上海光谱共焦视觉检测传感器应用案例

什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。为了从这些环境干扰中解放出来，开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统，干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。原理：干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控，非接触测量，适用于易变形和不透明的材料较小厚度测量5µm。上海光谱共焦视觉检测传感器应用案例

速度传感器:是一种将非电量(如速度、压力)的变化转变为电量变化的传感器,适应于速度监测。3.加速度传感器:是一种能够测量加速力的电子设备,可应用在控制、手柄振动和摇晃、仪器仪表、汽车制动启动检测、地震检测、报警系统、玩具、结构物、环境监视、工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析,以及鼠标,高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上液位传感器:利用流体静力学原理测量液位,是压力传感器的一项重要应用,适用于石油化工、冶金、电力、制药、供排水、环保等系统和行业的各种介质的液位测量上海光谱共焦视觉检测传感器应用案例非接触式测量，一体化设计，3D轮廓扫描，多功能数据处理适用于各种材料的精确测量。

公司基于创新的技术开发了两个系列的产品：从0.1μm到100mm测量行程的点光谱共焦传感器、从1.8mm到45mm线长的不同测量行程的线光谱共焦传感器。这些高分辨率的非接触式传感器***运用于各种不同要求的高精密测量场合。从物体表面细微结构、形状及纹理粗糙度的测量分析，到工业环境下的在线质量检测、过程控制与逆向工程，及实验室研究场合的高精度设备，我们的光谱共焦传感器都成了众多客户不可或缺的选择。我们为全球各行业（可应用行业范围：玻璃、医疗、电子、半导体、汽车、航空航天、制表业…等）企业提供高性能的光谱共焦位移传感器。任何材料的物体，如金属、玻璃、陶瓷、半导体、塑料、织物等，我们的光谱共焦传感器都可轻松测量，而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求，无论什么颜色，物体表面是漫反射或者高光面，乃至于镜面都可以轻松测量。

光谱共焦位移传感器?外形尺寸测量?空气夹层测量?厚度(透明物体)测量?段差高度(非透明物体)测量?外形轮廓测量?表面型貌测量?表面粗糙度测量?表面微小划痕测量?三维测量?平面度测量优势??高分辨率，比较高可达纳米级??高精度，比较高可达16纳米??同轴光测量，相比较三角反射测量，无测量盲区??可以测量几乎所有材料的表面，不论是漫反射表面，或者是高光亮面，或者是透明物体表面??物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响，可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体??可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，用户的信赖之选，有需求可以来电咨询！

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，竭诚为您。上海光谱共焦视觉检测传感器应用案例

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半导体行业材料强国是科技强国的基础，第三代半导体材料扮演着愈发关键的角色，也正日益成为国际、国内科技和产业竞争的**领域之一。我国精密加工技术和配套能力进步迅速，已经具备开发并且逐步主导第三代半导体装备的能力。全国多地积极响应，促进地方产业转型升级。该微电子产业发展政策，针对第三代半导体企业购买IP、参与研发多项目晶圆等做出了详细的扶持说明。深圳正实施新一轮创新发展战略布局，机器人、无人驾驶、等新兴产业日新月异，坪山区将依托5G试点，建设第三代半导体产业集聚区。上海光谱共焦视觉检测传感器应用案例