探针台的作用是什么?探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电...
对于当今的多芯片(multi-die packages)封装,例如堆叠芯片级封装(SCSP)或系统级封装(SiP)–开发用于识别已知测试芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接触式(RF)探针对提...
手动探针台的使用方式:1.将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴...
对于当今的多芯片(multi-die packages)封装,例如堆叠芯片级封装(SCSP)或系统级封装(SiP)–开发用于识别已知测试芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接触式(RF)探针对提...
气垫式隔振支架是利用气垫的原理,将光学平台架在气垫上以达到隔振的效果。特点是:隔振效果好。但是造价较高,使用和维护繁琐。针对维护繁琐的情况又出现了自平衡(主动隔振)系统。原理是利用各种传感器提供的平台...
探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来,在进入后序工序前予以剔除,极大降低器件的制造成本。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。半导体测试可以按生产流程可以分为三类:验证测...
目前精密光学仪器产品种类繁多,是为了在重复测量过程中对产品的每一步光路进行精确计算,保证一切不可修改并可重复执行的数据上报数据,精密光学仪器的工作原理主要是通过光学仪器的光学原理实现的。光学仪器经受适...
安装高速照明板安装好高速照明板,垂直安装气浮光学平台顶部架子,并准备好对应的偏光镜可直接选择光线是否充足,偏光镜是否需要进行更换,发光二极管至需要注意光线是否充足。先说说发光二极管的安装说起发光二极管...
随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来,便于其电性测试设备(不属于本机...
密封平台显微镜设备用户应采取接触固定的方法并予以充分的保护,要确保加工面与玻璃的接触面积大于5mm,而不应是所有光学平台显微镜本身就不能再进行其他的玻璃保护处理。用户一方面要保护好产品,一方面要保证安...
在精密光学平台上对反射光的处理要在光路中检测对象的反射角度,检测不同光波波段光路中的反射率,用电学透镜图片来处理多光线路径的不同光路,建立角度矩阵、波长矩阵、光源矩阵等,确定光路系统中不同光路的光学模...
探针台工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作...
手动探针台:普遍应用于,科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段,批量不是很大的情况,大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能:搭配外接测试测半导体参数测试仪...
光学平台的隔振性能取决于台面本身和支架的隔振性能,总体上说,光学平台的隔振,通过三个方面来实现:隔振支架:通常来说,气浮式隔振支架性能优于阻尼式隔振支架,部分性能优异的隔振支架可以将外界振动(常见10...
有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养...
X系列探针台:1、基板采用铸件为基准进行设计,使运动的稳定性得到提升,底板的重量同样在隔震性能上得到提高。2、运动系统采用的是日系高刚性、高精密的导轨和丝杆;反馈检测系统采用的是0.1μm分辨率光栅尺...
探针台是用于检测每片晶圆上各个芯片电信号,保证半导体产品品质的重要检测设备。因为我们需要知道器件真正的性能,而不是封装以后的,虽然可以去嵌,但还是会引入一些误差和不确定性。因为我们需要确定哪些芯片是好...
光学平台很普遍使用的振动响应传递函数为柔量。在恒定(静态)力的情况下,柔量可以定义为线性或角度错位与所施加外力的比值。在动态变化力(振动)的情况下,柔量则可以定义为受激振幅(角度或线性错位)与振动力振...
固有频率,顾名思义,为系统本身发生的振动的频率。数值上来看,固有频率等于共振频率。考虑物块与弹性悬臂梁组成的系统,固有频率取决于两个因素——物块质量,以及充当弹簧的弹性悬臂梁的弹性系数。质量减小或弹性...
自动化加工过程:自动化加工系统平台和面包板的特殊之处是采用自动轨道机械哑光表面加工,比老旧的平台产品更加平滑、平整。这些平台经过改善的表面抛光处理后,表面平整度在1平方米(11平方英尺)内可达±0.1...
以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态,测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,表笔点到被测位置就显得无能为力...
晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。半导体工业对于晶...
光学平台从功能上分为固定式和可调式;被动或主动式。光学平台普遍应用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域,以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中...
振动恢复时间是某一点上开始振动到恢复到初始状态所需要的很短时间。若要缩短光学平台的振动恢复时间,通常有两个办法:增大弹簧的弹性系数k。对于阻尼隔振平台,可以换用材质较硬的阻尼材料;对于充气平台,可以适...
半导体设备的技术壁垒高。随着半导体行业的迅速发展,半导体产品的加工面积成倍缩小,复杂程度与日俱增,生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用光学、物理、化学等科学技术,具有技术壁垒高、制造难度大及研发投...
探针台的分类:探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台:手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台和卡盘、压盘、显...
重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤,而影响平面电机的步进精度及使用寿命,对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面,然后用脱脂棉球蘸煤油清洗,整个过程操作要十分地细心,不可...
X系列探针台:1、基板采用铸件为基准进行设计,使运动的稳定性得到提升,底板的重量同样在隔震性能上得到提高。2、运动系统采用的是日系高刚性、高精密的导轨和丝杆;反馈检测系统采用的是0.1μm分辨率光栅尺...
平面电机x-y步进工作台:平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-...
x-y工作台的维护与保养:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,x-y向工作台都是其很重心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或...