晶圆厚度检测

以氦气为示踪气体的自动嗅探方案。将带有嗅吸探头的2个机器人用于检查电池pack特定装配位置的泄漏情况。这种对零部件半成品和pack成品的泄漏测试技术是一种非常可靠的方法，用以识别任何产品可能的缺陷，避免水渗入电池pack内部。使用示踪气体的测试方法可比较大化确保测试灵敏度，并可以识别极低的泄漏情况，该方法也适用于大容积部件和任何环境条件。对于在整体泄漏测试中被检测为不良的产品，该方法可以进一步识别它们的泄漏源头，所以该方法适用于维修站的人工嗅探方案，以进行不良产品的返修。无论定子是哪种型号, Marposs都可以提供多种产品和应用,以满足整个制造链的过程控制。晶圆厚度检测

为了满足电池的高质量标准要求，必须在生产过程中系统地应用测量和测试技术。这将提高生产效率，减少次品，并满足安全性和性能要求。电池包电芯的泄漏测试HEV/EV的技术发展对汽车行业提出了新的泄漏测试要求，即每只电芯都必须被可靠地保护起来，防止任何水气和空气渗透。MARPOSS真空氦检方案能够检测到的泄漏率为10-3到10-6scc/s。电池模组和电池包冷却回路的泄漏测试如果将单个电芯组合成更大的电池模组或电池包，则在生产中必须要确保冷却回路的密封性。NVH齿轮噪音检测凭借e.d.c.产品，马波斯提供了一整套解决方案，专门用于任何类型电机的功能测试和下线测试。

MARPOSS嗅探氦气泄漏测试方案能够测量10-2-10-4SCC/sec的泄漏。该技术在此漏率范围内取得了非常好的测试结果，并且方案简单可靠。通过空气泄漏测试方法（压降法或质量流量法）检查组装好的冷却回路。从优势的角度来看，嗅探氦气泄漏测试方案检测泄漏精度高达10-4 SCC/sec，该方法不受待测产品和环境温度影响适用于大体积和外壳会变形的产品的测试识别泄漏位置，使用多个机器人嗅探以优化测试节拍按照客户的规格要求定制方案或通用化解决方案结构坚固部件易于获得，易于进行保养。

电池pack是电动汽车动力总成中的要素之一，该组件的性能是PHEV和BEV汽车未来商业化成功的关键。该组件体现了电动汽车的价值，因此，必须在整个产业链上提供足够的质量和过程控制来保证比较高的质量水平。马波斯关于电池pack组装的方案集中在如下关键工序成品电池pack和冷却回路的泄漏测试。在用嗅探法对电池PACK进行泄漏测试时，泄漏测试是电池pack装配过程中的基本要求，用于检查电池pack的气密性，以防止水、湿气、灰尘或其他外部污染物进入，导致电池pack内部的高压零部件出现短路。马波斯已经开发出精度、灵敏度很高的泄漏测试解决方案，以满足工业部门日益严格的要求。

MARPOSS可以用累积室中的氦气对电池PACK进行泄漏测试，待测零件在环境压力下被放入密封室，然后充入氦气，通过氦质谱仪检测是否有示踪气体从待测零件流到密封室里。这种零部件半成品和pack成品的泄漏测试技术是一种非常可靠的方法，可以确保产品整体密封性良好，从而防止水进入电池pack内部。使用示踪气体的泄漏测试方法可确保比较大的测试灵敏度，其可以识别极低的泄漏情况，适用于大容积部件和任何环境条件。我们在累积室氦气泄漏测试方案可以测量10-2-10-4SCC/sec的泄漏。马波斯集团Hetech品牌一直致力于泄漏检测系统领域的研究，也是这一崭新市场生产商的有力战略合作伙伴。玻璃管材在线直径检测

马波斯总流量测试带来以下好处，减少系统的响应时间并确保减少因大泄漏造成的腔室污染。晶圆厚度检测

    然后，在真空箱内同时检测一个批次12只电芯，检测周期*需9秒钟。如检测发现不合格，则表示12只电芯全部判定不合格，这时可将该批次电芯同时放在另一台离线测台上做单独检测，以准确识别出报废的电芯。优势l适用范围广，适用于所有类型的电芯泄漏检测（纽扣，圆柱、方形或软包）l可在注液和密封后的任何工艺阶段检测l可用于不同类型的电解液检测l可轻松在生产线中实现检测自动化l无需为检漏而另外添加示踪气体l不影响整线生产节拍l检测速度快晶圆厚度检测

马波斯（上海）测量设备科技有限公司拥有马波斯提供一系列从加工过程检测工具到刀具在线监测等机床领域检测系统，包含了磨削、切割、冲压成型、压铸等。也为手动与自动尺寸检测提供了一套完整的解决方案。 马波斯也提供生产线完整性测试，包含：无损及装配测试与泄漏测试。除外，马波斯为数据采集与分析、工业控制、生产与工厂自动化提供了硬件与软件，为客户提供生产效率，从而降低生产成本。等多项业务，主营业务涵盖机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件。公司目前拥有较多的高技术人才，以不断增强企业重点竞争力，加快企业技术创新，实现稳健生产经营。诚实、守信是对企业的经营要求，也是我们做人的基本准则。公司致力于打造高品质的机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件。公司力求给客户提供全数良好服务，我们相信诚实正直、开拓进取地为公司发展做正确的事情，将为公司和个人带来共同的利益和进步。经过几年的发展，已成为机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件行业出名企业。