体激发到样品收集的全过程自动化操作，减少人为干预，...

真空腔室设计：真空腔室是该设备的部件之一，采用不锈钢材质，内部经过镜面抛光处理，以减少气体分子散射，提高等离子体均匀性。腔室配备有...

合肥物质科学研究院等离子体物理研究所与合肥工业大学合作，在高能聚变中子辐照下大功率晶闸管材料和电特性损伤研究方面取得新进展。同时，...

随着材料科学的不断进步，新型气相沉积技术不断涌现。例如，原子层沉积技术以其原子级精度和薄膜均匀性受到了多关注，为高精度薄膜制备提供...