江西马波斯传感器测量范围

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理。江西马波斯传感器测量范围

光谱共焦技术的非接触测量Irix™是一系列基于彩色共焦技术的非接触式传感器，能够测量对白光透明的任何材料上的距离和厚度。Irix™可同时测量5层材料。该控制器可与一大系列具有不同测量范围、机械尺寸和计量规范的光学探针结合使用，以满足多样化的应用需求。控制器有两种型号可供选择：带7英寸集成显示屏，或带有用于文件柜.display或采用盲板形式，机柜采用带DIN导轨连接。Irix控制器系列由不同型号（1个和2个同步通道）组成，结合各种各样的光学元件（Marposs和STIL），可提供优良的计量性能（高达纳米）。Irix以比较高的质量标准制造，是一种坚固可靠的产品，适合在工业环境中使用。彩色共焦技术允许测量任何能够反射白光的材料（例如：金属、玻璃、塑料、漆膜、液体）。非接触式测量适用于所有需要在不接触目标的情况下进行测量的情况一个光学探针可同时测量多达五个透明层高测量精度可互换传感器；Irix可保存多达32张地图，以便使用比较合适的探头。集成7“显示器不受热噪声和电噪声影响的无源光学探头SDK和协议命令的可用性，便于集成到任何系统中缩小测量点动态采集用编码器同步测量（空间同步）粗糙度测量辽宁3D 视觉测量传感器厂家粗糙度测量符合ISO标准25178-602传感器适用任何反射表面；通过塑料或玻璃等透明层。

光谱共焦位移传感器原理介绍一束白光点光源，通过色散透镜发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值（测量范围）。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦，只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到，其他波长的光被挡在小孔之外，通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。面白光干涉传感器白光干涉测量**于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一

压力传感器:是工业实践中常用的一种传感器,广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。7.激光传感器:利用激光技术进行测量的传感器,应用于生产、医学和非电测量等。8.MEMS传感器:包含硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器,广泛应用于生产、医学和非电测量等。红外线传感器:利用红外线的物理性质来进行测量的传感器,常用于无接触温度测量、气体成分分析和无损探伤,应用在医学、空间技术和环境工程等。光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，欢迎客户来电！

应用：玻璃外形轮廓测量CCSPrima+CL3-MG140手机屏幕与金属外框的间隙检测MPLS180+MicroView3D玻璃内表面弧度的测量大角度轮廓测量玻璃表面瑕疵检测CL3-MG70+STILDUO玻璃表面微小划伤检测MC2精密制造行业精密制造产品，内部一般由很多细小复杂的零件组成。以代表性的手表来举例，其制造流程和工艺虽比不上汽车、飞机工业的复杂程度，但其内部**小小超过100多个细小复杂的零件组装在表盘内，稍微出现组装疏忽将会导致手表不能正常运，产品品质不能经得起考验。光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技。线光谱共焦传感器测量范围

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什么是光谱共焦？光学传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理，我们的传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。用于工业环境中的设计，STIL传感器的各系列，吸引集成器与测量检测机器轻松连接，这归功于为每台仪器提供的动态链接库（DLL）光学原理我们的光学传感器基于高度创新的共焦彩色成像原理。入射的白光***通过彩色物镜成像为沿Z轴的连续单色图像，从而沿光轴提供“颜色编码”反向散射的光束通过过滤***进入光谱仪，该光谱仪确定波长已完全聚焦于物体上，然后精确地确定其在测量场的位置。共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。江西马波斯传感器测量范围