光学平台的磨削是有极限的,这个加工的极限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,换算成平方米大约为:±0.03mm/m2,但这个平面度,同大理石平台的平面度相差甚远。大理石平台根据平面度指标一般分为:000级(平面度≤3μm/m2)、00级(平面度≤5μm/m2)、0级(平面度≤10μm/m2)。换句话说,平面度好的光学平台,同低等级的大理石平台相比,平面度还差数倍甚至一个数量级,所以若您需要高平面度的台面,强烈建议您选购大理石平台。光学平台光路的稳定性主要受桌面长轴方向上点对点的相对运动影响。Newport光学平台配件热稳定性的关键之处在于各轴方向上都具有对称、各向均匀的钢制结构...