光轴的彩色编码意味着光学系统具有轴向色差:每个波长聚焦在沿该轴的不同点上。现在假设一个样本存在于色谱编码范围内,这样波长λ0就会聚焦在它的表面上。当反射(或后向散射)光束到达***平面时,波长的光线会聚焦在***上,以便它们可以穿过***并到达光谱仪的敏感区域。其他波长成像为大点,因此它们被***阻挡。该光谱仪通过识别波长λ0来“解读”样品位置。光谱仪信号与已收集光的光谱再分配相对应。它呈现一个光谱峰值。当物体在测量范围内位移时,光谱仪上的光谱峰值随之发生变化。光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技。天津光谱共焦传感器原理
优势•具有自主知识产权的算法和软硬件设计•·具备高速原始点云传输能力•·具备深度图输出对接各大机器视觉软件•·高达2048测量点的X向轮廓检测•·出色的光学设计,可检测高反光、玻璃等材料•·405nm蓝色激光,面向精密电子与汽车钣金行业需求•·1P67防护等级,防尘、防水、抗震•·可靠工作于0-50℃技术特点产品基于激光三角法测量原理:图像传感模组从一个角度检测投射到被测物体表面上的激光线,反射光透过高质量光学系统,被投射到成像单元上。图像处理计算传感器到被测表面的高度方向(Z轴)和沿着激光线的方向(x轴)的距离信息。通过移动被测物体或传感器,获取的一系列切片信息进行组合,就可以得到三维数据。北京stil传感器技术马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器。
什么是光谱共焦干涉仪?非接触式轮廓测量技术中的测量精度,通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰,开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统,干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。
半导体行业材料强国是科技强国的基础,第三代半导体材料扮演着愈发关键的角色,也正日益成为国际、国内科技和产业竞争的**领域之一。我国精密加工技术和配套能力进步迅速,已经具备开发并且逐步主导第三代半导体装备的能力。全国多地积极响应,促进地方产业转型升级。该微电子产业发展政策,针对第三代半导体企业购买IP、参与研发多项目晶圆等做出了详细的扶持说明。深圳正实施新一轮创新发展战略布局,机器人、无人驾驶、等新兴产业日新月异,坪山区将依托5G试点,建设第三代半导体产业集聚区。马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,有想法可以来我司咨询!
什么是光谱共焦技术?光谱共焦位移传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理,光谱共焦传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。传感器适用于绝大多数行业:计量或研究实验室中的高精度仪器,工业生产线上的质量控制。用于工业环境中的设计,传感器的各系列,吸引集成器与测量检测机器轻松连接,这归功于为每台仪器提供的动态链接库(DLL)。光谱共焦成像基于2个原则:l共焦成像l光轴的彩色编码。共焦装置是一种光学装置,光学系统在物体的表面上产生点光源S的图像S’。反向散射光由相同的光学系统收集,该光学系统在***S’’处成像。***被置于光电探测器的前面,它过滤可以到达光电探测器的光线,因此它也被称为“空间滤波器”。共焦装置的特点是具有特殊的信噪比。按照CCI原理,光学系统是彩色光学头,光电探测器是一个光谱仪。点对点厚度测量, 2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量。山西点光谱共焦传感器精度
马波斯提供非接触式传感器(测量力小)在内的多种传感器,以及显象或测量计算机。天津光谱共焦传感器原理
测量状态指示灯包含三个LED信号灯,分别显示系统错误、光信号强度和量程预警。系统错误信号灯指示传输数据是否过载,光信号强度指示灯显示当前光强信号是否超过5%,而量程预警指示灯则显示测量样品是否在量程范围内。系统错误信号灯正常状态为关闭状态,即不显示任何颜色光。但当使用RS232或RS422接口同时传输数据时,测量频率和传输数据格式都可能影响数据传输量。当传输数据量过载时,该信号灯点亮为红色状态,此时则应该适当降低测量频率或更改数据传输格式。此外,选用USB方式传输则会较少遭遇数据过载情况。天津光谱共焦传感器原理