在PCB行业中会产生大量微蚀液、蚀刻液、硝酸铜等含有不同浓度的重金属废水,如果不进行处理就直接排放一方面造成资源的严重浪费,另一方面还会严重影响我们环境和自身健康! 以前对于这些废液的处理方法是通过投加大量的药剂实现的,但是传统的加化学药剂,操作成本高,且造成大量铜污泥产生及排放废水导电度过高(溶解性盐类造成),导致废水回用难度加大或者根本无法回收使用的后续问题。因此现在一般都是使用提取再生的方式,蚀刻液提取再生的方法有酸性、碱性两大系统,可将大量的废蚀刻液提取再生成为新的蚀刻液。从而减少生产废液的排放,回用降低生产成本,且可提取出高纯度电解金属铜。 酸性蚀刻生产线——废液收集槽——中间储...
为了能在阴极板23单侧表面上形成均匀分布且厚度一致的铜,以便于后续的剥离,本实施例在该电解槽21两端内侧分别形成有供阴极板23端部由上至下插入的两个纵向条形插槽211,且该两个纵向条形插槽211分布于电解槽21端部的两侧边上,该阴极板23两端插入纵向条形插槽211中之后,该阴极板23外侧面与电解槽21内壁相靠近,且接近于贴合,推荐的,阴极板23外侧面与电解槽21内壁接触贴紧时为佳的状态,则此时阴极板23外侧面与电解槽21内壁之间无缝隙。由于阴极板23端部插入到了纵向条形插槽211中,则阴极板23端部表面与纵向条形插槽211内壁之间几乎没有缝隙,同时,阴极板23外侧面与电解槽21内壁之间...
蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wetetching)和干蚀刻(dryetching)两类。湿蚀刻就是利用合适的化学溶液腐蚀去除材质上未被光阻覆盖(感光膜)的部分,达到一定的雕刻深度。蚀刻精度高,则可以完成精度要求更高的精细零件的加工,扩大蚀刻应用的范围。目前已经使用的蚀刻液类型有六种类型:酸性氯化铜,碱性氯化铜,氯化铁,过硫酸铵,硫酸/铬酸,硫酸/双氧水蚀刻液。常用的化学药水,硝酸、氢氟酸等。苏州博洋化学股份有限公司专业从事化学产品研究、开发、生产和经营的****。山东如何发展BOE蚀刻液厂家现货PCB行业制作工序中产生大量微...
苏州博洋化学股份有限公司研发中心拥有先进的科研、生产和检测设备,专业的研发团队。致力于电子领域环保、节能、环境友好化学品的研究开发;并根据客户的个性化需求量身定做整套解决方案,力求客户100%满意。公司以苏州大学、苏州科技大学、上海交通大学等高校研发队伍为依托,对新技术、新设备的研究进行精细化管理,以达“技术求新,产品求精”,开发能够提升人类生活品质的新型电子产品配套材料为目标,把公司建成国内前列和国际前列的新型电子化学品材料专业制造企业。BOE蚀刻液的生产厂家。江西什么是BOE蚀刻液价格蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wetetc...
酸性蚀刻液是什么?对于蚀刻液用法的理解,我们可以用个比较通俗的说法,那就是使用具有腐蚀性的一些化学材料对某种物品进行腐蚀,将不需要的部分腐蚀掉,从而将其雕刻成所需要的目标物品的过程。那这个具有腐蚀性的化学材料,就称为蚀刻液了。那专业的蚀刻液解释又是什么呢?蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体,是一种铜版画雕刻用原料。从理论上讲,凡能氧化钢而生成可溶性铜盐的试剂,都可以用来蚀刻敷铜箔板,但是蚀刻液用途要权衡对抗蚀层的破坏情况、蚀刻速度,溶液再生及铜的回收、环境保护及经济效果等各方面的影响因素选择合适的试剂。苏州博洋化学股份有限公司,蚀刻液专业生产商。江苏了解BOE蚀刻液私人定做酸性蚀刻...
线路板制造流程中的蚀刻工序,是线路板制造的一道重要工序,此工序过程中产生的废液是一种高含铜量的废液(含铜110-160克/升)。对此蚀刻废液,传统的做法是由当地有资质的回收公司把废液拉走,然后使用化学方法(中和法或置换法)回收废液内的铜做成海绵铜或硫酸铜。这些方法工艺落后,铜回收不彻底,处理的经济效益不明显,提完铜后的废液直接外排,造成“二次污染”,对当地水体生态系统造成较大破坏。因此,市面上出现了众多的蚀刻液铜回收系统,采用电解的方式获得阴极铜板,虽然对铜回收有了进一步的成效,但依然存在以下几点不足:(1)阴极铜板表面易被氧化,发黑,纯度低;(2)阴极板上四周都会长铜,且铜分布不...
BOYANGCHEMICALwasestablishedin1999,thecompanyislocatedinthehigh-tech–zoneXUGUANINDUSTRAINPARK.BOYANGCHEMICALisalarge-scalechemicalcompanywithR&D,productionandsalesprovidingprofesstionalchemicalsolutionsforapplicationsinthefollowingindustries:advancedsemiconductorpackagingandtesting,TFT,LED,FPDflat...
Cu2+的蚀刻作用由次要地位而跃居主要地位,此时蚀刻速率慢,即应考虑蚀刻液的更新。一般工厂很少分析和测定蚀刻液中的含铜量,多以蚀刻时间和蚀刻质量来确定蚀刻液的再生与更新。蚀刻铜箔的同时,还伴有一些副反应,就是CuCl2和FeCl3的水解反应:FeCl3+3H2O→Fe(OH)3↓+3HClCuCl2+2H2O→Cu(OH)2↓+2HCl生成的氢氧化物很不稳定,受热后易分解:2Fe(OH)3→Fe2O3↓+3H2OCu(OH)2→CuO↓+H2O结果生成了红色的氧化铁和黑色的氧化铜微粒,悬浮于蚀刻液中,对抗蚀层有一定的破坏作用。2.影响蚀刻速率的因素Fe3+的浓度和蚀刻液的温度蚀刻液温度...
铝蚀刻液生产设备,包括混合罐、过滤器和数个小型的储存罐,混合罐通过液管与过滤器连接,过滤器的出液口处安装有气动升降式出液管,每个储存罐的进液口和出液口中安装有一只单向液动阀,过滤器的出液管自动下行插入储存罐的进液口中,将过滤后的铝蚀刻液注入储存罐内暂存。请参阅图1,储存罐10固定在一辆液压升降式拖车20的顶部,在过滤器的下方设置地磅30,载有空储存罐的拖车置于地磅上方,过滤器的出液管自动下行插入储存罐的进液口中,当地磅所测得的重量达到系统预设重量时,过滤器的出液管自动上行离开储存罐。将装满的储存罐从铝蚀刻液生产车间移动至自动灌装车间中,将灌装头的快速接头插入储存罐的出液口中便可将储存罐...
苏州博洋化学股份有限公司成立于1999年,公司座落于苏州市高新区化工工业园,是一家集研发、生产、销售为一体的大型精细化工企业,主要为先进半导体封装测试、TFT、FPD平板显示、LED、晶体硅太阳能、PCB等行业提供专业的化学品解决方案。努力构建面向未来的创新型和学习型企业。博洋股份于2015年11月在全国中小企业股份转让系统成功挂牌。(证券代码:834329)公司研发中心拥有先进的理化分析、应用测试仪器以及一支以本科、硕士、博士为主的多层次研发团队,致力于超净高纯、功能性微电子化学品的研究开发;并根据客户的个性化需求量身定制整套化学品解决方案,力求持续的为客户创造价值。博洋除拥有完善的自主研发...
酸性蚀刻液是什么?对于蚀刻液用法的理解,我们可以用个比较通俗的说法,那就是使用具有腐蚀性的一些化学材料对某种物品进行腐蚀,将不需要的部分腐蚀掉,从而将其雕刻成所需要的目标物品的过程。那这个具有腐蚀性的化学材料,就称为蚀刻液了。那专业的蚀刻液解释又是什么呢?蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体,是一种铜版画雕刻用原料。从理论上讲,凡能氧化钢而生成可溶性铜盐的试剂,都可以用来蚀刻敷铜箔板,但是蚀刻液用途要权衡对抗蚀层的破坏情况、蚀刻速度,溶液再生及铜的回收、环境保护及经济效果等各方面的影响因素选择合适的试剂。蚀刻液一般分为酸性蚀刻液和碱性蚀刻液两种。酸性蚀刻液主要成分氯化铜、盐酸...
一种蚀刻液,其特征在于,用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛,并且含有:选自由硫酸、盐酸及三氯乙酸所组成的群组中的至少一种酸;以及选自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所组成的群组中的至少一种有机硫化合物。 根据要求所述硫酮系化合物为选自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所组成的群组中的至少一种。硫醚系化合物为选自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所组成的群组中的至少一种。进一步含有α-羟基羧酸和/ 或α-羟基羧酸的盐。所述α-羟基羧酸为选自由酒石酸、苹果酸、柠檬酸、乳酸及甘油酸所组成的群组中的至少一种。酸的浓度为20重量%至70重量%;所述有机硫化合物的浓度为0.01重量%至10重量%。α-羟基羧酸和...
硝酸是一种强氧化性、腐蚀性的强酸。硝酸易溶于水,常温下其溶液无色透明。其不同浓度水溶液性质有别,市售浓硝酸为恒沸混合物,质量分数为69.2%(约16mol/L),质量分数足够大(市售浓度为95%以上)的,称为发烟硝酸。硝酸易见光分解,应在棕色瓶中于阴暗处避光保存,也可保存在磨砂外层塑料瓶中(不太建议),严禁与还原剂接触。化学式是HNO3,浓硝酸与浓盐酸按体积比1:3混合可以制成具有强腐蚀性的王水。硝酸的酸酐是五氧化二氮(N2O5)。苏州博洋化学股份有限公司,BOE蚀刻液。湖南无机BOE蚀刻液溶剂蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet...
蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wetetching)和干蚀刻(dryetching)两类。湿蚀刻就是利用合适的化学溶液腐蚀去除材质上未被光阻覆盖(感光膜)的部分,达到一定的雕刻深度。蚀刻精度高,则可以完成精度要求更高的精细零件的加工,扩大蚀刻应用的范围。目前已经使用的蚀刻液类型有六种类型:酸性氯化铜,碱性氯化铜,氯化铁,过硫酸铵,硫酸/铬酸,硫酸/双氧水蚀刻液。常用的化学药水,硝酸、氢氟酸等。苏州博洋生产BOE蚀刻液。湖南了解BOE蚀刻液推荐厂家酸性蚀刻是制造印刷电路板过程中必不可少的工序,酸性蚀刻工序利用酸性蚀刻液在蚀刻机内完成...
这两种体系再生设备设备不仅可以节省约30%的物料成本,还降低废水处理成本,且可以电解出金属铜。二、蚀刻液再生循环系统在电子线路版(PCB)蚀刻过程中,蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到比较好的蚀刻效果,每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐(NH4CI)及氨水(NH3)。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度比较好水平,蚀刻用过后的(以下称[用后蚀刻液])溶液需不断由添加的药剂所取缔。本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水,补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液,既可达到蚀刻工艺的要求,又可节省生产成本...
PCB行业制作工序中产生大量微蚀液、蚀刻液、硝酸铜等含有不同浓度的铜等金属,回收价值高,且外排废水中也会有少量的铜重金属存在,如不能合理的进行环保处理,一方面造成资源的严重浪费,另一方面重金属排放后渗入至土壤及水源之中,即会对我们赖以生存的自然环境及自身的健康产生严重的污染和危害。近年来随着环保意识的增强,法规对于印制电路板工厂排放废水的各项指标限制日趋严谨,因此,印制电路板产业废水处理为达到铜离子的稳定达标排放标准,均以大量加药的手段来获得解决。但传统的加化学药剂,操作成本高,且造成大量铜污泥产生及排放废水导电度过高(溶解性盐类造成),导致废水回用难度加大或者根本无法回收使用的后续问题。苏州...
蚀刻液一般分为酸性蚀刻液和碱性蚀刻液两种。酸性蚀刻液主要成分氯化铜、盐酸、氯化钠和氯化铵。它的机理是:,;酸性蚀刻液具有蚀刻速率易控制,蚀刻液在稳定状态下能达到高的蚀刻质量的特性;同时,它的溶铜量大;酸性蚀刻液也较容易再生与回收,从而减少污染。有研究表明,酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3,以硝酸为基础的蚀刻系统可以做到几乎没有侧蚀,达到蚀刻的线条侧壁接近垂直,其蚀刻效果非常好。结合以上特性,酸性蚀刻液一般用于多层印制板的内层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作。BOE蚀刻液就来苏州博洋化学股份有限公司。河南哪些新型BOE蚀刻液报价 铝蚀刻液生产设备,包括混合罐、过滤器和数...
蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻,其中,湿蚀刻是采用化学试剂,经由化学反应达到蚀刻的目的,薄膜场效应晶体管液晶显示器(tft~lcd)、发光二极管(led)、有机发光二极管(oled)等行业用作面板过程中铟锡氧化物半导体透明导电膜(ito)的蚀刻通常采用盐酸和硝酸的混合水溶液。现有的制备装置在进行制备时会发热反应,使得装置外壳稳定较高,工作人员直接接触有烫伤风险,热水与盐酸接触会产生较为剧烈的反应,溅出容易伤害工作人员,保护性不足,盐酸硝酸具有较强的腐蚀性,常规的搅拌装置容易被腐蚀,影响蚀刻液的质量,用防腐蚀的聚四氟乙烯搅拌浆进行搅拌,成本...
这两种体系再生设备设备不仅可以节省约30%的物料成本,还降低废水处理成本,且可以电解出金属铜。二、蚀刻液再生循环系统在电子线路版(PCB)蚀刻过程中,蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到比较好的蚀刻效果,每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐(NH4CI)及氨水(NH3)。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度比较好水平,蚀刻用过后的(以下称[用后蚀刻液])溶液需不断由添加的药剂所取缔。本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水,补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液,既可达到蚀刻工艺的要求,又可节省生产成本...
蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻,其中,湿蚀刻是采用化学试剂,经由化学反应达到蚀刻的目的,薄膜场效应晶体管液晶显示器(tft~lcd)、发光二极管(led)、有机发光二极管(oled)等行业用作面板过程中铟锡氧化物半导体透明导电膜(ito)的蚀刻通常采用盐酸和硝酸的混合水溶液。现有的制备装置在进行制备时会发热反应,使得装置外壳稳定较高,工作人员直接接触有烫伤风险,热水与盐酸接触会产生较为剧烈的反应,溅出容易伤害工作人员,保护性不足,盐酸硝酸具有较强的腐蚀性,常规的搅拌装置容易被腐蚀,影响蚀刻液的质量,用防腐蚀的聚四氟乙烯搅拌浆进行搅拌,成本...
硝酸是一种强氧化性、腐蚀性的强酸。硝酸易溶于水,常温下其溶液无色透明。其不同浓度水溶液性质有别,市售浓硝酸为恒沸混合物,质量分数为69.2%(约16mol/L),质量分数足够大(市售浓度为95%以上)的,称为发烟硝酸。硝酸易见光分解,应在棕色瓶中于阴暗处避光保存,也可保存在磨砂外层塑料瓶中(不太建议),严禁与还原剂接触。化学式是HNO3,浓硝酸与浓盐酸按体积比1:3混合可以制成具有强腐蚀性的王水。硝酸的酸酐是五氧化二氮(N2O5)。BOE蚀刻液就来苏州博洋化学股份有限公司。江苏技术密集BOE蚀刻液销售电话 微蚀液包括过硫酸钠/硫酸体系和双氧水/硫酸体系,在近几年的运用在PCB之表面处理制...
要做好蚀刻工艺的加工,首先要了解蚀刻工艺的形成,那么,如何做好蚀刻?产品的图案是如何形成的呢?或者是说是如何蚀上去的呢?其实是通过以下这几道工序来完成的。1、来料检验当接到客户需要加工的工件时,首先我们要经过检查,也就是我们目前IQC工序所要做的工作,把接到客户的加工工件抹干净,然后进行仔细检验,把来料中存在的不良品剔除出来,保证投入的产品是良品。2、静电除尘、喷感光油、检查当来料加工的工件经过IQC检验合格后,就交给下一道工序:喷感光油,但在喷感光油前一定要进行静电除尘,因为产品在生产过程和我们抹试的过程中,不同程度上会存在静电,而静电是可以吸付灰尘的,所以必须经过静电除尘,把静电去除后灰尘...
在电子线路版(PCB)蚀刻过程中,蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到比较好的蚀刻效果,每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐(NH4CI)及氨水(NH3)。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度比较好水平,蚀刻用过后的(以下称[用后蚀刻液])溶液需不断由添加的药剂所取缔。本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水,补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液,既可达到蚀刻工艺的要求,又可节省生产成本。蚀刻液再生循环系统有酸性、碱性两大系统,两大系统又可分为萃取法、直接电解法。可将大量原本需要排放的用后蚀刻液还原再...
蚀刻液一般分为酸性蚀刻液和碱性蚀刻液两种。酸性蚀刻液主要成分氯化铜、盐酸、氯化钠和氯化铵。它的机理是:,;酸性蚀刻液具有蚀刻速率易控制,蚀刻液在稳定状态下能达到高的蚀刻质量的特性;同时,它的溶铜量大;酸性蚀刻液也较容易再生与回收,从而减少污染。有研究表明,酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3,以硝酸为基础的蚀刻系统可以做到几乎没有侧蚀,达到蚀刻的线条侧壁接近垂直,其蚀刻效果非常好。结合以上特性,酸性蚀刻液一般用于多层印制板的内层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作。苏州博洋专业生产BOE蚀刻液欢迎询价。湖南了解BOE蚀刻液报价 线路板制造流程中的蚀刻工序,是线路板制造的一...
要做好蚀刻工艺的加工,首先要了解蚀刻工艺的形成,那么,如何做好蚀刻?产品的图案是如何形成的呢?或者是说是如何蚀上去的呢?其实是通过以下这几道工序来完成的。1、来料检验当接到客户需要加工的工件时,首先我们要经过检查,也就是我们目前IQC工序所要做的工作,把接到客户的加工工件抹干净,然后进行仔细检验,把来料中存在的不良品剔除出来,保证投入的产品是良品。2、静电除尘、喷感光油、检查当来料加工的工件经过IQC检验合格后,就交给下一道工序:喷感光油,但在喷感光油前一定要进行静电除尘,因为产品在生产过程和我们抹试的过程中,不同程度上会存在静电,而静电是可以吸付灰尘的,所以必须经过静电除尘,把静电去除后灰尘...
现阶段通常用于金属层蚀刻的铜酸蚀刻溶液主要成分为过氧化氢和一些添加剂;过氧化氢用于对金属进行氧化,而添加剂则主要将氧化物酸化成离子态,使其溶解于溶液中,并且维持蚀刻特性要求。由于过氧化氢同时具有氧化性和还原性,其可以将铜氧化,也可以被金属离子催化发生歧化分解反应,生成氧气。如果此反应速度过快,则会生热乃至引起等安全事故。与此同时,二价铜离子也具有一定的氧化性,当蚀刻时间较长,所述铜酸蚀刻溶液体系内的铜离子含量较高时,溶液的蚀刻特性会发生变化,以至于蚀刻达不到要求,所述铜酸蚀刻溶液不能够再进行蚀刻,即达到蚀刻寿命。基于以上两个方面,过氧化氢体系的铜酸蚀刻溶液寿命较低,一般为当铜酸溶液中铜...
根据权利要求1至3中任一项所述的蚀刻液,其特征在于,进一步含有α-羟基羧酸和/ 或α-羟基羧酸的盐。 根据权利要求4所述的蚀刻液,其特征在于,所述α-羟基羧酸为选自由酒石酸、苹果酸、柠檬酸、乳酸及甘油酸所组成的群组中的至少一种。 根据权利要求1至5中任一项所述的蚀刻液,其特征在于,所述酸的浓度为20重量%至70重量%;所述有机硫化合物的浓度为0.01重量%至10重量%。 根据权利要求4至6中任一项所述的蚀刻液,其特征在于,所述α-羟基羧酸和/或α-羟基羧酸的盐的浓度为0.2重量%至5重量%。BOE蚀刻液推荐苏州博洋化学股份有限公司。浙江电子级BOE蚀刻液 在PCB行业中会产生大量微蚀液、蚀刻...
废蚀刻液经过废蚀刻液铜分离循环机构后再经组分调配可供蚀刻机循环使用;氨水洗废液经过氨水洗废液铜分离循环机构后可供蚀刻机循环使用;反萃剂经过电解提铜循环机构电解分离铜后可再进入反萃循环机构中循环使用,该实用新型在整个处理过程物料实现闭路循环,没有废水废物排出,能有效回收铜和再生蚀刻液和氨水洗液,减少蚀刻工序的污水排放量,降低环保压力,但是该实用新型工序较为复杂。 技术实现要素: 本发明为了解决现有技术的问题,提供了一种PCB酸性蚀刻液提取铜的方法及装置,采用循环再生技术,既有利于环保,又能够回收铜,实现能源的有效利用。BOE蚀刻液如何配置,欢迎咨询。安徽如何分类BOE蚀刻液报价博洋股份拥有甲类、...
Cu2+的蚀刻作用由次要地位而跃居主要地位,此时蚀刻速率慢,即应考虑蚀刻液的更新。一般工厂很少分析和测定蚀刻液中的含铜量,多以蚀刻时间和蚀刻质量来确定蚀刻液的再生与更新。蚀刻铜箔的同时,还伴有一些副反应,就是CuCl2和FeCl3的水解反应:FeCl3+3H2O→Fe(OH)3↓+3HClCuCl2+2H2O→Cu(OH)2↓+2HCl生成的氢氧化物很不稳定,受热后易分解:2Fe(OH)3→Fe2O3↓+3H2OCu(OH)2→CuO↓+H2O结果生成了红色的氧化铁和黑色的氧化铜微粒,悬浮于蚀刻液中,对抗蚀层有一定的破坏作用。2.影响蚀刻速率的因素Fe3+的浓度和蚀刻液的温度蚀刻液温度...
这两种体系再生设备设备不仅可以节省约30%的物料成本,还降低废水处理成本,且可以电解出金属铜。二、蚀刻液再生循环系统在电子线路版(PCB)蚀刻过程中,蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到比较好的蚀刻效果,每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐(NH4CI)及氨水(NH3)。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度比较好水平,蚀刻用过后的(以下称[用后蚀刻液])溶液需不断由添加的药剂所取缔。本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水,补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液,既可达到蚀刻工艺的要求,又可节省生产成本...