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非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有想法的可以来电咨询！stil传感器品牌

什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。内蒙古3D 视觉测量传感器厂家光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，让您满意，欢迎您的来电哦！

多个产品同时测量减少成本测量对象可任意摆放，多个产品可同时测量，**节省测量时间，减少用工成本！低畸变图像无变形即便在镜头边缘部位测量，图像畸变也很小，无需担心测量对象所放位置。缺陷过滤测量位置包含有毛边或缺陷时系统能自动识别，排除异常点提高测量的准确度。数据追溯管理更简单测量结果自动保存，可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索，数据追溯管理简单优势：测量更准确采用双倍率双侧远心光学镜头，具有较高的远心度，即使有段差情况下也能高精度正确的测量。倍率涵盖0.16X大视野/0.7X高精度。

优势??非接触三维表面轮廓测量??噪音小，测量重复性好??纳米级分辨率：Z轴分辨率比较高可达0.1nm??测量的点云数多：一个面**多可以达到500万个点??点间距小，XY分辨率高??多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野??测量速度快，可实现在线测量技术特点1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下，波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中，干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同，根据光的波动性与同调性，所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同，各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有需要可以联系我司哦！

光谱共焦位移传感器原理介绍一束白光点光源，通过色散透镜发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值（测量范围）。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦，只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到，其他波长的光被挡在小孔之外，通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。面白光干涉传感器白光干涉测量**于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一汽车挡风玻璃质量控制, 大工作距离和大景深的点传感器适用于车间环境，对3D形状、轮廓、HUD的多层厚度测量。点光谱共焦传感器解决方案

使用简单，拆装方便，扫描速度快，定位精度高重复精度±0.5~±1µm；稳定性高，抗干扰能力强。stil传感器品牌

什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。为了从这些环境干扰中解放出来，开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统，干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。原理：干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。stil传感器品牌