激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光具有强度较高、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪,主要是以迈克尔逊干涉仪为主...
激光干涉仪的主要特点:测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角。设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器。可选的无线遥控传感器比较长的控制距离可到25米。可测量速度、加速度、振动...
激光干涉仪发射单一频率光束,光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,Z后重新汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有变化时,激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的...
激光干涉仪以光波为载体,具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、比较高测速下分辨率高等特点,其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此,激光干涉仪普遍应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、...
激光干涉仪以干涉技术为关键,其光波可直接对米进行定义。激光干涉仪可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频...
为什么要用双频激光干涉仪?单频激光干涉仪是一种直流测量系统,存在较大的零漂;同时由于空气湍流,机床油雾,切削屑等会使光束发生偏移或波面扭曲,导致激光束强度发生变化,就有可能使光电信号低于计数器的触发电...
多功能激光干涉仪,适用于测量光脉冲、电脉冲、磁脉冲和超快变电场以及超短光脉冲信号的变化。它含有超短脉冲发射光源、双脉冲形成装置、扩束器、微分时间延迟器、聚焦系统、干涉系统、转换元件、干涉条纹和接收处理...
激光干涉仪引力波探测器要求激光束的横向剖面具有纯净的TEM00模式,即应该是基模厄米-高斯模式。因为高阶模式与干涉仪的不对称性相耦合,会使输出信号的对比度变差,而且高阶模式会使法布里-珀罗腔镜子表面光...
激光干涉仪的测试质量是由镜子本身和反冲质量组成的复合体。这个复合体是将镜子的一部分嵌在一个与其质量相等的反冲质量体内做成的。镜子和反冲质量两者的纵轴要重合,镜体的背面分布着四个永磁体做成的针,而相应的...
激光干涉仪组件:要测量线性轴的定位精度、重复定位精度和反向间隙等数据,需要使用激光测量系统的以下组件,主要有:XL激光头、三脚架和云台、XC环境补偿单元、空气温度传感器和材料温度传感器、线性测量光学镜...
激光干涉仪的主要特点:测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角。设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器。可选的无线遥控传感器比较长的控制距离可到25米。可测量速度、加速度、振动...