研磨抛光机主机采用调速电机驱动,配置大功率减速系统,软启动、软停止,运转平稳。通过上、下研磨盘、太阳轮、游星轮在加工时形成四个方向、速度相互协调的研磨运动,达到上下表面同时研磨的高效运作。下研磨盘可升降,方便工件装卸。气动太阳轮变向装置,精确控制工件两面研磨精度和速度。随机配有修正轮,用于修正上下研磨盘的平行误差。研磨篮式研磨机继承了篮式研磨机分散研磨两道工序在一台机器、一道工序上实现的特点,同时还可以作为分散机单独使用(当分散盘在工作位置,研磨篮未下降时)。对于需要研磨的物料,又可以实现先分散后研磨的功能(当研磨篮下降到工作位时,可对物料进行高效率的精研磨)。自动研磨抛光机主轴转速5000~...
研磨抛光机的主要附件:抛光机的主要附件是抛光盘。抛光盘按材料的分类:海绵抛光盘:海绵抛光盘按形状可分为以下三种:直切型:速度快、热能大、灵活,直径x厚的尺寸为152.4 mm×50.8 mm。平切型:面积大、散热好、比较平稳,直径×厚的尺寸为203.2 inln×(25.4~50.8)mm。波纹型:工作液不易飞溅,直径×厚的尺寸为203.2 mm×(25.4~38.1)mm。维护说明:在温水中冲洗后,挤去水分,面朝上放在干净的地方进行干燥。不要使用肥皂或清洁剂清洗,不要机洗或干洗,不要用梳毛刷或螺丝刀清洁海绵轮。兔毛抛光盘:兔毛抛光盘切削力介于羊毛抛光盘和海绵抛光盘之间,底部有自动粘贴,可用于...
研磨抛光机自动抛光,圆盘抛光机主要由一个圆盘、抛光立柱(抛光立柱的数量根据产品的加工工艺来定)、电控箱及研磨剂供给系统组成。圆盘式多功能自动抛光机是一种适应面比较普遍的抛光机机型,对于产品材质为铜、铁、锌、不锈钢的工件均可进行表面处理。圆盘的运动可根据加工产品的不同,作间歇运转或连续运转,并配有变频器控制圆盘转速;抛光立柱上的抛光轮可作多轴定位来满足产品不同侧面的抛光;视产品的工艺要求,可对产品进行砂光、粗抛、细抛、精抛等流水型作业,并可对抛光立柱作适当的取舍;麻轮、布轮耗损时可作自动补偿;装有自动打液体蜡装置;治具方面具有自动装卸工件装置的设计(须治具设计配合),操作起来非常方便。机器还设有...
研磨抛光机自动抛光,数控抛光机又称数控磨锋机、数控磨刀磨锋机、CNC抛光机。数控抛光机是磨刀机工作原理,研制而成的具备自动控制系统的新一代产品,是一种集磨刀与抛光(去刀花)于一体的新型双磨头磨刀机,特别适用于中小型书刊印刷厂。数控抛光机磨刀磨头采用步进电机,PLC编程控制系统;可自动调节粗磨、精磨次数,磨刀精度高;砂轮自动进给、可记忆、储存、可动态跟随,操作便捷,自动化程度高,在同类磨刀机中自动化程度更高,很大提高了工作效率。研磨抛光机气动式比较安全,但需要气源。双面研磨机供货价格研磨抛光机选购注意:不锈钢抛光机选购应遵循的原则: 不锈钢抛光机技术具有许多宝贵的特点。但是,具体到某个产品到底是...
研磨抛光机适用范围:适用于各种类型的3 C电子产品及配套产品,包括手机中框、后盖、电池盖、平板电脑。适用于塑料,铝合金,不锈钢,陶瓷,玻璃,钛合金和其它硬/脆材料的表面处理。函数特性:使用数控五轴联动原理,配有4个四面磨盘,20个打磨头,通过 UG编程,可同时对5个产品的3D面/边/面进行粗/中/细/精一条龙打磨。叠抛机台面为4组工位,每工位可叠装9~10个产品,一次同时对产品侧面打磨36~40个,质量稳定,效率更高。函数概述:整台机器采用数控系统,五轴联动运动仿形。精确度高,伺服电机驱动能力强,插补精度高,响应速度快。将产品按其自身轮廓作仿形移动。消耗品将产品抛光和打磨。经循环加工,使产品的...
数控研磨抛光机如何实现自动换砂纸?研磨抛光自动化提高的方向分为向上和向下:向上为来料的自动化;向下为下料的自动化;来料可考虑输送线、机械手、工作站配合即可;在打磨抛光的工序中,不管是人工还是机械设备都需要用到砂纸,而砂纸作为一个必不可少的易耗品,需要经常更换,人工打磨人工换没什么。可是,若采用机械打磨还需要人工进行更换的话就严重影响工作效率,对自动化程度也有较大的影响!故,将更换砂纸这一动作实现自动化,是很有必要的!双面精密研磨抛光机可以实现对于加工后的粗糙硅表面进行减薄、平坦化以及二次平整的工艺步骤。全自动研磨抛光机哪家好研磨抛光机自动抛光,圆盘抛光机主要由一个圆盘、抛光立柱(抛光立柱的数量...
研磨抛光机中手提式抛光机,抛光机由机身、工作辊、摆架供料辊、毛刷辊、吸尘系统及电气控制部分组成。工作辊有三只,即抛光辊、磨革辊和绒布辊,分别配用毡辊、橡胶辊和钢辊作供料辊,使得机器既能更抛,又可软抛。其中,磨革辊带有横向振摆机构,在旋转磨削的同时又沿其辊轴向做55次/min的往复滑动,以使磨削细密。抛光辊主要有两种,以人造玛瑙制成的自辊中间分向的双向螺旋槽辊,用特制布料制成圆片状,由辊两湍压盖压紧制成螺旋状布辊,或者用毛毡卷裹制成表面无螺旋的毡辊,也可用表面似天鹅绒般柔软的纸或布卷裹制成光面纸(布)辊,。它们可分别用于不同皮革产品及不同工序的抛光。研磨抛光机是电子与通信技术领域的。双盘研磨抛光...
研磨抛光机利用固着磨料研磨的这一特点,根据工件磨具间的相对运动轨迹密度分布,合理地设计磨具上磨料密度分布,以使磨具在研磨过程中所出现的磨损不影响磨具面型精度,从而明显提高工件的面型精度,并且避免修整磨具的麻烦。在平面固着磨料研磨中,磨具的旋转运动是主运动,工件的运动是辅助运动。在大部分情况下,工件是浮动压在磨具上,其运动规律是未知的。因此,要对工件受力进行分析,才能求出其受力状态及运动规律。取工件为整个研磨系统的分离体,建立工件受力平衡微分方程,求解该方程就能得到工件的运动规律。研磨抛光机机型的转速可以调节,适合专业美容护理人员使用。高速离心研磨抛光机供应价格研磨抛光机中,市场上可见的超声波抛...
研磨抛光机采用无级调速系统控制,可轻易调整出适合研磨各种部件的研磨速度。采用电—气比例阀闭环反馈压力控制,可单独调控压力装置。上盘设置缓降功能,有效的防止薄脆工件的破碎。通过一个时间继电器和一个研磨计数器,可按加工要求准确设置和控制研磨时间和研磨圈数。工作时可调整压力模式,达到研磨设定的时间或圈速时就会自动停机报警提示,实现半自动化操作。变速控制方法,研磨加工有三个阶段,即开始阶段、正式阶段和结束阶段,开始阶段磨具升速旋转,正式阶段磨具恒速旋转,结束阶段磨具降速旋转,其特征在于,在研磨加工开始阶段,人为控制磨具转速的加速度从零由慢到快地增大,当磨具转速升到正式研磨速度的一半时,加速度的变化出现...
自动研磨抛光机分类:通用机型和自用机型不好区分。彼此都带有一定的通用性和自用性。如平面自动抛光机。在制作时,如果根据具体物件非标定做。那么就只能抛光平面物件。大家都知道,物件大小有不同。出厂时,自动抛光机工作台面就已经固定。要处理多种物件将受到现在。因此工程师在设计时,均要考虑自动抛光机的通用性。一般都是按更大物件尺寸设计。或者设计为多功能型自动抛光机。自动精抛机,全自动抛光机为自动精抛机的一种,是为金属抛光自动化而研制,利用布轮抛光,主要应用于包括卫浴产品、仪表产品、汽摩配在内的各种有色金属产品抛光。采用高性能PLC、人机界面,以节省人工成本而提高效率。符合CE标准及环保要求。研磨抛光机的转...
研磨抛光机中,钢领抛光机是针对棉纺钢领设计的自用抛光机,是纺纱行业修复钢令不可缺少的一种重要辅助设备,不但可以稳定和提高纺纱的质量,而且还可以延长钢领的使用寿命,从而降低纺纱成本。新型 新型钢领抛光机主要用于钢领生产厂家及棉纺企业,对于棉纺厂废旧钢领修复具有重大经经济效益。钢令达到一定使用周期后,钢领内外跑道会形成波浪纹,划伤以及金属焙、锈斑结等原因,导致钢丝圈的摩擦系数不稳定,张力增大,气圈变大,毛纱严重,短头严重等,这种钢领叫“衰退钢领”,经过详细检测表明,这种“衰退钢领”的内跑道几何形态无明显变化,经抛光后可恢复到新钢领状态,毛纱明显降低,断头明显减少,在众多纺纱厂使用反应上车效果非常理...
研磨抛光机中手提式抛光机,抛光机由机身、工作辊、摆架供料辊、毛刷辊、吸尘系统及电气控制部分组成。工作辊有三只,即抛光辊、磨革辊和绒布辊,分别配用毡辊、橡胶辊和钢辊作供料辊,使得机器既能更抛,又可软抛。其中,磨革辊带有横向振摆机构,在旋转磨削的同时又沿其辊轴向做55次/min的往复滑动,以使磨削细密。抛光辊主要有两种,以人造玛瑙制成的自辊中间分向的双向螺旋槽辊,用特制布料制成圆片状,由辊两湍压盖压紧制成螺旋状布辊,或者用毛毡卷裹制成表面无螺旋的毡辊,也可用表面似天鹅绒般柔软的纸或布卷裹制成光面纸(布)辊,。它们可分别用于不同皮革产品及不同工序的抛光。自动研磨抛光机三轴更小指令单位、更小驱动单位均...
研磨抛光机也称为研磨机,常常用作机械式研磨、抛光及打蜡。其工作原理是:电动机带动安装在研磨抛光机上的海绵或羊毛抛光盘高速旋转,由于抛光盘和抛光剂共同作用并与待抛表面进行摩擦,进而可达到去除漆面污染、氧化层、浅痕的目的。抛光盘的转速一般在1500-3000 r/min,多为无级变速,施工时可根据需要随时调整。其分类:(1)按动力来源有气动和电动两种。气动式比较安全,但需要气源;电动式容易解决电源问题,但一定要注意用电安全。(2)按功能分有双功能工业用磨砂/研磨抛光机和简易型研磨抛光机两种。双功能工业用磨砂研磨抛光机能安上砂轮打磨金属材料,又能换上抛光盘做车漆护埋。此机较重,为2-3 kg,但工作...
研磨抛光机中叶片抛光机叶片在加工过程中,由于各种原因,可能会导致叶片余量不均匀,甚至在一件工件上出现余量过厚、过薄的现象,如果用常规的机械进行抛磨,对操作者的人身安全造成危害。叶片抛光机,其组成包括五轴传动机床,所述的五轴传动机床上装有C轴伺服电机和动力头旋转轴,所述的动力头旋转轴5的两端装在支撑上,所述的支撑与动力头相连,所述的动力头上具有支架,所述的支架上固定有砂带电机和驱动转轴,所述的砂带电机的电机轴上装有砂带,所述的砂带上装有球面带轮。该产品用于叶片抛光。精密研磨抛光机是一种用于环境科学技术及资源科学技术领域的仪器。上海水晶研磨机自动研磨抛光机电解液维护:过滤罐添加水或酒精时,必需先熄...
自动研磨抛光机适用性:自动抛光机适用于以下行业:几乎所有需要表面处理的行业都需要自动抛光机。如木材、家具行业如平木板、家具金属拉手等工件砂光拉丝;五金(金属)材料及制品铝型材及其制品、不锈钢制品及器皿、铜型材及制品、水暖卫浴器材、锁类、灯饰制品、标牌铭牌、五金工艺饰品、刀剪类、门的合页、汽车自行车零配件、餐具类、韪扣类制品、钮扣、皮带扣、手机外壳、钟表行业等工件砂光拉丝;电子零件、电子器材如电子零件、平板砂光拉丝等。五金厂,电子厂,五金塑胶厂,五金家俱厂,工艺品厂,装饰五金厂,建筑五金厂,抛光厂,氧化厂,电镀厂,金属制品厂,铝制品厂,铜制品厂,石油化工行业等等。研磨抛光机是电子与通信技术领域的...
双面精密研磨抛光机是一种用于机械工程、动力与电气工程、电子与通信技术、航空、航天科学技术领域的工艺试验仪器,于2019年12月10日启用。可处理待磨抛材料的要求:可以满足4英寸及4英寸以下、厚度为50um到15mm之间的纯硅片、纯玻璃片、纯无氧铜片的圆片、带胶、及有中空结构的器件的减薄及抛光工艺要求;减薄后样品总厚度偏差(TTV):小于±2 μm 4英寸;粗糙度:精抛后表面粗糙度Ra小于5 nm;厚度在线监测,测试精度优于2μm。双面精密研磨抛光机可以对硅、氧化硅材料进行减薄以及抛光处理。实现对于加工后的粗糙硅表面进行减薄、平坦化以及二次平整的工艺步骤,以保证后续硅硅键合或者光刻工艺的顺利进行...
研磨抛光机中,平面抛光机的特点:1.采用间隔式自动喷液装置,可自由设定喷液间隔时间。2.工件加压采用气缸加压的方式,压力可调;抛光后工件表面光亮度高、无划伤、无料纹、无麻点、不塌边、平面度高等特点。抛光后工件表面粗糙度可达到Ra0.0002;平面度可控制在±0.002mm范围内。3.采用PLC程控系统,触摸屏操作面板,研磨盘转速与定时可直接在触摸屏上输入。4.只适应对工件的平面进行抛光处理。通用参数及方式:1.工作台宽:600mm;2.前后往复磨抛道次(或时间):1-999道/次(1-999秒),任意设置。3.抛轮:⑴转速:1800rpm;⑵外径:¢180~280mm,标配:¢220mm;⑶长...
研磨抛光机自动抛光,模具抛光机采用进口大功率器件,功率比同类产品提升30%。微电脑控制的谐振频率自动寻找和锁定功能;数控九段振动大小和放电间隙跟随适应功能。模具抛光机适用范围:各种模具(包括硬质合金模具)的复杂型腔、窄槽狭缝、盲孔等粗糙表面至镜面的整形抛光。可抛光各种金属、玻璃、玉石、玛瑙等。由微电脑精确产生五档火花脉冲和九十九段花纹及强化脉冲,在花纹状态能逼真地模拟出从亚光至很粗的电火花花纹;强化状态能将碳化钨等具有高耐磨性能的材料转移镀覆到工件的工作表面,从而很大延长工件的使用寿命;由于改进了声波输出电路,使机器非常适合于用纤维油石和金刚石锉刀作粗糙表面的振动研磨;增加了具有人工智能的真人...
研磨抛光机的主要附件:抛光机的主要附件是抛光盘。抛光盘安装在抛光机上,与研磨剂或抛光剂共同作用完成研磨\抛光作业。抛光盘的分类:按抛光盘与抛光机的连接方式可分为以下三种:螺栓盘:适用于带有螺栓接头的抛光机。螺母盘:适用于带有螺母接头的抛光机。吸盘:适用于带有吸盘的抛光机。即抛光机的机头用螺钉固定有一个硬质塑料聚酯底盘(又称托盘),底盘的工作面可粘住带有尼龙易粘平面的物体,这样就可以根据需要选择各种吸盘式的抛光盘,只需将此种抛光盘贴在底盘上即可,使用起来极为方便。研磨抛光机半导体光电子和微电子器件减薄抛光的必备工具。球面研磨抛光机直销研磨抛光机以独特的方式对待工件去毛刺抛光清洗,有许多机械设备用...
研磨抛光机高质量抛光的要点:磁力抛光机的重要作用是什么?能够做到以下几点的抛光机才能被称得上是高质量的抛光,磁力抛光机一机足矣;工件表面抛光、抛亮、光滑,去毛刺、飞边、批锋、毛边,去氧化膜,去烧结痕迹、恢复金属本色,洗清、去金属加工屑、渣,锋边倒圆滑角,优化表面电镀、电焊,金属表面脱漆,磁力研磨/磁力抛光没有死角,让所有部位完全研磨;精密小型异形零部件、不规则状零件:去除毛刺(毛边、批锋)、抛光、清洗、倒角、增强面表硬度等研磨同时完成;磨材更小尺寸ф0.2mm*3mm 金属零件的孔内、管内、夹缝、死角、直角、螺牙等不规则部位精密研磨。研磨抛光机中模具抛光机采用进口大功率器件。精密研磨抛光机厂家...
研磨抛光机中两工位抛光机,两工位抛光机,它包括机架、抛光轮盘、动力装置;抛光轮盘设置在机架上,抛光轮盘由动力装置带动;抛光轮盘的盘面包括外层纤维织物;抛光机具有两个抛光轮盘,两个抛光轮盘分别为平轮盘和凸轮盘。本实用新型抛光机具有平轮盘和凸轮盘,使用者可方便地频繁交替使用平轮盘和凸轮盘对制品表面的平面、凸面、凹面进行人工抛光,工作效率高。薄壁件抛光机,薄壁件抛光机,按照动力与控制的传递关系,它由电机驱动机构、曲柄传动机构、往复运动导杆机构、薄壁件夹、薄壁件夹紧抛光机构、配电箱等构成。薄壁件位置微调机构自动微调薄壁件空间位置使其按模具型面和具体加工路径的要求控制位移路径。本实用新型优点是很大提高了...
自动研磨抛光机特点在于:1. 采用了双组操作程序,同时可以精抛一种、两种或四种不同的工件,设备程序可以自动切换。2. 采用了角度精抛程序,通过编程,设定精抛角度,对工件复杂的部位加强精抛的力度。3. 采用了转盘式四工位操作平台,能够同时精抛4个以上的工件,夹具简单、造价低、更换方便,更加适合多系统、多品种的生产模式。4. 采用了嵌入式的精抛方式,可以对工件进行大范围的精抛。5. 粗抛300砂后,就可直接精抛,减少了粗抛工序及费用。6. 设备适合多种金属材料工件的精抛(铜、铝、锌合金、不锈钢等)。7. 设备适合多种形状工件的精抛(各种水龙头壳体、把手、手轮、圆管、各种装饰件)。研磨抛光机是一种用...
自动研磨抛光机电解液维护:过滤罐添加水或酒精时,必需先熄灭焊gun的火,然后利用焊gun口排出机器内部的剩余气体,在确定抛光机内的气体完全排放出后才可拧开过滤罐进行操作。过滤罐内的水或酒精不能超过罐体容积的1/2,如果添加过多,可能把过滤罐内的水或酒精带入导气管、焊gun内,影响焊机的正常使用。胶管内如有积水会导致火焰变黄,应及时排出检查胶管连接处不得漏气。 机器上面不要放置任何金属物品和液体,以免发生短路和其他安全问题。调试和更换电解液时,请做好安全防护。电解液无毒,但有腐蚀性,对皮肤和眼睛有灼伤力,若不慎触及,立即用清水冲洗或送医院救治。本机器控制电路采用全封闭设计不要私拆。研磨抛光机精抛...
研磨抛光机也称为研磨机,常常用作机械式研磨、抛光及打蜡。其工作原理是:电动机带动安装在研磨抛光机上的海绵或羊毛抛光盘高速旋转,由于抛光盘和抛光剂共同作用并与待抛表面进行摩擦,进而可达到去除漆面污染、氧化层、浅痕的目的。抛光盘的转速一般在1500-3000 r/min,多为无级变速,施工时可根据需要随时调整。其分类:(1)按动力来源有气动和电动两种。气动式比较安全,但需要气源;电动式容易解决电源问题,但一定要注意用电安全。(2)按功能分有双功能工业用磨砂/研磨抛光机和简易型研磨抛光机两种。双功能工业用磨砂研磨抛光机能安上砂轮打磨金属材料,又能换上抛光盘做车漆护埋。此机较重,为2-3 kg,但工作...
自动研磨抛光机电解液维护:过滤罐添加水或酒精时,必需先熄灭焊gun的火,然后利用焊gun口排出机器内部的剩余气体,在确定抛光机内的气体完全排放出后才可拧开过滤罐进行操作。过滤罐内的水或酒精不能超过罐体容积的1/2,如果添加过多,可能把过滤罐内的水或酒精带入导气管、焊gun内,影响焊机的正常使用。胶管内如有积水会导致火焰变黄,应及时排出检查胶管连接处不得漏气。 机器上面不要放置任何金属物品和液体,以免发生短路和其他安全问题。调试和更换电解液时,请做好安全防护。电解液无毒,但有腐蚀性,对皮肤和眼睛有灼伤力,若不慎触及,立即用清水冲洗或送医院救治。本机器控制电路采用全封闭设计不要私拆。研磨抛光机机型...
研磨抛光机研磨是超精密加工中一种重要加工方法,其优点是加工精度高,加工材料范围广。但传统研磨存在加工效率低、加工成本高、加工精度和加工质量不稳定等缺点,这使得传统研磨应用受到了一定限制。本项目解决了传统研磨存在的绝大部分缺点,提高了研磨技术水平,在保证研磨加工精度和加工质量(达到了纳米级)的同时,还明显降低加工成本,提高加工效率,使研磨技术进一步实用化,有利于研磨技术的推广应用,促进了中国精密加工技术、先进制造技术的进步,增强中国在加工制造领域的竞争实力,特别是对振兴东北老工基地具有十分重要的现实意义。研磨抛光机前者要求使用较粗的磨料,以保证有较大的抛光速率来去除磨光的损伤层。高精度研磨抛光机...
研磨抛光机研磨是超精密加工中一种重要加工方法,其优点是加工精度高,加工材料范围广。但传统研磨存在加工效率低、加工成本高、加工精度和加工质量不稳定等缺点,这使得传统研磨应用受到了一定限制。本项目解决了传统研磨存在的绝大部分缺点,提高了研磨技术水平,在保证研磨加工精度和加工质量(达到了纳米级)的同时,还明显降低加工成本,提高加工效率,使研磨技术进一步实用化,有利于研磨技术的推广应用,促进了中国精密加工技术、先进制造技术的进步,增强中国在加工制造领域的竞争实力,特别是对振兴东北老工基地具有十分重要的现实意义。研磨抛光机其切削力较羊毛抛光盘弱,不会留下旋纹,能有效去除中度漆面的瑕疵。卧式研磨机供应报价...
自动研磨抛光机特点在于:1. 采用了双组操作程序,同时可以精抛一种、两种或四种不同的工件,设备程序可以自动切换。2. 采用了角度精抛程序,通过编程,设定精抛角度,对工件复杂的部位加强精抛的力度。3. 采用了转盘式四工位操作平台,能够同时精抛4个以上的工件,夹具简单、造价低、更换方便,更加适合多系统、多品种的生产模式。4. 采用了嵌入式的精抛方式,可以对工件进行大范围的精抛。5. 粗抛300砂后,就可直接精抛,减少了粗抛工序及费用。6. 设备适合多种金属材料工件的精抛(铜、铝、锌合金、不锈钢等)。7. 设备适合多种形状工件的精抛(各种水龙头壳体、把手、手轮、圆管、各种装饰件)。自动研磨抛光机主轴...
研磨抛光机中,平面抛光机的特点:1.采用间隔式自动喷液装置,可自由设定喷液间隔时间。2.工件加压采用气缸加压的方式,压力可调;抛光后工件表面光亮度高、无划伤、无料纹、无麻点、不塌边、平面度高等特点。抛光后工件表面粗糙度可达到Ra0.0002;平面度可控制在±0.002mm范围内。3.采用PLC程控系统,触摸屏操作面板,研磨盘转速与定时可直接在触摸屏上输入。4.只适应对工件的平面进行抛光处理。通用参数及方式:1.工作台宽:600mm;2.前后往复磨抛道次(或时间):1-999道/次(1-999秒),任意设置。3.抛轮:⑴转速:1800rpm;⑵外径:¢180~280mm,标配:¢220mm;⑶长...
双面精密研磨抛光机是一种用于机械工程、动力与电气工程、电子与通信技术、航空、航天科学技术领域的工艺试验仪器,于2019年12月10日启用。可处理待磨抛材料的要求:可以满足4英寸及4英寸以下、厚度为50um到15mm之间的纯硅片、纯玻璃片、纯无氧铜片的圆片、带胶、及有中空结构的器件的减薄及抛光工艺要求;减薄后样品总厚度偏差(TTV):小于±2 μm 4英寸;粗糙度:精抛后表面粗糙度Ra小于5 nm;厚度在线监测,测试精度优于2μm。双面精密研磨抛光机可以对硅、氧化硅材料进行减薄以及抛光处理。实现对于加工后的粗糙硅表面进行减薄、平坦化以及二次平整的工艺步骤,以保证后续硅硅键合或者光刻工艺的顺利进行...