非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司,期待您的光临!河北点光谱共焦传感器精度
颠覆传统激光三角测距法,3D尺寸精密测量方案提供者线激光位移传感器高场度高性价的线激光位移器,操作简单易懂出厂时已作标定,用户开箱即用,重新定义3D视觉,让3D相机的使用和2D相机一致非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的使用。非接触式晶圆粗糙度测量系统阶梯式测量还原接触测量真实结果:直线电机高精度龙门动机构:兼容抛光、未抛光透明及非透明晶圆测量福建光谱共焦视觉检测传感器测量范围光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,用户的信赖之选,欢迎您的来电!
光谱共焦位移传感器原理介绍一束白光点光源,通过色散透镜发生光谱色散,形成不同波长的单色光,每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值(测量范围)。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦,只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到,其他波长的光被挡在小孔之外,通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。面白光干涉传感器白光干涉测量**于非接触式快速测量,精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸,其测量精度可以达到纳米级!目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一
速度传感器:是一种将非电量(如速度、压力)的变化转变为电量变化的传感器,适应于速度监测。3.加速度传感器:是一种能够测量加速力的电子设备,可应用在控制、手柄振动和摇晃、仪器仪表、汽车制动启动检测、地震检测、报警系统、玩具、结构物、环境监视、工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析,以及鼠标,高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上液位传感器:利用流体静力学原理测量液位,是压力传感器的一项重要应用,适用于石油化工、冶金、电力、制药、供排水、环保等系统和行业的各种介质的液位测量光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,有需求可以来电咨询!
什么是光谱共焦?光学传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理,我们的传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。用于工业环境中的设计,STIL传感器的各系列,吸引集成器与测量检测机器轻松连接,这归功于为每台仪器提供的动态链接库(DLL)光学原理我们的光学传感器基于高度创新的共焦彩色成像原理。入射的白光***通过彩色物镜成像为沿Z轴的连续单色图像,从而沿光轴提供“颜色编码”反向散射的光束通过过滤***进入光谱仪,该光谱仪确定波长已完全聚焦于物体上,然后精确地确定其在测量场的位置。共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。点对点厚度测量, 2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量。内蒙古stil传感器品牌
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而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜,返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上,小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱,也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强,在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面,需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅,可以根据反射光的波长,增强或减弱折射率。因此,CCD矩阵上的每一个位置,对应一个测量物体到探头的距离。河北点光谱共焦传感器精度