福建3D 视觉测量传感器解决方案

应用范围：光谱共聚焦传感器既可用于工业环境中，也可用于生产过程中的在线检测以及实验室环境中的高精度仪器。他们主要涵盖以下内容：l微形貌（测量样品的形状和表面特征）l尺寸控制（测试制造产品的特定尺寸是否符合规格）l质量控制(制造产品缺陷的识别和特征描述）l粗糙度测量（测量样品表面的统计特征）l摩损度（表征机械或化学侵蚀）l厚度测量光谱共焦传感器完全符合涉及3D真实表面纹理的测量和分析的ISO25178标准。此外，此标准第601章节致力于非接触式表面测量，引用CCI作为***参考技术原理马波斯测量科技光谱共焦传感器获得众多用户的认可。福建3D 视觉测量传感器解决方案

光谱共焦位移传感器?外形尺寸测量?空气夹层测量?厚度(透明物体)测量?段差高度(非透明物体)测量?外形轮廓测量?表面型貌测量?表面粗糙度测量?表面微小划痕测量?三维测量?平面度测量优势??高分辨率，比较高可达纳米级??高精度，比较高可达16纳米??同轴光测量，相比较三角反射测量，无测量盲区??可以测量几乎所有材料的表面，不论是漫反射表面，或者是高光亮面，或者是透明物体表面??物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响，可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体??可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度辽宁2D 测量传感器价格马波斯测量科技的光谱共焦传感器值得放心。

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准

优势??非接触三维表面轮廓测量??噪音小，测量重复性好??纳米级分辨率：Z轴分辨率比较高可达0.1nm??测量的点云数多：一个面**多可以达到500万个点??点间距小，XY分辨率高??多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野??测量速度快，可实现在线测量技术特点1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下，波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中，干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同，根据光的波动性与同调性，所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同，各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，欢迎您的来电！

光谱共焦传感器可以测量几乎任何类型的材料（玻璃，陶瓷，塑料，半导体，金属，织物，纸张，皮革等）制成的样品。它们可以测量抛光表面（镜子，镜片，晶圆）以及粗糙表面。光斑尺寸、比较大采样斜率、工作距离和测量范围，分别是什么概念比较大采样斜率（M，简称MSS），是光轴和样品表面法线之间的比较大角度，在此角度条件下测量依然可行。MSS是测量点处的实际局部斜率，而非理论上“平均曲面”的斜率。此功能*对镜面(镜面状)表面有重要意义；对散射表面，比较大采样斜率更高。对于所有类型的采样，采集信号的强度都随着倾斜角度的增加而减小。光斑尺寸(Spotsize)，指光点的理论尺寸，即光斑的大小。工作距离(WorkingDistance)，光学笔前端到量程近端的距离。测量范围(MeasuringRange，简称MR)，0到比较大可量测值的区间范围。又叫测量行程。马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，欢迎新老客户来电！山西非接触式传感器厂家

用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。福建3D 视觉测量传感器解决方案

而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜，延长不同颜色光的焦点光晕范围，形成特殊放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长，就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜，返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上，小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱，也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强，在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面，需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅，可以根据反射光的波长，增强或减弱折射率。因此，CCD矩阵上的每一个位置，对应一个测量物体到探头的距离。福建3D 视觉测量传感器解决方案